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公开(公告)号：CN106104213B
公开(公告)日：2018-02-13
申请号：CN201480077269.8
申请日：2014-12-09
申请人： 株式会社安川电机
IPC分类号： G01D5/347
CPC分类号： G01D5/347
摘要： 本发明提供编码器和带编码器的电机，能够提高检测精度。该编码器具有：沿着测量方向(C)的图案(SA1、SA2)；向图案(SA1、SA2)射出光的光源(131)；以及沿着测量方向(C)排列，接收从光源(131)射出并被图案(SA1、SA2)反射的光的受光阵列(PA1、PA2)，受光阵列(PA1、PA2)各自具有的多个受光元件(P1～P9)包括具有末端渐细形状的尖端部(Ps)的第1受光元件(P2～P8)。
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公开(公告)号：CN106461424A
公开(公告)日：2017-02-22
申请号：CN201680001599.8
申请日：2016-05-11
申请人： 美路科技有限公司
发明人： 藤井武夫
IPC分类号： G01D5/347
CPC分类号： G01D5/347
摘要： 提供一种剥落性强、镀敷的均镀良好，并且能够实现高SN比的用于光学编码器的光学编码器用栅格板以及光学编码器用栅格板的制造方法，所述光学编码器使用可视光或者近红外光作为照射光，以30度～75度的角度对反射面照射照射光，接受由反射面反射的反射光，由此检测物体的位移量或者位移方向，所述光学编码器用栅格板具有将一方的表面(21)作为反射面的基材格(30)，使用金属作为基材(20)，利用黑色镀敷层形成栅格(30)，使金属的表面(21)的平均粗糙度Ra为0.008μm～0.05μm的范围，使黑色镀敷层比3μm薄。(20)、和在表面(21)以预定的栅格宽度排列的栅
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公开(公告)号：CN106104214A
公开(公告)日：2016-11-09
申请号：CN201480077280.4
申请日：2014-12-09
申请人： 株式会社安川电机
IPC分类号： G01D5/347
CPC分类号： G01D5/347
摘要： 本发明提供编码器和带编码器的电机，能够提高检测精度。该编码器具有：沿着测量方向(C)的图案(SA1、SA2)；向图案(SA1、SA2)射出光的光源(131)；以及沿着测量方向(C)排列，接收从光源(131)射出并被图案(SA1、SA2)反射的光的受光阵列(PA1、PA2)，受光阵列(PA1、PA2)各自具有的多个受光元件各自的测量方向(C)上的最大外形尺寸(TPA2)以及与测量方向垂直的宽度方向(R)上的最大外形尺寸(WPA2)彼此相等，并且，离光源(131)的距离不同的受光元件彼此具有不同的形状，使得各自的受光光量彼此相等。
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公开(公告)号：CN104919710A
公开(公告)日：2015-09-16
申请号：CN201380070666.8
申请日：2013-01-18
申请人： 奥的斯电梯公司
CPC分类号： H03M5/02 , B66B1/3492 , G01D5/347 , H03M1/22 , H03M1/303 , H03M7/3059
摘要： 一个或多个实施方案涉及一种被配置来输出信号的编码器及一种被配置来从所述编码器接收所述信号且生成所述信号的减小分辨率版本的计算装置，所述计算装置被配置来将所述信号的所述减小分辨率版本传输到接受器。
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公开(公告)号：CN104425935A
公开(公告)日：2015-03-18
申请号：CN201410437709.8
申请日：2014-08-29
申请人： 塞德斯股份公司
CPC分类号： B66B1/3461 , B66B1/3492 , G01D5/347 , G01R31/021
摘要： 鉴于建筑物的下沉效应，提出一种用于连接用于传输信息的传输装置的连接装置(V1、V2、Vn)，其中传输装置安置在一用于确定升降机竖井中移动舱室的位置的测量尺上，其中所述连接装置设计为用于引导和/或支承测量尺的引导夹，从而所述引导夹至少部分地包围测量尺，以及其中引导夹具有至少一个凹部用于读取标记单元和其中连接装置具有至少一个连接触头以与供电线路和/或通信线路之一连接，其中事实上至少一个连接触头可移动地支承在连接装置上。
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公开(公告)号：CN104272191A
公开(公告)日：2015-01-07
申请号：CN201380022023.6
申请日：2013-03-18
申请人： ASML荷兰有限公司
CPC分类号： G03F7/70775 , G01D5/347 , G03F7/70825 , G03F7/7085 , G03F7/709 , G03F9/7015 , G03F9/7096
摘要： 公开了一种光刻设备和器件制造方法。光刻设备包括支撑台(16)以及包括传感器部分(13)和参考部分(12、14)的测量系统(12-14)，所述测量系统被配置为通过使用所述传感器部分(13)与所述参考部分(12、14)相互作用来确定所述支撑台(16)相对于参考框架(6、8、10)的位置和/或方向或所述支撑台上安装的部件相对于参考框架(6、8、10)的位置和/或方向，其中：所述参考框架(6、8、10)包括N个子框架(6、8)，所述N个子框架耦接在一起以便针对低于第一参考频率的振动主要表现为单个刚性体，并且针对高于第二参考频率的振动主要表现为N体系统，其中N是大于1的整数。
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公开(公告)号：CN102235886B
公开(公告)日：2015-01-07
申请号：CN201110074822.0
申请日：2011-03-24
申请人： 株式会社三丰
IPC分类号： G01D5/347
CPC分类号： G01D7/00 , G01D5/24461 , G01D5/2448 , G01D5/347
摘要： 本发明涉及一种光学式编码器。线性编码器(1)具备：刻度尺；头(2)，其具有向刻度尺射出光的发光元件(21)和接收从发光元件(21)射出并被刻度尺反射的光的受光元件(22)，以及连接器(4)，其通过线缆(3)连接于头(2)。连接器(4)具备：显示单元(5)，其显示受光元件(22)所接收的光的状态；以及连接器侧控制单元(6)，其控制显示单元(5)。连接器侧控制单元(6)具备显示控制部(62)，显示控制部(62)根据受光元件(22)所接收的光的强度来控制显示单元(5)。
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公开(公告)号：CN104160249A
公开(公告)日：2014-11-19
申请号：CN201380012836.7
申请日：2013-03-06
申请人： 赫克斯冈技术中心
IPC分类号： G01D5/347
摘要： 一种光电位置测量装置，该光电位置测量装置具有：代码载体(10)，其承载有可进行光学采集的位置代码(11)；用于将光辐射发射到代码载体(10)上的辐射源(20)；以及采集件(30)，其具有用于接收至少一部分光辐射的多个光敏接收区(31)，由此能产生取决于位置代码(11)的扫描信号并因而能采集代码载体(10)相对于采集件(30)的位置，其中测量部件(20,30)相对于彼此按照固定的空间关系布置在载体件(40)上，代码载体(10)以一个自由度尤其是进行旋转运动或沿轴线的运动，代码载体(10)和载体件(40)相对于彼此以固定的空间距离(d)布置，其特征是，测量部件(20,30)中的至少具有较大高度(h1,h2)的那个部件总是设置在载体件(40)上的与正面侧(45)相比更远离代码载体(10)的平面上，从而使得其在正面侧(45)上方的突出距离(h1’,h2’)小于其高度(h1,h2)。
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公开(公告)号：CN104101369A
公开(公告)日：2014-10-15
申请号：CN201410145631.2
申请日：2014-04-11
申请人： 佳能株式会社
发明人： 重田润二
IPC分类号： G01D5/347
CPC分类号： G01D5/347 , G01D5/24461 , G01D5/24466 , G01D5/24476 , G01D5/34746 , G01D5/34792
摘要： 本发明涉及一种位置检测设备。位置检测器检测可动构件相对于固定构件的位置，其包括：信号检测器，用于检测周期信号，所述周期信号分别表示与所述可动构件相对于所述固定构件的位置有关的预定值，并且所述周期信号根据该位置的变化按不同周期改变；信号处理器，用于基于所述信号检测器所检测到的周期信号来生成位移信号，并且在按预定周期切换所生成的位移信号的情况下顺次输出所述位移信号；位置计算器，用于基于所述位移信号来计算所述可动构件相对于所述固定构件的位置；以及可靠性判断单元，用于在所述预定周期内所述可动构件的位移量大于预定阈值的情况下，判断为所述位置计算器所计算出的位置的可靠性低。
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公开(公告)号：CN102301199B
公开(公告)日：2013-09-18
申请号：CN200980155912.3
申请日：2009-12-04
申请人： 麦克罗尼克迈达塔有限责任公司
发明人： J.沃尔瑟
摘要： 在用于测量笛卡尔坐标系中的周缘位置的测量装置中，激光源构造成沿旋转体的半径发射激光束，所述激光束适于发生旋转以提供旋转激光束。反射器构造成沿垂直于激光束的路径的方向反射旋转激光束，而具有透明和反射区域的图案的刻度尺定位在测量装置的周缘位置处。检测器构造成通过检测旋转激光束在激光扫描刻度尺的同时发生的反射或透射来提供脉冲序列。所述脉冲序列对应于系统的笛卡尔坐标。
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