工件的贴合装置
    132.
    发明授权

    公开(公告)号:CN102126700B

    公开(公告)日:2015-02-11

    申请号:CN201010517187.4

    申请日:2010-10-19

    Abstract: 提供一种工件贴合装置,能够向工件表面放射粒子而进行改性,将两片工件层叠,加压(或加热)而贴合。将第1工件(W1)载放并吸附保持到反转台单元(30)的反转台(31)上,并且将第2工件(W2)载放到加压台单元(20)的工件台(21)上,例如从光照射单元(10)照射UV光,将工件(W1、W2)的表面改性。接着,使反转台单元(30)、加压台单元(20)从光照射单元(10)退避,使反转台(31)旋转180°,在工件台(21)上使工件(W1、W2)重合,并将工件(W1、W2)加压(或加热)而贴合。接着,使反转台(31)反转到原状态,将贴合后的工件(W1、W2)(微芯片)取出。

    掩模与工件的对齐方法
    133.
    发明授权

    公开(公告)号:CN102736445B

    公开(公告)日:2015-01-28

    申请号:CN201210109339.6

    申请日:2012-04-13

    Abstract: 一种掩模与工件的对齐方法,即使工件发生伸缩变形,关于通过投影曝光形成在工件上的图案的位置,通过此前的曝光处理形成的图案的位置与在下一工序中进行的丝网印刷等的掩模图案的位置之间也不会产生大的偏移。在进行投影曝光装置的对齐时,调整将上述掩模(M)的图案放大或缩小投影的倍率,使得在掩模(M)的掩模标记(MAM1~4)与工件标记(WAM1~4)的偏移量(dR)的总和上加上掩模(M)的掩模标记(MAM1~4)的位置与在下一工序中使用的丝网掩模的掩模标记(SAM1~4)的基准位置的偏移量(dM)的总和而得到的值最小,并且使掩模(M)或工件(W)移动来进行掩模(M)与工件(W)的对齐。

    光取向用偏振光照射装置以及光取向用偏振光照射方法

    公开(公告)号:CN104296874A

    公开(公告)日:2015-01-21

    申请号:CN201410341209.4

    申请日:2014-07-17

    Inventor: 木村淳治

    Abstract: 一种光取向用偏振光照射装置以及光取向用偏振光照射方法,能够高精度地检测所照射的偏振光的偏振轴的方向,在方向精度方面,能够进行高品质的光取向处理。在照射面(R)上配置工件(W),在通过经由偏振元件(121)向照射面(R)进行光照射而对工件(W)照射偏振光时,在照射面(R)配置偏振方向检测器(40)并检测偏振光的偏振轴的方向。偏振方向检测器(40)所具备的检偏振器(42)由检偏振器校准器(6)预先被定位,旋转原点相对于装置基准方向成为规定的角度。基于由偏振方向检测器(40)检测到的偏振方向,求出偏振轴的偏离量,通过偏振元件调整机构(7)对偏振元件(121)的姿势进行调整,以消除偏离量。

    荧光灯
    136.
    发明授权

    公开(公告)号:CN102201322B

    公开(公告)日:2014-12-17

    申请号:CN201110079858.8

    申请日:2011-03-25

    Abstract: 一种荧光灯,具有石英玻璃制的发光管,并放射紫外线,即使灯内外的温度差大,荧光体层也不会剥离。在所述发光管的内表面且除了光取出区域以外的区域上形成以二氧化硅粒子为主要成分的紫外线反射层,在该紫外线反射层的内侧且该发光管的整周形成有由软化点比石英玻璃的软化点低的物质构成的玻璃层,在该玻璃层的内侧形成有荧光体层,且所述紫外线反射层的厚度为30~500μm。

    紫外线放射荧光灯
    137.
    发明公开

    公开(公告)号:CN104205288A

    公开(公告)日:2014-12-10

    申请号:CN201380016419.X

    申请日:2013-02-28

    CPC classification number: H01J61/35 H01J61/025 H01J61/44 H01J65/046

    Abstract: 本发明是一种紫外线放射荧光灯(1),具有石英玻璃制成的发光管(2)及将UVC变换成UVA的荧光体,其特征在于,紫外线放射荧光灯是可以同时放射由灯的发光管(2)内的准分子发光生成的UVC与该UVC通过荧光体(11)变换的UVA的结构,在所述发光管内(2)面上形成所述荧光体(11)与对于UVC区域的光具有反射特性的反射体(12)混合的混合层(10),在该混合层(10)形成开口(15)。

    激光剥离装置
    138.
    发明授权

    公开(公告)号:CN102986005B

    公开(公告)日:2014-11-12

    申请号:CN201080068001.X

    申请日:2010-09-28

    Abstract: 能够不在形成在基板上的材料层中产生破裂地以短时间进行激光剥离处理。为了在基板(1)与上述材料层(2)之间的界面处使上述材料层从上述基板剥离,对在基板(1)上形成了材料层(2)而得到的工件(3),从基板(1)侧经由掩模(44)照射激光。激光被掩模(44)分割为多个小面积的激光,在工件上形成相互分离的多个照射区域。此外,相邻的照射区域相互分离,并被配置为,各照射区域的端部、和邻接的照射区域的在与工件的相对移动方向平行的方向上延伸的端部随着工件移动而依次重叠,上述各照射区域的端部与邻接的照射区域的端部相互重叠。由此,能够不在形成在基板上的材料层中产生破裂地使材料层可靠地从基板剥离。

    放电灯点亮装置
    139.
    发明授权

    公开(公告)号:CN102111946B

    公开(公告)日:2014-11-05

    申请号:CN201010559072.1

    申请日:2010-11-23

    CPC classification number: H05B41/2886 H05B41/2925

    Abstract: 在高亮度放电灯的启动时促进消除非对称放电状态,确保可靠的点亮性。一种放电灯点亮装置,由间歇性电压施加单元驱动变压器的初级侧绕组,将次级侧绕组产生的高电压叠加于变换器的输出电压施加到放电灯而构成,在放电灯的启动序列中进行如下控制:以比稳定点亮频率高的启动初始频率驱动变换器,供电电路输出无负载开放电压,如果放电灯中发生绝缘破坏开始放电,就使变换器的频率从启动初始频率逐渐降低到第1临界频率,当达到第1临界频率时,使变换器的频率转入稳定点亮频率,并且供电电路输出足以维持放电灯的放电的电流。

    高压放电灯点灯装置
    140.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101861037B

    公开(公告)日:2014-10-15

    申请号:CN201010157420.2

    申请日:2010-04-01

    Inventor: 山田宏二

    CPC classification number: H05B41/2887 H05B41/2928 Y02B20/202 Y02B20/208

    Abstract: 本发明提供一种高压放电灯点灯装置,在相对于额定功率值以70%以下的灯功率点灯时,也可保持稳定的电弧,并防止电极前端的突起的磨损,在该高压放电灯的点灯装置,在交流点灯方式中使用,前端形成了突起的一对电极以2.0mm以下的间隔相对配置,在该放电容器中封入0.20mg/mm3以上的水银及卤素,其中,在相对于额定消耗功率为70%以下的功率点灯的低功率点灯模式期间,向高压放电灯交互提供具有规定频率的交流电流Ih、及比该频率低的低频的交流电流IL,并且,在提供低频的交流电流IL期间,在该交流基础电流的半个循环中,至少提供二次以上具有比该交流电流IL的电流值Ia大的电流值的升压电流。

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