公开(公告)号：CN117253772A

公开(公告)日：2023-12-19

申请号：CN202311256458.9

申请日：2023-09-26

申请人： 上海广川科技有限公司

发明人： 董怀宝 ,  张菊 ,  马刚 ,  苗义 ,  刘恩龙 ,  武一鸣 ,  朱曼春 ,  朱骏驰 ,  王晨旭 ,  李莹莹 ,  张艺怀 ,  卜天瑜

IPC分类号： H01J37/32

摘要： 一种用于腔体电动开盖机构的伺服零点恢复的方法，包括盖板、涡轮蜗杆减速机、伺服驱动器、运动控制器、固定件、编码器和安全销插孔掉电位置备份模块和零点位置偏差恢复模块；伺服驱动器连接涡轮蜗杆减速机带动所述盖板启闭；因此，本发明通过增加一个新掉电保持的变量Pbku，当伺服驱动器在停止工作时，运动控制器判断编码器异常情况下，掉电位置备份模块停止开盖备份位置Pbku的位置更新，运动控制器得到所述盖板当前位置Pcur，并从伺服驱动器采集编码器数值，经过预定模型换算后得到理想开盖角度位置Pecd；零点位置偏差恢复模块根据当前位置Pcur和开盖角度位置Pecd，得到开盖零点位置与编码器换算后的零点位置的偏差值Poff，调整开盖机构的零点位置。

公开(公告)号：CN117198977A

公开(公告)日：2023-12-08

申请号：CN202311206641.8

申请日：2023-09-19

申请人： 上海广川科技有限公司

发明人： 董怀宝 ,  苗义 ,  马刚 ,  刘恩龙 ,  武一鸣 ,  张菊 ,  刘锐 ,  朱曼春 ,  朱骏驰 ,  王晨旭 ,  卜天瑜

IPC分类号： H01L21/687 ,  H01L21/677 ,  H01L21/68 ,  H01L21/67

摘要： 一种晶圆传输时中心自动对正方法，包括机器人末端执行器、两个反射传感器、偏移计算模块、初始对正模块和自动校正模块；两个反射传感器安装在机器人末端执行器的前端，反射传感器发光方向垂直于机器人末端执行器；初始对正模块在执行一次取放片操作后，通过扫描计算晶圆的圆心位置和半径信息，自动校正模块在执行一次取放片操作后，根据据两组偏移量Dx和Dy的差值以及两个各位之间相应的伸手坐标值整体偏移确定采集到数值的准确性。当采集到数值准确性有问题时，自动纠偏模块根据Dx和Dy的数值，进行逆运算，计算出旋转轴和伸手轴的运行角度，进行插补运动完成晶圆的自动纠偏，以及根据Dx和Dy的偏差值，判断晶圆放置位置是否满足精度要求。

公开(公告)号：CN117174627A

公开(公告)日：2023-12-05

申请号：CN202311228992.9

申请日：2023-09-22

申请人： 上海广川科技有限公司

发明人： 刘恩龙 ,  武一鸣 ,  杨琦 ,  张菊 ,  王贺明 ,  曲泉铀 ,  张平 ,  李家璇 ,  中岛隆志 ,  川辺哲也 ,  焦子洋 ,  西超博

IPC分类号： H01L21/673 ,  H01L21/687 ,  H01L21/677

摘要： 本发明公开了一种兼容型的晶圆缓存装置，包括：M个承载支柱，且M个承载支柱均匀间隔分布以围成圆形，承载支柱朝向圆心的一侧沿着承载支柱的延伸方向设置有若干个晶圆支撑块；位于承载支柱外侧的推杆，所述推杆的固定端与承载支柱转动连接，所述推杆的活动端连接第一驱动件；所述推杆中设置有与晶圆支撑块一一固定连接的限位块；所述第一驱动件带动推杆沿着固定端旋转。本发明提供的一种兼容型的晶圆缓存装置，通过调整承载支柱中晶圆支撑块的距离，实现不同场景下的晶圆缓存，本申请结构简单，尺寸调节快捷且精准，提高了不同尺寸晶圆缓存的效率和兼容性。

公开(公告)号：CN117116817A

公开(公告)日：2023-11-24

申请号：CN202311228991.4

申请日：2023-09-22

申请人： 上海广川科技有限公司

发明人： 刘恩龙 ,  杨琦 ,  王贺明 ,  武一鸣 ,  张菊 ,  曲泉铀 ,  张平 ,  李家璇 ,  中岛隆志 ,  川辺哲也 ,  焦子洋 ,  西超博

IPC分类号： H01L21/673 ,  H01L21/687 ,  H01L21/677

摘要： 本发明公开了一种尺寸兼容的晶圆缓存装置，包括M个承载支柱，且M个承载支柱均匀间隔分布以围成圆形，承载支柱朝向圆心的一侧沿着承载支柱的延伸方向设置有若干个晶圆支撑块15；M个直线导轨，一一对应位于所述承载支柱的端部，且所述直线导轨的一端位于承载支柱所围成的圆心位置处，另一端朝着圆形边缘延伸；驱动件，带动M个承载支柱沿着对应的直线导轨同步移动。本发明提供的一种尺寸兼容的晶圆缓存装置，通过调整承载支柱之间的距离使得承载支柱上的晶圆支撑块能够缓存不同尺寸的晶圆，本申请结构简单，尺寸调节快捷且精准，提高了不同尺寸晶圆缓存的效率和兼容性。

公开(公告)号：CN117080135A

公开(公告)日：2023-11-17

申请号：CN202311071816.9

申请日：2023-08-24

申请人： 上海广川科技有限公司

发明人： 刘恩龙 ,  杨琦 ,  萩尾光昭 ,  张菊 ,  武一鸣 ,  王贺明 ,  曲泉铀 ,  张平 ,  李家璇 ,  中岛隆志 ,  川辺哲也 ,  焦子洋 ,  西超博

IPC分类号： H01L21/677 ,  B08B5/02 ,  B08B5/04

摘要： 一种可净化保护的末端执行器，包括气体吹扫单元、晶圆搬运单元和气体回收单元；该气体吹单元包括顶部手臂、气嘴、气管、传动机构和吹扫盘；晶圆搬运单元包括中部手臂和末端手指；气体回收单元包括底部手臂和气体回收盘；顶部手臂可旋转地固定在机器人手臂上；气管固定在气嘴上用于给吹扫盘供气；吹扫盘中心与末端手指把持的晶圆中心以及气体回收盘同心，吹扫盘通过传动机构实现上下方向直线运动，且吹扫盘在最低位置时，与气体回收盘可形成一个封闭的空间将所述晶圆保护起来；当需要对晶圆进行吹扫时，气体吹扫单元将经过负压处理的非活性气体排出。因此，本发明满足对晶圆超高洁净搬运需求，即实现整个搬运过程对晶圆净化保护。

公开(公告)号：CN116985159A

公开(公告)日：2023-11-03

申请号：CN202311056436.8

申请日：2023-08-22

申请人： 上海广川科技有限公司

发明人： 刘恩龙 ,  杨琦 ,  张菊 ,  武一鸣 ,  张平 ,  曲泉铀 ,  王贺明 ,  李家璇 ,  中岛隆志 ,  川辺哲也 ,  西超博 ,  焦子洋

IPC分类号： B25J11/00

摘要： 本发明公开了一种手臂可升降的机械手，包括本体单元、支撑臂单元、升降臂单元、顶部臂单元、第一末端执行器单元和第二末端执行器单元，其中：支撑臂单元的一端绕本体单元旋转和/或升降运动；支撑臂单元的另一端支撑升降臂单元的一端，并使升降臂单元执行旋转和/或升降运动，升降臂单元的另一端支撑、升降和旋转所述第一末端执行器，顶部臂单元一端绕升降臂单元旋转，顶部臂单元的的另一端支撑和旋转第二末端执行器；其中，第一末端执行器和第二末端执行器的间距随升降臂单元带动第一末端执行器的升降来改变；因此，本发明不仅可以实现对单个工位和双工位进行晶圆取放片功能，还可以实现对水平间距可调、跨度大且存在高度差两工位晶圆的传输。

公开(公告)号：CN116852330A

公开(公告)日：2023-10-10

申请号：CN202311106929.8

申请日：2023-08-30

申请人： 上海广川科技有限公司

发明人： 王贺明 ,  刘恩龙 ,  杨琦 ,  武一鸣 ,  中岛隆志 ,  古市昌稔 ,  川辺哲也 ,  曲泉铀 ,  张平 ,  周伟强 ,  张菊 ,  贾豪 ,  李家璇 ,  焦子洋 ,  西超博 ,  苗义 ,  朱骏驰 ,  王晨旭 ,  张文磊

IPC分类号： B25J5/02 ,  B25J11/00 ,  B25J18/00

摘要： 本发明提供了一种变轨伸缩机械臂组、半导体晶圆双臂搬运机器人，其中该变轨伸缩机械臂组，包括：基座，直线交替驱动装置，一对呈镜像结构的末端执行器单元，其中直线交替驱动装置横向设置在基座上，各末端执行器单元分别与直线交替驱动装置的传动端连接并呈镜像位设置，所述基座上对应各所述末端执行器单元的位置处分别设有导槽，各所述末端执行器单元分别与导槽配接，以经导槽引导，沿直线交替驱动装置传动方向变轨，促使双臂交替外伸时令末端执行器单元逐渐汇入双臂间中心线航道、回退时双臂于交汇处相互避让，籍此以替代Scara双臂机器人，实现晶圆搬运工序中的搬运动作。

公开(公告)号：CN116682781A

公开(公告)日：2023-09-01

申请号：CN202310809279.7

申请日：2023-07-04

申请人： 上海广川科技有限公司

发明人： 董怀宝 ,  武一鸣 ,  刘恩龙 ,  马刚 ,  刘锐 ,  苗义 ,  张菊 ,  董阳 ,  李莹莹 ,  卜天瑜 ,  张艺怀 ,  王俊波

IPC分类号： H01L21/687 ,  B25J15/00 ,  H01L21/677

摘要： 本发明涉及机械制造的技术领域，公开了一种用于半导体晶圆运输系统的智能化末端执行器结构，包括设置在晶圆搬运机器人的机械臂末端的承载平板，所述承载平板用于承载晶圆，在其周边位置设置有多个台阶状的仿生被动增磨垫，在其靠近机械臂末端的一端设置有夹爪，所述夹爪用于通过伸缩实现晶圆夹持，所述夹爪的驱动器与处理器相连，所述处理器用于接收上位机的晶圆选型信息，通过驱动器控制夹爪是否伸出，以参与晶圆夹持。整个装置结构简单，组装简单，维护难度低，便于推广应用。

公开(公告)号：CN112635378A

公开(公告)日：2021-04-09

申请号：CN202011573358.5

申请日：2020-12-25

申请人： 上海广川科技有限公司

发明人： 刘恩龙 ,  杨琦 ,  张菊 ,  中岛隆志 ,  川辺哲也 ,  马刚 ,  张加峰 ,  曹洁 ,  张贤龙 ,  李莹莹

IPC分类号： H01L21/677

摘要： 本发明公开了一种晶圆传输系统，包括上料单元、校正单元和/或缓存单元、处理单元和机械手臂，所述上料单元、校正单元和/或缓存单元中晶圆水平放置，所述处理单元中晶圆竖直放置；所述机械手臂包括本体、大臂、小臂、上末端执行器和下末端执行器，其中，所述大臂的固定端可旋转地安装在所述本体一端，所述小臂的固定端可旋转地安装在所述大臂的移动端，所述上末端执行器和下末端执行器的固定端上下叠加且可旋转地安装在所述小臂的移动端；所述上末端执行器和下末端执行器的移动端可旋转地安装上手指和下手指。本发明晶圆传输系统中晶圆可以实现水平放置位置和竖直放置位置的切换。

公开(公告)号：CN117584163A

公开(公告)日：2024-02-23

申请号：CN202310808861.1

申请日：2023-07-04

申请人： 上海广川科技有限公司

发明人： 董怀宝 ,  刘恩龙 ,  武一鸣 ,  马刚 ,  刘锐 ,  苗义 ,  张菊 ,  董阳 ,  李莹莹 ,  卜天瑜 ,  张艺怀 ,  王俊波

IPC分类号： B25J15/06

摘要： 本发明涉及机械制造的技术领域，公开了一种用于半导体晶圆运输系统的多功能末端执行器结构，包括设置在晶圆搬运机器人的机械臂末端的承载平板，所述承载平板用于承载晶圆，在其顶面的中央位置设置有多个真空吸盘，在其周边位置设置有多个台阶状的仿生被动增摩垫，在其内部设置有与各个真空吸盘对应连通的管道以及气缸，每个所述气缸与处理器相连，所述处理器用于接收上位机的晶圆选型信息，控制气缸是否驱动真空吸盘参与晶圆夹持。整个装置结构简单，组装简单，维护难度低，便于推广应用。