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公开(公告)号：CN101410558A
公开(公告)日：2009-04-15
申请号：CN200780011246.7
申请日：2007-04-05
Applicant: 丰田合成株式会社 , 日本碍子株式会社 , 国立大学法人大阪大学
CPC classification number: C30B9/00 , C30B29/403
Abstract: 本发明的目的是在熔剂方法中防止构成外部容器的气氛的物质扩散到反应器中。提供一种用于制造第III族氮化物基化合物半导体的设备，该设备包括：保持熔融状态的第III族金属和与该第III族金属不同的金属的反应器；用于加热反应器的加热装置；和用于容纳反应器和加热装置的外部容器，其特征在于，防止构成外部容器的气氛的物质扩散到反应器中。
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公开(公告)号：CN101405438A
公开(公告)日：2009-04-08
申请号：CN200780009623.3
申请日：2007-03-14
Applicant: 日本碍子株式会社 , 国立大学法人大阪大学 , 丰田合成株式会社
CPC classification number: C30B9/10 , C30B19/02 , C30B19/06 , C30B29/403 , Y10T117/10 , Y10T117/1024
Abstract: 一种使用含易氧化性物质的助熔剂7生长氮化物单晶的装置，其具有用于收容助熔剂7的坩埚1、用于收容坩埚1并填充至少含氮气的气氛气体的压力容器20、配置在压力容器20内且在坩埚1外的炉体材料15A、15B、安装在炉体材料上的加热器17、18，以及覆盖炉体材料的耐碱性且耐热性的金属层16A、16B。
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公开(公告)号：CN100378567C
公开(公告)日：2008-04-02
申请号：CN200480006413.5
申请日：2004-03-08
Applicant: 日本碍子株式会社
IPC: G02F1/355
Abstract: 本发明的课题是在使用了非线形光学晶体的波长变换元件中，防止由波长变换元件产生的变换光输出功率的不稳定。本发明提供一种将基本光(A)变换为其他波长的光(B)的波长变换元件(1A、1B)。元件(1A、1B)具备：由非线形光学晶体的板状体构成的、具备一方的主面(2a)及另一方的主面(2b)的波长变换层(2)；以及接合在波长变换层(2)的一方的主面(2a)上的支撑体(3、3A)。可以将另一个支撑体(3b)接合在波长变换层(2)的另一方的主面(2B)上。
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公开(公告)号：CN101006207A
公开(公告)日：2007-07-25
申请号：CN200580027729.7
申请日：2005-09-05
Applicant: 日本碍子株式会社
CPC classification number: C30B19/02 , C30B9/10 , C30B29/403
Abstract: 通过在含氮的气氛中对至少含有镓、铝和钠的熔液进行加压，培养AlN单晶。优选的是，在氮分压为50个大气压以下培养AlN单晶，此外，在850℃～1200℃的温度下培养AlN单晶。
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公开(公告)号：CN107002283B
公开(公告)日：2020-01-10
申请号：CN201580063728.1
申请日：2015-11-30
Applicant: 日本碍子株式会社
Abstract: 结晶基板2由13族元素氮化物结晶构成，且具有第一主面2a及第二主面2b。低载流子浓度区域4和高载流子浓度区域5在第一主面2a与第二主面2b之间延伸。低载流子浓度区域4的载流子浓度为1018/cm3以下，低载流子浓度区域4的缺陷密度为107/cm2以下。高载流子浓度区域5的载流子浓度为1019/cm3以上，高载流子浓度区域6的缺陷密度为108/cm2以上。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108291329A
公开(公告)日：2018-07-17
申请号：CN201680068330.1
申请日：2016-08-29
Applicant: 日本碍子株式会社
IPC: C30B29/38 , H01L21/20 , H01L21/205 , H01L21/208 , H01L33/32
CPC classification number: C30B29/38 , C30B19/02 , C30B19/12 , C30B25/183 , C30B29/406 , H01L21/0242 , H01L21/02458 , H01L21/02494 , H01L21/02505 , H01L21/0254 , H01L21/02573 , H01L21/0262 , H01L21/205 , H01L21/208 , H01L33/0075 , H01L33/32
Abstract: 结晶基板1包括：由13族元素氮化物结晶形成、具有第一主面2a和第二主面2b的基底层2、以及、设置在基底层的第一主面上的由13族元素氮化物形成的厚膜3。基底层2包含：在第一主面2a与第二主面2b之间贯穿的低载流子浓度区域5和高载流子浓度区域4，低载流子浓度区域5的载流子浓度为1017/cm3以下，低载流子浓度区域5的缺陷密度为107/cm2以下，高载流子浓度区域4的载流子浓度为1019/cm3以上，高载流子浓度区域4的缺陷密度为108/cm2以上。厚膜3的载流子浓度为1018/cm3～1019/cm3，厚膜3的缺陷密度为107/cm2以下。
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公开(公告)号：CN107002286A
公开(公告)日：2017-08-01
申请号：CN201580065227.7
申请日：2015-11-19
Applicant: 日本碍子株式会社
Abstract: 在结晶层3的与主面3a、3b垂直的截面处，存在载流子浓度为1×1018/cm3以上的高载流子浓度区域9和载流子浓度为9×1017/cm3以下的低载流子浓度区域10，低载流子浓度区域9为细长的形状，低载流子浓度区域9具有缔合部11，低载流子浓度区域9在一对主面3a、3b之间连续。
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公开(公告)号：CN107002284A
公开(公告)日：2017-08-01
申请号：CN201580064055.1
申请日：2015-11-25
Applicant: 日本碍子株式会社
CPC classification number: H01L33/0079 , C23C16/01 , C23C16/303 , C23C16/4418 , C30B9/00 , C30B9/10 , C30B19/02 , C30B25/18 , C30B29/403 , C30B29/406 , C30B33/00 , C30B33/02 , C30B33/04 , C30B33/06 , H01L21/0254 , H01L21/02639 , H01L33/007
Abstract: 准备出包括蓝宝石基板和设置在该蓝宝石基板上的13族元素氮化物层的复合基板。13族元素氮化物层由氮化镓、氮化铝或氮化镓铝形成。复合基板满足关系式(1)、(2)及(3)。通过自蓝宝石基板侧对复合基板照射激光来分解蓝宝石基板与13族元素氮化物层的界面的晶格键。5.0≤(13族元素氮化物层的平均厚度(μm))/所述蓝宝石基板的直径(mm)≤10.0····(1)；0.1≤所述复合基板的翘曲量(mm)×(50/所述复合基板的直径(mm))2≤0.6····(2)；1.10≤所述13族元素氮化物层的厚度的最大值(μm)/所述13族元素氮化物层的厚度的最小值(μm)····(3)。
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公开(公告)号：CN106068340A
公开(公告)日：2016-11-02
申请号：CN201580003750.7
申请日：2015-03-09
Applicant: 日本碍子株式会社
CPC classification number: C30B9/12 , C30B9/00 , C30B9/06 , C30B29/38 , C30B29/406
Abstract: 使用用于收容助熔剂和原料的坩埚6、收容坩埚6的反应容器5A～5D、收容反应容器的中间容器3、及收容中间容器且用于填充含有至少含氮原子的气体的气氛的压力容器1。在加热下使助熔剂和原料熔融而生长氮化物结晶时，使有机化合物的蒸气9扩散到反应容器外和中间容器内的空间3a。
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公开(公告)号：CN104246027B
公开(公告)日：2015-11-25
申请号：CN201380020111.2
申请日：2013-08-02
Applicant: 日本碍子株式会社
CPC classification number: H01L33/24 , C30B19/02 , C30B19/12 , C30B29/406 , H01L2933/0083
Abstract: 在由氮化镓单晶构成的晶种(1)的培养面(1a)上规则地排列有锥状或截顶锥状的突起(2)。在晶种的培养面(1a)上通过助熔剂法直接形成有厚度为100μm以下的氮化镓晶体层(4)。
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