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公开(公告)号：CN110699674A
公开(公告)日：2020-01-17
申请号：CN201910959148.0
申请日：2019-10-10
申请人： 湖南红太阳光电科技有限公司
发明人： 赵增超
摘要： 本发明公开了一种低频PECVD沉积氧化铝的方法，该方法是以三甲基铝为原料，以O2、水蒸气、乙醇蒸气中的其中一种含氧物质为氧化剂，通过低频PECVD法制备得到氧化铝。本发明低频PECVD沉积氧化铝的方法具有工艺简单、操作方便、成本低廉等优点，不仅能够省去常规方法中的后续等离子体处理步骤、降低制备成本、缩减工艺时间、提升产能，而且能够制备得到钝化效果更好的氧化铝，对于制备高光电转换效率的太阳电池以及扩大太阳电池的应用范围具有十分重要的意义。
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公开(公告)号：CN110699672A
公开(公告)日：2020-01-17
申请号：CN201911173929.3
申请日：2019-11-26
申请人： 湖南红太阳光电科技有限公司
IPC分类号： C23C16/46 , C23C16/455 , C23C16/513
摘要： 本发明公开了一种PECVD设备的氮气辅助加热方法，包括：S01、在往工艺腔体内通入氮气前，检测工艺腔体内的温度；S02、根据工艺腔体内的温度值确定是否对氮气进行加热；在温度未达到设定值时，对氮气进行加热后再通入至工艺腔体内，以提高工艺腔体内的温度。本发明还公开了一种氮气辅助加热装置，包括氮气加热器和主管道，主管道上设置有主开关和直通开关，氮气加热器的进气口与直通开关的输入端相连，氮气加热器的出气口与直通开关的输出端相连；氮气加热器的出气口设置有氮气温度检测件，氮气加热器根据工艺腔体内温度与氮气温度检测件检测的氮气温度之间的偏差调整加热功率。本发明的方法及装置均具有加热效率高等优点。
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公开(公告)号：CN110654690A
公开(公告)日：2020-01-07
申请号：CN201910939760.1
申请日：2019-09-30
申请人： 湖南红太阳光电科技有限公司
IPC分类号： B65D25/10 , H01L21/677
摘要： 本发明公开了一种石墨舟的定位装置及定位方法，装置包括传输线体、托盘、前端限位机构、后端推舟机构、右侧推舟机构、托盘限位机构和托盘靠边驱动机构，传输线体用于输送托盘，托盘用于装载石墨舟，托盘限位机构设于传输线体的前端用于限制托盘前进，托盘靠边推动机构设于传输线体的右侧，前端限位机构设于传输线体的前端，后端推舟机构设于传输线体的后端，右侧推舟机构设于传输线体的右侧。方法包括托盘前后定位、托盘左右定位、石墨舟前后定位和石墨舟左右定位。本发明从多个维度对石墨舟托盘及石墨舟进行定位，能有效解决石墨舟定位精度的问题。
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公开(公告)号：CN110405658A
公开(公告)日：2019-11-05
申请号：CN201910566936.3
申请日：2019-06-27
申请人： 湖南红太阳光电科技有限公司
IPC分类号： B25B11/00
摘要： 本发明公开了一种炉体装配工装及炉体装配方法，工装包括支座、转轴和转筒，所述转筒包括两个端座和多个支撑杆，所述多个支撑杆设于两个端座之间，且多个支撑杆呈环形均匀固定在端座上，所述两个端座穿设在转轴上，所述转轴可拆卸的安装在支座上。方法包括炉丝上工装、卡绝缘子、在炉丝上焊接引线、铺保温棉、炉体下工装、棉圈和端盖安装的步骤。本发明利用上述工装，可实现炉丝、绝缘子、引线、保温棉、炉壳等高质量和高效率安装。利用辅助装置确保了两端棉圈准确安装，大大降低棉圈安装过程的损坏。
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公开(公告)号：CN110373657A
公开(公告)日：2019-10-25
申请号：CN201910790369.X
申请日：2019-08-26
申请人： 湖南红太阳光电科技有限公司
摘要： 本发明的管式PECVD设备压力控制装置，包括控制器、第一反应室、第二反应室、第一薄膜规、第二薄膜规、主抽泵和VAT阀，主抽泵分别通过第一、第二主管路与第一、第二反应室连接，第一主管路与第二主管路并联形成汇流管路，VAT阀设于汇流管路上，第一反应室与第二反应室之间设有并联的第一支管路和第二支管路，第一支管路上设有第一气动阀和第二气动阀，第二支管路上设有第三气动阀和第四气动阀，第一、第三气动阀为互锁阀，第二、第四气动阀为互锁阀，第一薄膜规设于第一支管路上并在第一、第二气动阀之间，且通过第一控制线路与VAT阀连接，第二薄膜规设于第二支管路上并在第三、第四气动阀之间，且通过第二控制线路与控制器连接。
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公开(公告)号：CN110284103A
公开(公告)日：2019-09-27
申请号：CN201910677899.3
申请日：2019-07-25
申请人： 湖南红太阳光电科技有限公司
IPC分类号： C23C14/08 , C23C14/35 , H01L31/0224 , H01L31/0747 , H01L31/18
摘要： 本发明公开了一种能量过滤磁控溅射镀膜装置、透明导电氧化物薄膜的制备方法及HJT电池，该装置包括真空室内相对设置的溅射靶材和衬底支架，衬底支架与溅射靶材的相对面上装设有需要镀膜的衬底，溅射靶材和衬底之间设置有平行于溅射靶材的过滤电极，过滤电极由若干个相互平行的金属线组成，金属线连接在衬底支架上。透明导电氧化物薄膜由上述装置制得。HJT电池中包含的透明导电氧化物薄膜由上述方法制得。本发明装置具有遮挡面积小、沉积速率高、靶材利用率高、成本低、适用范围广等优点，适合工业大规模生产推广，能够减少对衬底和透明导电氧化物薄膜的损伤，进而制备得到高质量透明导电氧化物薄膜以及具有优异电学性能的异质结电池。
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公开(公告)号：CN106756893B
公开(公告)日：2019-05-14
申请号：CN201611022032.7
申请日：2016-11-21
申请人： 湖南红太阳光电科技有限公司
发明人： 符慧能
IPC分类号： C23C16/50
摘要： 一种石墨舟上下料装置及其上下料方法，装置包括机械手、托盘、伸缩杆及支架，机械手与支架连接，托盘上沿着远离石墨舟的方向依次设有承托区、第一铰接部和第二铰接部，第一铰接部与支架下部铰接，第二铰接部与伸缩杆下端铰接，伸缩杆上端与支架上部铰接。方法包括步骤S1、机械手带动托盘运动至承托区位于石墨舟的承托间隙正上方；S2、伸缩杆收缩，托盘绕第一铰接部向下转动，承托区运动至石墨舟侧面；S3、机械手带动托盘垂直向下运动至承托区位于承托间隙侧下方；S4、伸缩杆伸长，托盘绕第一铰接部向上转动，承托区进入至承托间隙内；S5、机械手带动托盘垂直向上运动将石墨舟拾起离开取舟位置。本发明能在水平运动空间不足时顺利抓取石墨舟。
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公开(公告)号：CN109612277A
公开(公告)日：2019-04-12
申请号：CN201811455653.3
申请日：2018-11-30
申请人： 湖南红太阳光电科技有限公司
摘要： 本发明公开了一种自适应真空密封炉门机构，包括炉门和连接板，炉门包括密封部和安装部，连接板上设安装孔，密封部活动地贯穿安装孔，安装孔下侧支撑于支撑滚珠上，安装孔的外周设有多组弹性压紧组件。其初始调节方法，包括步骤；调节各组支撑组件使炉门与炉体的轴心重合；对炉门进行初步预紧；关闭炉门，确定炉门夹紧于炉体上所需的夹紧行程；打开炉门，调节密封部密封面的上下俯仰角度和左右摆动角度，使炉门密封面与炉体的端面平行；再次调节各组弹性压紧组件，使各组弹性压紧组件的压缩程度一致；关闭炉门并将炉门按照设定的夹紧行程向炉体所在的一侧夹紧。本发明具有结构简单、可靠，调节范围大，能够减少检修维护工作量等优点。
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公开(公告)号：CN109338333A
公开(公告)日：2019-02-15
申请号：CN201811455572.3
申请日：2018-11-30
申请人： 湖南红太阳光电科技有限公司
IPC分类号： C23C16/44 , C23C16/455 , C30B29/06 , C30B28/14
摘要： 本发明公开了管式LPCVD真空反应室，包括炉门、前端法兰、前支撑法兰、前密封组件、加热炉体、后支撑法兰、后密封组件、尾端法兰、内层石英管和外层石英管，加热炉体套于外层石英管上，前支撑法兰和后支撑法兰分别位于外层石英管的两端的外管壁上，前支撑法兰、加热炉体和后支撑法兰三者固定设置，炉门与前端法兰连接，前端法兰盖设于内、外层石英管的前端端口，前端法兰与外层石英管之间通过前密封组件连接，前密封组件固定在前支撑法兰上，尾端法兰设于内、外层石英管的后端，且尾端法兰与外、内层石英管之间通过后密封组件连接，后密封组件固定在后支撑法兰上。本发明具有拆卸维护更加简单、快捷，缩短了维护时间，经济效益显著的优点。
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公开(公告)号：CN109112619A
公开(公告)日：2019-01-01
申请号：CN201710492914.8
申请日：2017-06-26
申请人： 湖南红太阳光电科技有限公司
摘要： 本发明公开了一种坩埚保护装置，包括坩埚底板、设于坩埚底板上的组合护板以及设于组合护板上部的坩埚盖板，所述组合护板包括下层护板及上层护板，所述下层护板上部设有出气口，所述上层护板上部设有所述出气口，所述上层护板下部设有下凸部，所述上层护板的下凸部卡设于所述下层护板的出气口内。本发明具有结构可靠、使用方便、能够根据坩埚高度灵活调整、有利于降低生产成本等优点。
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