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公开(公告)号：CN118712035A
公开(公告)日：2024-09-27
申请号：CN202410733137.1
申请日：2024-06-07
申请人： 中国工程物理研究院核物理与化学研究所
IPC分类号： H01J27/04
摘要： 本发明提供一种潘宁离子源，所述潘宁离子源由离子源底座以及设置在所述离子源底座上的离子发生腔构成，所述离子发生腔包括：离子源阴极、热启动电子发射源、阳极筒、离子源对阴极；其中，离子源阴极设置在离子发生腔的一端与所述离子源底座连接，所述离子源对阴极设置在所述离子发生腔的另一端，所述阳极筒以及所述热启动电子发射源设置在所述离子源阴极与所述离子源对阴极之间，所述阳极筒与所述热启动电子发射源与外界电源进行电连接，所述热启动电子发射源在电流加热下发射的热电子，作为所述潘宁离子源每个脉冲的启动电子。本发明可以解决基于潘宁离子源的小直径脉冲中子管的脉冲特性提升这一关键的问题。
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公开(公告)号：CN112424901B
公开(公告)日：2024-02-13
申请号：CN201980045922.5
申请日：2019-07-01
申请人： 能源环境和技术研究中心
发明人： R·巴雷拉·阿朗索
摘要： 本发明涉及一种低腐蚀射频离子源，包括：中空主体(11)，所述中空主体(11)具有限定圆柱形腔(13)的导电内壁，具有用于形成等离子体的气体的供气入口(14)以及用于将射频能量注入所述腔(13)中的电源入口(21)。膨胀室(16)，所述膨胀室(16)借助等离子体出口孔(17)连接到所述腔(13)。离子提取孔口(18)，所述离子提取孔口(18)与所述膨胀室(16)接触。同轴导体平行于其纵向轴，所述同轴导体(15)的一端或两端与所述主体(11)的圆形内壁接触，从而形成同轴共振腔；所述同轴导体(15)具有与所述等离子体出口孔(17)相对并径向地延伸到所述腔(13)(15)，所述同轴导体(15)设置在所述腔(13)中，
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公开(公告)号：CN113097037A
公开(公告)日：2021-07-09
申请号：CN202110361044.7
申请日：2021-04-02
申请人： 西京学院
摘要： 一种双向引出的潘宁离子源结构，包括阳极筒，阳极筒两端中间分别对称设置有阴极，阳极筒两端与阴极共同嵌于两侧陶瓷筒的内侧端，陶瓷筒的外侧端与磁环的内侧端相连接；通过给阳极筒加高电压，在磁场和电场共同作用下，同时从两端引出潘宁离子源，或者依次从两边分别引出潘宁离子源；从而极大地增加离子产额，提高其利用率；本发明具有结构简单，操作方便，实用高效的优点。
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公开(公告)号：CN111477528A
公开(公告)日：2020-07-31
申请号：CN202010261482.1
申请日：2020-04-03
申请人： 中国原子能科学研究院
摘要： 本发明公开了一种微型潘宁离子源，属于超导回旋加速器领域，其技术方案要点是包括阳极筒、分设于阳极筒两端的阴极以及将阴极和阳极筒包覆的外壳；相对设置的阴极的端面上均设有若干团簇状凸起；至少一阴极端部处的外壳上开设有将阳极筒与外界连通的氢气通道，阳极筒的中间位置处开设有引出缝。本发明达到了能够使一次电子发射量的效果。
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公开(公告)号：CN110998779A
公开(公告)日：2020-04-10
申请号：CN201880053031.X
申请日：2018-08-10
申请人： 株式会社爱发科
摘要： 本发明提供一种抑制起因于由在离子源的离子生成容器内使离子化气体与离子原料反应而生成离子时的副生成物形成的绝缘膜的异常放电的技术。本发明的离子源具备：真空槽（10A），具有冷却机构；离子生成容器（11），设置在真空槽（10A）内，使离子化气体与离子原料反应而生成离子；引出电极（15），设置在真空槽（10A）内，将在离子生成容器（11）内生成的离子引出而生成离子束；以及遮蔽部件（30），设置在真空槽（10A）的内壁（10d）的内侧附近，具有用来将绝缘物对于该真空槽（10A）的内壁（10d）的附着遮挡的由导电性的金属构成的主体部（31）。在遮蔽部件（30）的主体部（31）设置有多个突状的支承部（32），所述支承部（32）与真空槽（10A）的内壁（10d）接触而支承主体部（31），以使主体部（31）相对于真空槽（10A）的内壁（10d）分离而装设。
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公开(公告)号：CN107949899B
公开(公告)日：2019-11-15
申请号：CN201580082721.4
申请日：2015-09-25
申请人： 株式会社日立高新技术
IPC分类号： H01J37/305 , H01J27/04 , H01J37/08
摘要： 为了提供能抑制从电子显微镜镜筒放出的观察用电子束的轨道移位的离子铣削装置，离子铣削装置具备：包含永久磁铁(114)并产生加工样品的离子的潘宁放电方式的离子枪(100)；和用于观察样品的扫描电子显微镜，在该离子铣削装置中设置用于减少从永久磁铁(114)向电子显微镜镜筒的泄漏磁场的磁屏蔽(172)。
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公开(公告)号：CN104885185B
公开(公告)日：2017-02-22
申请号：CN201380063410.4
申请日：2013-10-11
申请人： 瓦里安半导体设备公司
发明人： 杰弗里·查尔斯·伯拉尼克 , 威廉·T·维弗
IPC分类号： H01J27/04 , H01J27/08 , H01J37/08 , H01J37/317 , H01J27/02 , H01J37/302
CPC分类号： H01J27/024 , H01J27/08 , H01J37/08 , H01J37/302 , H01J37/3171 , H01J2237/043 , H01J2237/30472 , H01J2237/3171
摘要： 离子植入机及具有挡帘组件的离子源。离子源包括界定电弧室的电弧室外壳，电弧室外壳在固定位置上具有提取板，提取板界定多个提取孔。离子源还包括挡帘组件，挡帘组件安装于电弧室外侧的靠近提取板处。挡帘组件经配置以于一时间间隔期间阻挡所述多个提取孔中的一者的至少一部分。以自离子源提取的离子束处理工件，并结合离子源与所述待处理工件的相对移动，使得仅用一种离子源即能在工件上形成二维离子植入图案。
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公开(公告)号：CN1368752A
公开(公告)日：2002-09-11
申请号：CN01141060.4
申请日：2001-09-29
申请人： 惠普公司
发明人： L·T·特兰
CPC分类号： H01L27/224 , G11C11/15 , G11C2213/72 , G11C2213/78 , G11C2213/79 , H01L27/228
摘要： 一种信息存储设备(8),包括一个存储器元件(12)的电阻交叉点阵列(10)和很多用于在读操作期间阻塞阵列(10)中的寄生路径电流的设备(22,222)。每个阻塞设备(22,222)连接到阵列中的一组存储器元件(10)并为其共享。
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公开(公告)号：CN115643667A
公开(公告)日：2023-01-24
申请号：CN202211254758.9
申请日：2022-10-13
申请人： 中科超睿(青岛)技术有限公司
发明人： 请求不公布姓名
摘要： 本发明涉及一种冷阴极潘宁源中子管，包括：中子管靶、加速电极、离子源外罩、引出阴极、阳极筒、对阴极、磁钢组合、储存器、管体、靶底座和离子源底座；所述靶底座和所述离子源底座设置在所述管体的左右两侧，从所述靶底座到所述离子源底座方向依次设置所述中子管靶、所述加速电极和所述离子源外罩；所述离子源外罩覆盖在所述引出阴极、所述阳极筒、所述对阴极、所述磁钢组合和所述储存器外部，所述磁钢组合安装在所述离子源外罩和所述储存器形成的空间中间,所述磁钢组合同时产生轴向和径向磁场。本发明采用能同时产生轴向和径向磁场的磁钢组合，解决了现有中子管产额低、寿命短的问题。
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公开(公告)号：CN109860008B
公开(公告)日：2021-12-14
申请号：CN201811360105.2
申请日：2018-11-15
申请人： 温州职业技术学院
发明人： 郎文昌
IPC分类号： H01J27/04
摘要： 本发明公开了一种基于热电子放电的潘宁离子源，其包括：热丝电极组件、放电腔、绝缘套、阳极筒组件、阴极网、加速极、磁极，其主要是通过利用热丝电极组件导电受热后发生热丝放电，并通过阳极筒、阴极网之间形成潘宁放电，电子在放电腔及阳极筒内受电场及磁场的作用下实现往复式运动，电子的运动行程被极大的拉长，其有效碰撞次数指数性增大，并受加速极的加速向真空腔室内输出大束流粒子流，其中热丝电极组件及放电腔内设置有三个水冷腔，可高效冷却热丝放电过程中产生的热量；本发明具有以下优点和效果：本发明通过将潘宁放电与热丝放电相结合，实现均匀稳定的放电且可具有更好的冷却效果，提高离子源的长时间高效稳定性。
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