一种镜组的装调方法
    11.
    发明授权

    公开(公告)号:CN107505684B

    公开(公告)日:2020-04-28

    申请号:CN201710741132.3

    申请日:2017-08-25

    IPC分类号: G02B7/02 G02B27/62

    摘要: 本发明公开了一种镜组的装调方法。该方法步骤如下:根据镜组参数设定镜筒的尺寸,与每个镜片对应的镜筒壁沿周向均匀设置四个调整螺丝;装调时,首先利用杠杆表调整镜筒与中心偏测量仪的位置,调整工作台与中心激光光束光轴的水平位置与俯仰位置;其次,通过调整螺丝对第一个镜片的光轴进行调整,采用隔圈固定后置入下一个镜片继续进行光轴调整;并记录各镜片的实际装调误差;将各镜片参数代入仿真系统,得到该镜组的理想仿真波面;对装调之后的镜筒进行测量得到实际波面,将理想仿真波面与实测波面进行比较,重新仿真得到的理想仿真波面与实测波面误差小于阈值,从而得到镜组装调误差。本发明的误差标定精度高,也极大地提高了整个光学系统的测量精度。

    光纤阵列型点源发生器各光束光程差的检测方法及装置

    公开(公告)号:CN106969845B

    公开(公告)日:2019-05-31

    申请号:CN201710191775.5

    申请日:2017-03-28

    IPC分类号: G01J9/02 G01M11/02

    摘要: 本发明公开了一种光纤阵列型点源发生器各光束光程差的检测方法及装置。检测方法如下:基于全光纤马赫曾德干涉仪的光路系统,在光纤端面放置反射镜使参考光与测试光返回光纤中,将参考臂光纤固定在压电陶瓷微位移器即PZT上;改变PZT电源输出电压从而拉伸光纤以改变光纤长度,使参考光与测试光返回到光电探测器中,通过示波器显示出来;使用移相法计算相位差小数部分,使用小数重合法计算出相位差整数部分,最终得到光程差。所述检测装置基于全光纤马赫曾德干涉仪,包括激光器、第一、第二光纤耦合器、光纤阵列、第一、第二反射镜、光电探测器、示波器和压电陶瓷微位移器。本发明能够准确、快速、有效地对光纤阵列点源发生器光程差进行检测。

    基于径向扫描结合环向扫描的摆臂轮廓面形检测方法

    公开(公告)号:CN104596464B

    公开(公告)日:2017-05-17

    申请号:CN201510039236.0

    申请日:2015-01-26

    IPC分类号: G01B21/20

    摘要: 本发明公开了一种基于径向扫描结合环向扫描的摆臂轮廓面形检测方法,利用基于Forbes多项式拟合的方法对被检元件表面特征进行描述,获得被检元件在非解析表达下的表面梯度分布;建立表面梯度与被检元件特征轮廓的数学模型,提取被检元件特征轮廓线;对提取的特征轮廓线按照径向和环向分别进行测量路径的规划;用摆臂轮廓仪的探针对被检元件按规划的测量路径分别进行径向扫描和环向扫描,获得被检元件的一维特征轮廓数据;利用面形偏差拟合重构算法将被检元件的一维特征轮廓数据进行插值、拟合、重构,最终得到被检元件的二维全面形。该方法具有高效率、高精度、应用广等优点。

    基于最小二乘旋转匹配的干涉标准件误差分离方法

    公开(公告)号:CN106017306A

    公开(公告)日:2016-10-12

    申请号:CN201610300921.9

    申请日:2016-05-09

    IPC分类号: G01B9/02 G01B11/24

    CPC分类号: G01B9/02055 G01B11/2441

    摘要: 本发明公开了一种基于最小二乘旋转匹配的干涉标准件误差分离方法,基于矢量光学理论对长焦透镜零位干涉测试系统构建了三维光线追迹仿真系统,利用仿真系统将干涉标准件面形偏差从长焦透镜测试结果中分离,解决了干涉标准件面形偏差在最终的长焦透镜测量结果中引入误差信息的问题,实现长焦透镜透射波前的GRMS和PSD1高精度测量。在误差分离的过程中,关键是找到三维光线追迹仿真系统中干涉标准件的空间姿态与干涉仪检测时的姿态一致处,即干涉标准件的空间姿态匹配问题。提出利用最小二乘原理,通过不断旋转三维光线追迹仿真系统中干涉标准件的空间姿态,使得仿真系统输出波前与干涉仪测试波前差值最小,完成姿态匹配。

    采用部分相干光场式漫反射屏的面形检测装置及检测方法

    公开(公告)号:CN105973166A

    公开(公告)日:2016-09-28

    申请号:CN201610299365.8

    申请日:2016-05-09

    IPC分类号: G01B11/25

    CPC分类号: G01B11/2527

    摘要: 本发明公开了一种采用部分相干光场式漫反射屏的面形检测装置及检测方法,部分相干光源发出部分相干光束,经空间光调制器调制,入射至石英平板,石英平板将调制后的部分相干光束漫反射至实验平台上的被检元件,经被检元件反射,将携带被检元件面形信息的部分相干光束反射至成像物镜,经成像物镜成像后,被探测器的靶面接收,探测器将采集到的相位分布信息输入计算机,经计算机进行光场分析计算,利用得到的相位分布反演出被检元件的面形。本发明的优点在于利用部分相干光源的相干性,结合空间光调制器对光强的调制作用,使得石英平板漫反射的光同时具有相干性和可调控性。

    多光谱光场相机的成像方法

    公开(公告)号:CN103234527B

    公开(公告)日:2015-06-24

    申请号:CN201310118562.1

    申请日:2013-04-07

    IPC分类号: G01C11/02 G01C11/36

    摘要: 本发明提供一种多光谱光场相机,包括沿光路方向顺次设置的滤光片阵列、成像主透镜、微透镜阵列、组合副透镜、探测器和信号处理系统;成像方法为:首先,在成像主透镜的光瞳面上放置滤光片阵列,采用孔径分割的方法引入目标各个光谱段的信息;其次,利用位于成像主透镜像面上的微透镜阵列对多光谱信息进行空间上的分离;并引入组合副透镜将微透镜焦平面二次转移到探测器光敏面上;最后信号处理系统对探测器得到的数据进行计算,提取得到不同波段光谱图像。本发明可以在同一时间获得全视野范围内每一像素的多光谱信息,实现动态多光谱成像,且系统结构稳固。

    基于动态波前调制结合计算全息片的干涉面形检测方法

    公开(公告)号:CN108592820B

    公开(公告)日:2020-04-07

    申请号:CN201810487033.1

    申请日:2018-05-21

    IPC分类号: G01B11/24

    摘要: 本发明公开了一种基于动态波前调制结合计算全息片的干涉面形检测方法,用于解决大梯度变化的光学自由曲面元件面形高精度检测的问题。本发明将待测光学自由曲面元件的面形分为两部分:非球面面形和剩余自由曲面面形。其中非球面面形通过在测试光路中放置的CGH生成一个旋转对称非球面波前,补偿该待测自由曲面元件的非球面变化部分。而剩余自由曲面面形通过在参考光路中放置的纯相位型反射式空间光调制器动态调制补偿。本发明的优点在于通过动态波前调制结合静态CGH补偿的方式,有效解决了大梯度变化波前生成难得问题,且提高了系统通用性;提高了波前调制精度,且属于零位干涉,测量精度高;可建立在原有的CGH测量系统光路中,装置简单易实现。

    基于动态分时倾斜载频干涉的面形检测装置及检测方法

    公开(公告)号:CN107560565B

    公开(公告)日:2019-05-07

    申请号:CN201710735650.4

    申请日:2017-08-24

    IPC分类号: G01B11/24

    摘要: 本发明公开了一种基于动态分时倾斜载频干涉的面形检测装置及检测方法,根据被检元件的面形,计算出所需要的空间干涉点源阵列位置,采用Tip/Tilt镜产生分时空间干涉点源阵列,每调整一次Tip/Tilt镜的空间姿态,实现一个空间点源的布置。通过设计好的姿态调整位置,依次完成所规划空间点源的扫描。解算干涉条纹,完成被检元件的面形重构,从而实现本发明的高精度面形元件的面形测量。本发明的优点在于采用Tip/Tilt镜的偏摆使其产生轴外倾斜,保证了理想点光源的标准球面波特性;干涉源阵列的空间尺寸不受限制,解决大口径测量的难题;分时动态产生任意分布的轴外干涉点源阵列,提高测量通用性;使干涉源全部利用激光能量,简化系统结构。

    基于Tip\Tilt镜的动态角度调制干涉系统的误差标定方法

    公开(公告)号:CN109059802A

    公开(公告)日:2018-12-21

    申请号:CN201810877609.5

    申请日:2018-08-03

    IPC分类号: G01B11/24

    CPC分类号: G01B11/2441

    摘要: 本发明公开一种基于Tip\Tilt镜的动态角度调制干涉系统的误差标定方法,步骤如下:第一步,搭建基于Tip\Tilt镜的动态角度调制干涉系统,第二步,调整tip/tilt镜的空间位置及姿态,设定初始位置,第三步,绘制泽尼克前36项各项系数与偏摆角度的关系曲线;第四步,得到泽尼克前36项各项系数在tip/tilt镜不同偏摆方向及不同偏摆角度下的系数值;第五步,利用第四步所获得的结果,得到该系统中tip/tilt镜在任意偏摆状态下,系统的输出波前信息,从而实现对系统误差的标定。该方法具有动态、高效、通用性强等优点。

    基于动态波前调制结合计算全息片的干涉面形检测方法

    公开(公告)号:CN108592820A

    公开(公告)日:2018-09-28

    申请号:CN201810487033.1

    申请日:2018-05-21

    IPC分类号: G01B11/24

    摘要: 本发明公开了一种基于动态波前调制结合计算全息片的干涉面形检测方法,用于解决大梯度变化的光学自由曲面元件面形高精度检测的问题。本发明将待测光学自由曲面元件的面形分为两部分:非球面面形和剩余自由曲面面形。其中非球面面形通过在测试光路中放置的CGH生成一个旋转对称非球面波前,补偿该待测自由曲面元件的非球面变化部分。而剩余自由曲面面形通过在参考光路中放置的纯相位型反射式空间光调制器动态调制补偿。本发明的优点在于通过动态波前调制结合静态CGH补偿的方式,有效解决了大梯度变化波前生成难得问题,且提高了系统通用性;提高了波前调制精度,且属于零位干涉,测量精度高;可建立在原有的CGH测量系统光路中,装置简单易实现。