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公开(公告)号：CN102566267A
公开(公告)日：2012-07-11
申请号：CN201110402834.1
申请日：2008-11-13
申请人： 东京应化工业株式会社
IPC分类号： G03F7/004 , G03F7/039 , G03F7/00 , C07D327/04 , C07D333/46 , C07D335/02 , C07D333/76 , C07C381/12
CPC分类号： G03F7/0045 , C07D327/02 , C07D327/04 , C07D497/08 , C08K5/36 , C08K5/42 , G03F7/0046 , G03F7/0397 , Y10S430/106 , Y10S430/111 , Y10S430/122 , Y10S430/123
摘要： 本发明提供抗蚀剂组合物、使用该抗蚀剂组合物的抗蚀剂图案的形成方法、用作该抗蚀剂组合物用产酸剂的新型化合物、用作该化合物的前体的化合物以及该产酸剂。其中，涉及通式(I)表示的化合物；以及通式(b1-1)表示的化合物(式中，Q1是2价连接基团或单键；Y1是可具有取代基的亚烷基或可具有取代基的氟代亚烷基；X表示可具有取代基的碳原子数为3～30的环式基，该环结构中具有-SO2-键。M+是碱金属离子。A+是有机阳离子)。
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公开(公告)号：CN102344437A
公开(公告)日：2012-02-08
申请号：CN201110206830.6
申请日：2008-11-13
申请人： 东京应化工业株式会社
IPC分类号： C07D327/04 , C07D333/46 , C07D335/02 , C07D333/76 , C07C381/12
CPC分类号： G03F7/0045 , C07D327/02 , C07D327/04 , C07D497/08 , C08K5/36 , C08K5/42 , G03F7/0046 , G03F7/0397 , Y10S430/106 , Y10S430/111 , Y10S430/122 , Y10S430/123
摘要： 本发明提供抗蚀剂组合物、使用该抗蚀剂组合物的抗蚀剂图案的形成方法、用作该抗蚀剂组合物用产酸剂的新型化合物、用作该化合物的前体的化合物以及该产酸剂。其中，涉及通式(I)表示的化合物；以及通式(b1-1)表示的化合物(式中，Q1是2价连接基团或单键；Y1是可具有取代基的亚烷基或可具有取代基的氟代亚烷基；X表示可具有取代基的碳原子数为3～30的环式基，该环结构中具有-SO2-键。M+是碱金属离子。A+是有机阳离子。)
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公开(公告)号：CN110275395B
公开(公告)日：2024-05-17
申请号：CN201910194272.2
申请日：2019-03-14
申请人： 东京应化工业株式会社
摘要： 提供抗蚀剂组合物以及抗蚀剂图案形成方法。一种抗蚀剂组合物，其是含有对显影液的溶解性因酸的作用而变化的基材成分(A)和通过曝光产生酸的产酸剂成分(B)的抗蚀剂组合物，上述基材成分(A)含有高分子化合物(A1)，所述高分子化合物(A1)含有具有酸分解性基团的结构单元(a1)，上述具有酸分解性基团的结构单元(a1)相对于上述高分子化合物(A1)的全部结构单元以51摩尔％～59摩尔％含有，上述具有酸分解性基团的结构单元(a1)含有下述式(a1－1)表示的结构单元(式中，R表示氢原子、烷基或卤代烷基；Z表示单键或亚烷基；Cp为式(Cp－1)表示的基团；R1为叔烷基；np为正整数；＊表示与Z的键合位置)。#imgabs0#
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公开(公告)号：CN107844031B
公开(公告)日：2023-04-25
申请号：CN201710838817.X
申请日：2017-09-18
申请人： 东京应化工业株式会社
摘要： 含有高分子化合物和由以式(b1‑1)表示的化合物形成的产酸剂的抗蚀剂组合物，其中，该高分子化合物具有以式(a0‑1)表示的结构单元(a0)；式中，Ra00为以式(a0‑r1‑1)表示的酸解离性基团，Ra01、Ra02、Ra031、Ra032和Ra033为烃基，Ya0为季碳原子，R101为作为取代基具有至少1个羟基的烃基，Y101为单键或含氧原子的2价连接基团，V101为单键、亚烷基、或氟代亚烷基。[化1]
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公开(公告)号：CN107844030B
公开(公告)日：2023-04-25
申请号：CN201710831056.5
申请日：2017-09-15
申请人： 东京应化工业株式会社
摘要： 一种抗蚀剂组合物，其特征在于，包含高分子化合物(A1)和由以通式(b1‑1)表示的化合物构成的产酸剂(B1)，该高分子化合物(A1)具有0～20摩尔％包含含极性基团的脂肪族烃基的结构单元(a3)。式(b1‑1)中，R101为具有至少1个羟基作为取代基的烃基。Y101为单键或含氧原子的2价连接基团。V101为单键、亚烷基或氟代亚烷基。R102为氟原子或碳数1～5的氟代烷基。M'm+为m价的有机阳离子。[化1]
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公开(公告)号：CN112654926A
公开(公告)日：2021-04-13
申请号：CN201980058919.7
申请日：2019-08-29
申请人： 东京应化工业株式会社
摘要： 本发明涉及一种抗蚀剂组合物，含有基材成分(A)、产酸剂成分(B)、及混合了由下述式(s1)表示的有机溶剂(S1)的混合溶剂(S)，所述产酸剂成分(B)含有由下述式(b1)表示的化合物(B1)。式中，Rb1为芳基。Rb2以及Rb3分别独立地为脂肪族烃基。Lb1、Lb2以及Lb3分别独立地为2价的连接基团或单键。X‑是反荷阴离子。R1及R2分别独立地为碳数为1～6的烷基。
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公开(公告)号：CN101515112A
公开(公告)日：2009-08-26
申请号：CN200910006470.8
申请日：2009-02-18
申请人： 东京应化工业株式会社
IPC分类号： G03F7/039 , G03F7/00 , C08F220/10 , C08L33/08
CPC分类号： G03F7/0397 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , Y10S430/111 , Y10S430/122 , Y10S430/123 , Y10S430/124 , Y10S430/125 , Y10S430/126
摘要： 本发明提供一种正型抗蚀剂组合物，它是含有在酸的作用下对碱显影液的溶解性增大的基材成分(A)和通过曝光而产生酸的产酸剂成分(B)的正型抗蚀剂组合物，其特征在于，上述基材成分(A)含有高分子化合物(A1)，该高分子化合物(A1)具有下述通式(a0－1)表示的结构单元(a0)，式中，R1是氢原子、低级烷基或卤代低级烷基，A是2价的连接基团，B是2价的连接基团，R2是酸解离性溶解抑制基团。
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公开(公告)号：CN116745699A
公开(公告)日：2023-09-12
申请号：CN202180083350.7
申请日：2021-11-19
申请人： 东京应化工业株式会社
IPC分类号： G03F7/039
摘要： 一种抗蚀剂组合物，含有基材成分(A)、产酸剂成分(B)、可光降解的碱(D0)，可光降解的碱(D0)包含以通式(d0‑1)表示的化合物(D01)及以通式(d0‑2)表示的化合物(D02)。式中，Rd01为可具有取代基的链状或环状的脂肪族烃基。n01为1～10的整数。Rd02为具有氧原子(＝O)的环状的脂肪族烃基。m为1以上的整数，Mm+为m价的有机阳离子。#imgabs0#
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公开(公告)号：CN107844031A
公开(公告)日：2018-03-27
申请号：CN201710838817.X
申请日：2017-09-18
申请人： 东京应化工业株式会社
CPC分类号： G03F7/039 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/038 , G03F7/0397 , G03F7/162 , G03F7/168 , G03F7/2006 , G03F7/2041 , G03F7/32 , G03F7/40 , G03F7/004
摘要： 含有高分子化合物和由以式(b1-1)表示的化合物形成的产酸剂的抗蚀剂组合物，其中，该高分子化合物具有以式(a0-1)表示的结构单元(a0)；式中，Ra00为以式(a0-r1-1)表示的酸解离性基团，Ra01、Ra02、Ra031、Ra032和Ra033为烃基，Ya0为季碳原子，R101为作为取代基具有至少1个羟基的烃基，Y101为单键或含氧原子的2价连接基团，V101为单键、亚烷基、或氟代亚烷基。[化1]
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公开(公告)号：CN101470349A
公开(公告)日：2009-07-01
申请号：CN200810173347.0
申请日：2008-11-13
申请人： 东京应化工业株式会社
CPC分类号： G03F7/0045 , C07D327/02 , C07D327/04 , C07D497/08 , C08K5/36 , C08K5/42 , G03F7/0046 , G03F7/0397 , Y10S430/106 , Y10S430/111 , Y10S430/122 , Y10S430/123
摘要： 本发明提供抗蚀剂组合物、使用该抗蚀剂组合物的抗蚀剂图案的形成方法、用作该抗蚀剂组合物用产酸剂的新型化合物、用作该化合物的前体的化合物以及该产酸剂。其中，涉及通式(I)表示的化合物；以及通式(b1－1)表示的化合物(式中，Q1是2价连接基团或单键；Y1是可具有取代基的亚烷基或可具有取代基的氟代亚烷基；X表示可具有取代基的碳原子数为3～30的环式基，该环结构中具有－SO2－键。M+是碱金属离子。A+是有机阳离子)。
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