公开(公告)号：CN107796326B

公开(公告)日：2021-03-12

申请号：CN201710717616.4

申请日：2017-08-21

Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学

Inventor： 小野田有吾 ,  佐藤荣广 ,  长谷川晶一 ,  柳川香织 ,  石桥清隆 ,  加藤辉雄 ,  中谷林太郎

IPC: G01B11/24 ,  G01B9/02

Abstract: 本发明提供三维形状计测方法，其使用了扫描型白色干涉显微镜。在进行使用了扫描型白色干涉显微镜的三维形状计测时，对倾斜角度较大的计测对象物(试样)的表面也能够进行适当的计测。该三维形状计测方法如下：获取来自对计测对象物进行照射的光源的光的干涉信号的包络线，根据包络线的半值宽度获取作为所观测的表观上的相干长度的观测相干长度lc’，根据观测相干长度lc’对计测对象物的表面的倾斜角度进行计测。

公开(公告)号：CN107796326A

公开(公告)日：2018-03-13

申请号：CN201710717616.4

申请日：2017-08-21

Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学

Inventor： 小野田有吾 ,  佐藤荣广 ,  长谷川晶一 ,  柳川香织 ,  石桥清隆 ,  加藤辉雄 ,  中谷林太郎

IPC: G01B11/24 ,  G01B9/02

Abstract: 本发明提供三维形状计测方法，其使用了扫描型白色干涉显微镜。在进行使用了扫描型白色干涉显微镜的三维形状计测时，对倾斜角度较大的计测对象物(试样)的表面也能够进行适当的计测。该三维形状计测方法如下：获取来自对计测对象物进行照射的光源的光的干涉信号的包络线，根据包络线的半值宽度获取作为所观测的表观上的相干长度的观测相干长度lc’，根据观测相干长度lc’对计测对象物的表面的倾斜角度进行计测。

公开(公告)号：CN104335082B

公开(公告)日：2017-05-03

申请号：CN201380029764.7

申请日：2013-06-03

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 青野宇纪 ,  江畠佳定 ,  松井繁 ,  渡边哲也 ,  小野田有吾

IPC: G02B5/18 ,  B29C59/02 ,  B29L11/00

CPC classification number: G02B5/1847 ,  B29C59/02 ,  B32B37/12 ,  B32B37/24 ,  B32B38/0012 ,  B32B2551/00 ,  G02B5/18 ,  G02B5/1814 ,  G02B5/1852 ,  Y10T156/1028

Abstract: 本发明提供高精度地制成具有所希望的曲率的曲面衍射光栅。一种曲面衍射光栅的制造方法，具有：在平板状的硅基板(2)上形成衍射光栅图案(20)的步骤；在加热的状态下向形成有上述衍射光栅图案的硅基板(2)按压具有所希望的曲面形状的固定基板(3)而使上述硅基板曲面化，并且在具有上述曲面形状的固定基板(3)上固定具有上述衍射图案的硅基板(2)来制作曲面衍射光栅的模具(1)的步骤；以及使具有柔软性的部件与上述曲面衍射光栅的模具接触来在该部件上转印衍射光栅图案的步骤。