公开(公告)号：CN101855700A

公开(公告)日：2010-10-06

申请号：CN200880115934.2

申请日：2008-09-23

Applicant: MKS仪器股份有限公司

Inventor： T·R·罗宾逊 ,  M·爱特伍德 ,  X·陈 ,  W·M·霍尔伯 ,  M·P·朗逊 ,  J·H·波尔克 ,  A·沙基 ,  J·A·史密斯

IPC: H01J49/10 ,  H01J49/14

CPC classification number: H01J49/105 ,  H01J49/145

Abstract: 描述用于产生质谱系统中使用的试剂离子和产品离子的系统和方法。还揭示了用于检测痕量浓度的挥发性有机化合物的系统和方法的应用。微波或高频RF能量源使试剂蒸汽的粒子电离以形成试剂离子。试剂离子进入一个腔室，诸如漂移腔室，以与流体样品交互作用。电场引导试剂离子和促进与流体样品的交互作用而形成产品离子。然后试剂离子和产品离子在电场的影响下退出腔室，以供质谱仪模块检测。系统包括：各种控制模块，用于设置系统参数值；以及分析模块，用于在质谱法和系统故障期间检测离子物质的质量和峰值强度值。

公开(公告)号：CN101297480A

公开(公告)日：2008-10-29

申请号：CN200680040216.4

申请日：2006-10-31

Applicant: MKS仪器股份有限公司

Inventor： S·P·纳加拉卡迪 ,  M·基西内夫斯基 ,  A·沙基 ,  T·E·卡尔外迪斯 ,  W·S·米奇尼 ,  D·古德曼 ,  W·M·霍尔比 ,  J·A·史密斯

IPC: H03H7/40

CPC classification number: H03H7/40

Abstract: 提供了向动态负载(260)传递功率的系统(200)和方法。该系统包括：电源(210)，用于提供具有基本上恒定的功率开环响应的DC功率；功率放大器(220)，用于将DC功率转换成RF功率；传感器(240)，用于测量与RF功率相关的电压、电流以及电压和电流矢量之间的相角；电可控阻抗匹配系统(250，252)，用于将功率放大器的阻抗修改成至少基本上匹配的动态负载(260)阻抗；以及控制器(230)，用于控制电可控阻抗匹配系统(200)。系统(200)还包括：传感器校准测量模块，用于确定由功率放大器所传递的功率；电子匹配系统校准模块(252)，用于确定传递给动态负载(260)的功率；以及功率耗散模块，用于计算在电可控阻抗匹配系统中所耗散的功率。

公开(公告)号：CN101855700B

公开(公告)日：2012-12-05

申请号：CN200880115934.2

申请日：2008-09-23

Applicant: MKS仪器股份有限公司

Inventor： T·R·罗宾逊 ,  M·爱特伍德 ,  X·陈 ,  W·M·霍尔伯 ,  M·P·朗逊 ,  J·H·波尔克 ,  A·沙基 ,  J·A·史密斯

IPC: H01J49/10 ,  H01J49/14

CPC classification number: H01J49/105 ,  H01J49/145

Abstract: 描述用于产生质谱系统中使用的试剂离子和产品离子的系统和方法。还揭示了用于检测痕量浓度的挥发性有机化合物的系统和方法的应用。微波或高频RF能量源使试剂蒸汽的粒子电离以形成试剂离子。试剂离子进入一个腔室，诸如漂移腔室，以与流体样品交互作用。电场引导试剂离子和促进与流体样品的交互作用而形成产品离子。然后试剂离子和产品离子在电场的影响下退出腔室，以供质谱仪模块检测。系统包括：各种控制模块，用于设置系统参数值；以及分析模块，用于在质谱法和系统故障期间检测离子物质的质量和峰值强度值。

公开(公告)号：CN101297480B

公开(公告)日：2012-08-08

申请号：CN200680040216.4

申请日：2006-10-31

Applicant: MKS仪器股份有限公司

Inventor： S·P·纳加拉卡迪 ,  M·基西内夫斯基 ,  A·沙基 ,  T·E·卡尔外迪斯 ,  W·S·小米奇尼 ,  D·古德曼 ,  W·M·霍尔比 ,  J·A·史密斯 ,  I·拜斯卓柯

IPC: H03H7/40

CPC classification number: H03H7/40

Abstract: 提供了向动态负载(260)传递功率的系统(200)和方法。该系统包括：电源(210)，用于提供具有基本上恒定的功率开环响应的DC功率；功率放大器(220)，用于将DC功率转换成RF功率；传感器(240)，用于测量与RF功率相关的电压、电流以及电压和电流矢量之间的相角；电可控阻抗匹配系统(250，252)，用于将功率放大器的阻抗修改成至少基本上匹配的动态负载(260)阻抗；以及控制器(230)，用于控制电可控阻抗匹配系统(200)。系统(200)还包括：传感器校准测量模块，用于确定由功率放大器所传递的功率；电子匹配系统校准模块(252)，用于确定传递给动态负载(260)的功率；以及功率耗散模块，用于计算在电可控阻抗匹配系统中所耗散的功率。