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公开(公告)号：CN114744000A
公开(公告)日：2022-07-12
申请号：CN202210218412.7
申请日：2022-03-04
Applicant: 华中科技大学
IPC: H01L27/146 , C23C28/00
Abstract: 本发明涉及基于微喷印硫化钼薄膜的仿视网膜光探测器件及制备方法，属于微纳制造与光电子器件相关技术领域。制备方法包括：(1)在刚性衬底表面沉积剥离层，在剥离层表面涂敷柔性基底；(2)在柔性基底表面沉积绝缘层，通过光刻方法在绝缘层上制得金属电极阵列；(3)通过微喷印将原子级厚度硫化钼复合薄膜喷涂于金属电极沟道之间；(4)对柔性器件阵列进行剪裁，将其从刚性衬底上剥离后与球形衬底表面拼接，得到球形的硫化钼光探测器件。本发明采用微喷印的方法将硫化钼复合薄膜转移到各像元处，具有薄膜涂覆均匀，像元质量高、节约材料、工艺简单、成本低等明显优势。
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公开(公告)号：CN112171378A
公开(公告)日：2021-01-05
申请号：CN202011052328.X
申请日：2020-09-29
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种基于微结构光纤传感的车削温度测量系统，属于温度测量技术领域，通过刀具、刀杆、光纤夹具与传导光纤的配合，实现微结构光纤探头在刀具微孔内的固定和调节，使微结构光纤探头与传导光纤将切削刀具在高温下自发产生的热辐射收集并传导至光学与光电转换单元中；光学与光电转换单元将光信号分束、滤波并进行光电转换生成电压信号，数据采集单元采集电压信号并转换为温度信号。如此，该测温系统在未对机床系统进行大规模改装的情况下实现了车削刀具切削温度的原位在线测量，应用方便，结构稳定，实用性强。同时，微结构光纤探头可以增强对热辐射光信号的收集，由此增强了测温系统信噪比，提升了温度测量准确度。
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公开(公告)号：CN110554045A
公开(公告)日：2019-12-10
申请号：CN201910767044.X
申请日：2019-08-20
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种全自动镜片缺陷检测系统，属于镜片缺陷检测领域，其包括箱体组件、净化装置、夹持装置、清洗装置、干燥装置、缺陷检测装置，净化装置分别位于箱体组件的两侧位置，夹持装置位于箱体组件整体的上部分，干燥装置位于清洗装置一侧，缺陷检测装置位于干燥装置一侧，箱体组件用作整个全自动镜片缺陷检测系统的安装框架，还用于提供工作空间以及无尘环境，净化装置用于净化工作空间以得到无尘环境，夹持装置用于夹持待检测的镜片至设定位置，清洗装置用于清洗待检测的镜片，干燥装置用于干燥清洗过的待检测镜片，缺陷检测装置用于检测镜片是否存在缺陷。本发明系统能够高效地、自动地、标准统一地进行镜片缺陷检测。
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公开(公告)号：CN105762168B
公开(公告)日：2018-08-21
申请号：CN201610237810.8
申请日：2016-04-18
Applicant: 华中科技大学
CPC classification number: Y02E10/549 , Y02E60/13
Abstract: 本发明公开了一种钙钛矿太阳能电池与超级电容器集成件及制备方法，其包括超级电容器和两块钙钛矿太阳能电池组，超级电容器包括表面印刷有碳电极的导电基底，导电基底夹在两块太阳能电池组中间，并由固态电解质层隔离；钙钛矿太阳能电池组包括多个串联的太阳能电池单元，太阳能电池单元包括导电基底、光阳极、钙钛矿层和碳电极，其中，位于左端的太阳能电池单元的碳电极既作为钙钛矿太阳能电池组的正极，又作为超级电容器的正极，位于右端的太阳能电池单元的导电基底与超级电容器的导电基底相连，使光照产生的电子传输于超级电容器的负极。本发明简化了制备工艺，降低了制备成本，实现了基于钙钛矿微能源器件高效光电能量转换与存储功能的统一。
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公开(公告)号：CN107526879A
公开(公告)日：2017-12-29
申请号：CN201710659044.9
申请日：2017-08-04
Applicant: 华中科技大学
IPC: G06F17/50
Abstract: 本发明属于有限元模拟领域，并公开了一种基于ANSYS参数化设计语言的三维模型梯度有限元求解方法，该方法主要包括如下步骤：模型前处理，求解器设置并求解；提取目标变量和节点自然坐标；求解形函数导数矩阵；求解雅各比列矩阵；求解雅各比列矩阵逆矩阵；计算插值点变量梯度；单元梯度值积分求单元解。本发明方法避免了同类问题导出数据、二次求解、费时费力的缺点，实现了后处理过程中梯度值的快速求解，能够大幅降低计算时间。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107026217A
公开(公告)日：2017-08-08
申请号：CN201710227924.9
申请日：2017-04-10
Applicant: 华中科技大学
IPC: H01L31/109 , H01L31/032 , H01L31/028 , H01L31/20
CPC classification number: H01L31/109 , H01L31/028 , H01L31/032 , H01L31/20 , H01L31/202
Abstract: 本发明属于微纳制造与光电子器件领域，并公开了一种双波段薄膜光探测器，包括基底薄片、第一电极层、第一WSe2层、石墨烯层、第一MoS2层、第二电极层、介质层、第二WSe2层、第三电极层、第二MoS2层和第四电极层,第一电极层设置在基底薄片上；第一WSe2层铺设在基底薄片和第一电极层上；石墨烯层设置在第一WSe2层上；第一MoS2层设置在石墨烯层上；第二电极层设置在第一MoS2层上；介质层铺设在第一MoS2层和第二电极层上；第二WSe2层设置在介质层上；第三电极层和第二MoS2层设置在第二WSe2层上；第四电极层设置在第二MoS2层上。本发明所采用的载流子迁移率高，在可见光波段的光吸收特性好。
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公开(公告)号：CN104966548B
公开(公告)日：2017-06-13
申请号：CN201510295741.1
申请日：2015-06-02
Applicant: 华中科技大学
CPC classification number: Y02E10/549
Abstract: 本发明公开了一种钙钛矿太阳能电池用导电碳浆，其包括有机溶剂、粘结剂和导电填料，还包括无机添加剂，所述无机添加剂为ZrO2或NiO粉末，所述粘结剂占导电碳浆质量百分比为6％～15％，所述导电填料占导电碳浆质量百分比为14％～20％，所述无机添加剂占导电碳浆质量百分比为3％～5％。还公开了一种钙钛矿太阳能电池用碳对电极，采用如上所述的导电碳浆以丝网印刷方式制备获得。并公开了一种钙钛矿太阳能电池，包括如上所述的碳对电极。还公开了一种制备上述导电碳浆的方法。本发明导电碳浆不仅不会腐蚀钙钛矿薄膜，还能提高光电转化效率。
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公开(公告)号：CN103771335B
公开(公告)日：2016-01-20
申请号：CN201410017421.5
申请日：2014-01-15
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种用于仿壁虎脚微纳分级结构的制造工艺，包括：S1、使用LPCVD设备在洁净的硅片上热生长一层SiO2薄膜；S2、在有SiO2层的硅片表面旋涂光刻胶并进行光刻，制备出圆孔阵列图形；S3、使用缓冲氢氟酸溶液对暴露出的SiO2进行刻蚀，将光刻胶上的图形转移到SiO2层；S4、在样品表面镀一层Cu膜；S5、在丙酮或乙醇中进行超声，通过溶脱剥离工艺去除表面的光刻胶及光刻胶表面的Cu；S6、利用CVD-VLS生长工艺，以上述工艺制备的Cu为催化剂，以SiCl4为硅源，以H2为载气，生长Si微米线阵列；S7、在硅线表面镀一层Cu膜；S8、利用CVD-VLS生长工艺，以S7制备的Cu膜为催化剂，以SiCl4为硅源，以H2为载气，在Si微米线表面生长Si纳米线。本发明提供的微纳分级结构中Si微米线的表面分布有Si纳米线，即一种仿壁虎脚微纳分级结构，为干性黏附材料的设计与制造提供了一种解决方案。
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公开(公告)号：CN102951591B
公开(公告)日：2016-01-20
申请号：CN201210471771.X
申请日：2012-11-20
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种用于捕获循环肿瘤细胞的微流道结构及其制造方法，该方法包括：（1）在单晶硅片表面匀胶、光刻得到光刻胶掩膜；（2）基于光刻胶掩膜，使用感应耦合等离子体反应刻蚀技术ICP在单晶硅片上刻蚀出微米级别的凹槽及槽内均匀分布的硅微米柱阵列；（3）在微米柱表面制备纳米线阵列；（4）对凹槽进行封装。按照本发明，可以获得一种用于循环肿瘤细胞检测的微纳复合微流道结构，这种检测结构具有灵敏度高、效率高等特点。
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公开(公告)号：CN102738298B
公开(公告)日：2014-12-10
申请号：CN201210179386.8
申请日：2012-06-01
Applicant: 华中科技大学
IPC: H01L31/18 , H01L31/0224
CPC classification number: Y02P70/521
Abstract: 本发明公开了一种用于太阳能电池光阳极的微纳复合结构及其制备方法，包括：S1：在硅片上匀胶并进行光刻，制作微尺度光刻胶圆盘图形；S2：以光刻胶为掩膜，使用ICP干法刻蚀出微米级硅柱阵列；S3：将带有微米级硅柱阵列的硅片采用SPM工艺清洗并去除微米级硅柱表面的氧化层；S4：进行电化学镀在微米级硅柱表面镀一层银；S5：采用刻蚀剂进行金属催化刻蚀，在微米级硅柱表面制作纳米线并形成微纳复合结构；S6：去除微米级硅柱表面残留的银，并对微纳复合结构进行掺杂使纳米线整体及微米级硅柱表面为N型。本发明提供的微纳复合结构中纳米线垂直于微米柱表面，表面积大，陷光能力强，载流子收集效率高，适合制备高效率的太阳能电池。
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