-
公开(公告)号：CN106463356B
公开(公告)日：2019-05-17
申请号：CN201580024398.5
申请日：2015-04-28
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/027 , B29C59/02 , C08F2/50 , H01L21/3065
Abstract: 提供一种纳米压印用固化性组合物，其即使当在低曝光量下通过光纳米压印方法使所述固化性组合物固化时，也能够形成具有充分固化的表面且图案倒塌缺陷倾向较小的固化产物。提供形成此类固化产物的纳米压印方法。提供即使在低曝光量下固化时图案倒塌缺陷倾向也较小的固化产物，此类固化产物的制造方法，光学组件的制造方法，电路板的制造方法和电子组件的制造方法。一种固化性组合物，其在固化状态下满足式(1)：Er1/Er2≧1.10(1)，其中，Er1表示所述固化性组合物的固化产物的表面折减弹性模量(GPa)，和Er2表示所述固化产物的内部折减弹性模量(GPa)。
-
公开(公告)号：CN107112208A
公开(公告)日：2017-08-29
申请号：CN201580069521.5
申请日：2015-12-15
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/027 , B29C59/02 , H01L21/3065
CPC classification number: G03F7/0002 , C08F2/50 , G02B5/1857 , H01L21/0271 , H01L21/0337
Abstract: 一种压印用光固化性组合物，至少具有聚合性化合物(A)和光聚合引发剂(B)，其中聚合性化合物(A)包含20重量％以上的多官能(甲基)丙烯酸系单体，且光固化性组合物的光固化物的玻璃化转变温度为90℃以上。
-
公开(公告)号：CN106062010A
公开(公告)日：2016-10-26
申请号：CN201580010744.4
申请日：2015-02-10
Applicant: 佳能株式会社
IPC: C08F2/48 , C08F20/10 , H01L21/027
Abstract: 在含有冷凝性气体的气态氛围下的压印方法中，光压印用固化性组合物难以固化，图案未完全形成而造成缺陷。本发明涉及一种在含有冷凝性气体的气态氛围下的光压印用固化性组合物。该光压印用固化性组合物至少包含下列组分(A)和组分(B)：(A)聚合性化合物，和(B)光聚合引发剂。组分(B)具有小于1重量％的在5℃和1atm下在液态的冷凝性气体中的饱和溶解度，或具有大于7.6的对冷凝性气体的汉森距离(Ra)。
-
-
公开(公告)号：CN105340061A
公开(公告)日：2016-02-17
申请号：CN201480036474.X
申请日：2014-06-19
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/027 , B29C59/02 , C08F2/44 , C08F20/50
CPC classification number: B29C59/005 , B29C59/002 , B29C59/022 , B29C59/026 , B29C2059/023 , B29K2033/08 , B29K2105/0005 , C08F2/44 , C08F2/50 , C08L33/08 , G03F7/0002 , C08F2220/1875 , C08F2222/1013
Abstract: 使用冷凝性气体工艺的压印方法具有抗蚀固化膜的表面粗糙的问题。这通过用于在含冷凝性气体的气氛中进行压印的光固化性组合物来解决。所述光固化性组合物含有组分(A)(甲基)丙烯酸酯单体、组分(B)光聚合引发剂和组分(C)脱模剂。在5度(摄氏)和1大气压下所述组分(C)在所述冷凝性气体中的饱和溶解度为5重量％以下，所述冷凝性气体在5度(摄氏)和1大气压下为液态。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105189448A
公开(公告)日：2015-12-23
申请号：CN201480026291.X
申请日：2014-05-02
Applicant: 佳能株式会社
IPC: C07C217/08 , C08F2/50 , H01L21/027
CPC classification number: C08F2/50 , C07C217/08 , C07C217/40 , G02B1/12 , G03F7/0002 , H01L21/02118 , H01L21/3081 , H01L21/311 , H05K3/0076 , H05K3/0079 , H05K3/0082 , H05K3/30 , H05K2203/0548
Abstract: 提供了一种化合物，其增大光固化性组合物的光固化速度并且降低固化物与模具的脱模力。一种化合物由通式(1)表示：其中Rf表示至少一部分由氟取代的烷基，RO表示氧化烯基或氧化烯基的重复结构，N表示氮原子，RA表示烷基，和RB表示烷基或氢原子。
-
公开(公告)号：CN110275394B
公开(公告)日：2022-12-06
申请号：CN201910396457.1
申请日：2015-04-28
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/027 , G03F7/031 , G03F7/029 , H01L21/033 , H01L21/308
Abstract: 本发明涉及固化性组合物、固化产物及其生产方法、以及光学组件、电路板和电子组件的制造方法。提供一种纳米压印用固化性组合物，其即使当在低曝光量下通过光纳米压印方法使所述固化性组合物固化时，也能够形成具有充分固化的表面且图案倒塌缺陷倾向较小的固化产物。提供形成此类固化产物的纳米压印方法。提供即使在低曝光量下固化时图案倒塌缺陷倾向也较小的固化产物，此类固化产物的制造方法，光学组件的制造方法，电路板的制造方法和电子组件的制造方法。一种固化性组合物，其在固化状态下满足式(1)：Er1/Er2≧1.10(1)，其中，Er1表示所述固化性组合物的固化产物的表面折减弹性模量(GPa)，和Er2表示所述固化产物的内部折减弹性模量(GPa)。
-
公开(公告)号：CN107849375B
公开(公告)日：2022-05-17
申请号：CN201680046613.6
申请日：2016-07-29
Applicant: 佳能株式会社
IPC: C09D11/023 , C09D11/03 , C09D11/101
Abstract: 一种光固化性墨，其包括包含聚合性化合物和光聚合引发剂的油性液体、和包含水的水性液体。当将光固化性墨以15000rpm以上的旋转速度搅拌3分钟、然后使其在25℃下放置一小时以上时，由水性液体形成的液滴分散在油性液体中而在油性液体与水性液体之间没有层分离。
-
公开(公告)号：CN110275394A
公开(公告)日：2019-09-24
申请号：CN201910396457.1
申请日：2015-04-28
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/027 , G03F7/031 , G03F7/029 , H01L21/033 , H01L21/308
Abstract: 本发明涉及固化性组合物、固化产物及其生产方法、以及光学组件、电路板和电子组件的制造方法。提供一种纳米压印用固化性组合物，其即使当在低曝光量下通过光纳米压印方法使所述固化性组合物固化时，也能够形成具有充分固化的表面且图案倒塌缺陷倾向较小的固化产物。提供形成此类固化产物的纳米压印方法。提供即使在低曝光量下固化时图案倒塌缺陷倾向也较小的固化产物，此类固化产物的制造方法，光学组件的制造方法，电路板的制造方法和电子组件的制造方法。一种固化性组合物，其在固化状态下满足式(1)：Er1/Er2≧1.10(1)，其中，Er1表示所述固化性组合物的固化产物的表面折减弹性模量(GPa)，和Er2表示所述固化产物的内部折减弹性模量(GPa)。
-
公开(公告)号：CN107849375A
公开(公告)日：2018-03-27
申请号：CN201680046613.6
申请日：2016-07-29
Applicant: 佳能株式会社
IPC: C09D11/023 , C09D11/03 , C09D11/101
CPC classification number: C09D11/101 , B41J2/17513 , C01G23/047 , C01P2004/64 , C09D11/023 , C09D11/03 , C09D11/037 , C09D11/106
Abstract: 一种光固化性墨，其包括包含聚合性化合物和光聚合引发剂的油性液体、和包含水的水性液体。当将光固化性墨以15000rpm以上的旋转速度搅拌3分钟、然后使其在25℃下放置一小时以上时，由水性液体形成的液滴分散在油性液体中而在油性液体与水性液体之间没有层分离。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
27
records
(took 0.063 seconds)
