MRAM设备及制造用在MRAM结构中的磁轭结构的方法

    公开(公告)号:CN100345214C

    公开(公告)日:2007-10-24

    申请号:CN03103460.8

    申请日:2003-01-30

    Inventor: 潘威 许胜籘

    CPC classification number: H01L27/222 B82Y10/00 G11C11/15

    Abstract: 本发明提供一种低功率的MRAM设备和用在MRAM中的磁轭结构。所述MRAM设备包括:基底;多个包括位线和字线的导线;和包括一对磁轭结构的MTJ堆栈,其中,所说的每一个磁轭结构都环绕导线。所述用在MRAM中的磁轭结构的制备方法包括:制备基底;在基底上形成第一个导线;制造MTJ堆栈,包括制造环绕第一个导线的第一个磁轭结构;在MTJ堆栈上形成第二个导线;制造环绕第二个导线的第二个磁轭结构;在该结构上沉积氧化物层;和金属化该结构。

Patent Agency Ranking