三氯氢硅生产的热能回收系统及工艺

    公开(公告)号:CN106744984A

    公开(公告)日:2017-05-31

    申请号:CN201611246191.5

    申请日:2016-12-29

    发明人: 齐林喜 赵亮

    IPC分类号: C01B33/107 F22B1/18

    CPC分类号: C01B33/10763 F22B1/18

    摘要: 一种三氯氢硅生产的热能回收系统,包括氢气预热器、四氯化硅预热器以及同时与氢气预热器、四氯化硅预热器相连的四氯化硅汽化器,还包括与四氯化硅汽化器相连的电加热器、与电加热器相连的流化床反应器以及终端冷凝器。三氯氢硅生产的热能回收系统还包括高温换热器和闪蒸槽,高温换热器与闪蒸槽和流化床反应器相连,该高温换热器利用来自于流化床反应器的冷氢化尾气加热来自于闪蒸槽的水并将升温后的水送入闪蒸槽内闪蒸以产生水蒸气,该闪蒸槽将水蒸气提供给氢气预热器和四氯化硅预热器作为热源,终端冷凝器与高温水换热器相连并冷凝换热后的冷氢化尾气,以降低生产成本。本发明还提供一种三氯氢硅生产的热能回收工艺。

    多晶硅还原尾气回收方法及回收系统

    公开(公告)号:CN107304050A

    公开(公告)日:2017-10-31

    申请号:CN201610240091.5

    申请日:2016-04-18

    IPC分类号: C01B33/107 C01B3/50

    摘要: 本发明提供一种多晶硅还原尾气回收方法,包括:向还原尾气中通入外补的氯化氢气体,并使还原尾气中的无定形硅粉与其中的氯化氢气体及外补的氯化氢气体充分反应;通过分离膜将已去除无定形硅粉的还原尾气中的氢气和少量的氯化氢的混合气与气相氯硅烷分离;对所述混合气进行吸附处理;对气相氯硅烷进行加压冷凝处理,从而将液相的三氯氢硅与气相的四氯化硅、二氯二氢硅和少量的三氯氢硅分离;对气相的四氯化硅、二氯二氢硅和少量的三氯氢硅再进行加压冷凝处理,从而将四氯化硅富液与富含二氯二氢硅的不凝气分离。相应地,提供一种多晶硅还原尾气回收系统。本发明所述回收方法和系统的工艺流程简单、能耗少且有效去除了还原尾气中的无定形硅粉。

    一种三氯氢硅合成方法及装置

    公开(公告)号:CN106915747A

    公开(公告)日:2017-07-04

    申请号:CN201510997567.5

    申请日:2015-12-28

    IPC分类号: C01B33/107

    CPC分类号: C01B33/10763

    摘要: 本发明公开了一种三氯氢硅合成方法及装置,该方法将粒径范围为200~400目的硅粉与氯化氢反应合成三氯氢硅,本发明中的三氯氢硅合成方法使用粒径范围为200~400目的硅粉制备三氯氢硅,该硅粉为宽粒径范围的硅粉,生产成本低,生产的难度系数降低,由于宽粒径的硅粉的流化气速较低,制备三氯氢硅时可降低通入的相应的氯化氢的通入的物质的量,降低尾气回收的难度与成本,相对于现有技术中生产三氯氢硅使用的硅粉而言,本发明中的粒径范围为200~400目的硅粉的比表面积大,从而可以提高气固接触面积,反应的强度提高,进而提高本发明中的三氯氢硅合成方法和三氯氢硅合成装置的产能。

    制备三氯甲硅烷的方法和设备

    公开(公告)号:CN102639440B

    公开(公告)日:2017-05-31

    申请号:CN201080043459.X

    申请日:2010-08-02

    IPC分类号: B01J8/24 B01D46/38 C01B33/107

    CPC分类号: C01B33/1071 C01B33/10763

    摘要: 记述了一种制备三氯甲硅烷的方法,其中使硅颗粒与四氯化硅和氢气以及任选地与氯化氢在流化床反应器(101)中反应形成含三氯甲硅烷的产物气体流,其中所述含三氯甲硅烷的产物气体流通过位于至少一个颗粒分离器(118)之后的出口(117)从反应器(101)中排出,其中所述颗粒分离器选择性地仅使直至特定最大粒径的硅颗粒可以穿过,且其中优选地定期或连续不断地经由至少另一个不带所述颗粒分离器的出口(109;112)从反应器(101)中排出硅颗粒。此外,还记述了一种适于实施所述方法的设备(100),其具有第一流化床反应器 (101)和第二流化床反应器 (102),它们的连接方式使得从第一反应器(101)中排出的硅可被输送到第二反应器(102)中。