公开(公告)号：CN105009256B

公开(公告)日：2017-09-15

申请号：CN201480012262.8

申请日：2014-03-04

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 北川健司 ,  伊藤俊树

IPC: H01L21/027 ,  B29C59/02 ,  C08F2/48 ,  C09K3/00 ,  C07C311/17

CPC classification number: C08K5/435 ,  B29C35/0805 ,  B29C59/005 ,  B29C59/026 ,  B29D11/00865 ,  B29K2033/12 ,  B29L2031/3425 ,  C07C311/17 ,  C07C311/44 ,  C08F2/48 ,  G03F7/0002 ,  G03F7/0046 ,  H01L21/02118 ,  H01L21/0274 ,  Y10T428/24612

Abstract: 提供即使曝光量低脱模力的降低效果也优异的光固化性组合物，和包含于所述光固化性组合物中的感光性气体产生剂。感光性气体产生剂为具有通过光刺激产生气体的光刺激响应性气体产生基团、全氟烷基和连接光刺激响应性气体产生基团和全氟烷基的聚亚烷基氧基的化合物。光固化性组合物包含感光性气体产生剂。

公开(公告)号：CN104737271B

公开(公告)日：2018-04-10

申请号：CN201380052636.4

申请日：2013-09-20

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 伊藤俊树 ,  三原知恵子 ,  松藤奈央子 ,  北川健司

IPC: H01L21/027 ,  B29C59/02 ,  C08K5/435 ,  C08L33/00

CPC classification number: C08F222/10 ,  B29C59/16 ,  B29D11/00788 ,  B29L2011/00 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  C08K5/235 ,  C08K5/435 ,  C08L33/06 ,  C23C14/48 ,  G02B1/04 ,  G03F7/0002 ,  G03F7/022 ,  G03F7/027 ,  H01L21/0271 ,  H01L21/311 ,  H05K3/0091 ,  H05K3/06 ,  Y10T428/24802

Abstract: 提供了一种降低了脱模力的光固化性组合物。所述光固化性组合物是以下光固化性组合物，其在与具有形成了凹凸图案的表面的模具接触的同时使用光来固化从而制造具有凹凸图案的膜，并且包括聚合性化合物、光聚合引发剂和具有光刺激响应部位的感光性气体产生剂。所述感光性气体产生剂具有含有至少一个烯化氧链的重复结构并且通过光照射从所述光刺激响应部位产生气体。

公开(公告)号：CN105492468A

公开(公告)日：2016-04-13

申请号：CN201480047587.X

申请日：2014-08-27

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 北川健司 ,  伊藤俊树 ,  米泽诗织 ,  川崎阳司

IPC: C08F2/44 ,  H05K3/28

Abstract: 提供一种固化性组合物，其包含聚合引发剂；聚合性化合物；和具有亲水性官能团的内部添加型脱模剂，其中防止内部添加型脱模剂不均匀地分布在固化性组合物的气液界面。

公开(公告)号：CN105009256A

公开(公告)日：2015-10-28

申请号：CN201480012262.8

申请日：2014-03-04

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 北川健司 ,  伊藤俊树

IPC: H01L21/027 ,  B29C59/02 ,  C08F2/48 ,  C09K3/00 ,  C07C311/17

CPC classification number: C08K5/435 ,  B29C35/0805 ,  B29C59/005 ,  B29C59/026 ,  B29D11/00865 ,  B29K2033/12 ,  B29L2031/3425 ,  C07C311/17 ,  C07C311/44 ,  C08F2/48 ,  G03F7/0002 ,  G03F7/0046 ,  H01L21/02118 ,  H01L21/0274 ,  Y10T428/24612

Abstract: 提供即使曝光量低脱模力的降低效果也优异的光固化性组合物，和包含于所述光固化性组合物中的感光性气体产生剂。感光性气体产生剂为具有通过光刺激产生气体的光刺激响应性气体产生基团、全氟烷基和连接光刺激响应性气体产生基团和全氟烷基的聚亚烷基氧基的化合物。光固化性组合物包含感光性气体产生剂。

公开(公告)号：CN104737271A

公开(公告)日：2015-06-24

申请号：CN201380052636.4

申请日：2013-09-20

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 伊藤俊树 ,  三原知恵子 ,  松藤奈央子 ,  北川健司

IPC: H01L21/027 ,  B29C59/02 ,  C08K5/435 ,  C08L33/00

CPC classification number: C08F222/10 ,  B29C59/16 ,  B29D11/00788 ,  B29L2011/00 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  C08K5/235 ,  C08K5/435 ,  C08L33/06 ,  C23C14/48 ,  G02B1/04 ,  G03F7/0002 ,  G03F7/022 ,  G03F7/027 ,  H01L21/0271 ,  H01L21/311 ,  H05K3/0091 ,  H05K3/06 ,  Y10T428/24802

Abstract: 提供了一种降低了脱模力的光固化性组合物。所述光固化性组合物是以下光固化性组合物，其在与具有形成了凹凸图案的表面的模具接触的同时使用光来固化从而制造具有凹凸图案的膜，并且包括聚合性化合物、光聚合引发剂和具有光刺激响应部位的感光性气体产生剂。所述感光性气体产生剂具有含有至少一个烯化氧链的重复结构并且通过光照射从所述光刺激响应部位产生气体。