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    光信息记录用铝合金反射膜及其形成用靶材、记录介质
    11.
    发明授权
    光信息记录用铝合金反射膜及其形成用靶材、记录介质 失效

    公开(公告)号：CN100339900C

    公开(公告)日：2007-09-26

    申请号：CN200410090068.X

    申请日：2004-11-01

    申请人： 株式会社神户制钢所

    发明人： 中井淳一 ,  田内裕基 ,  高木胜寿

    IPC分类号： G11B7/24 ,  G11B11/10 ,  C23C14/14

    CPC分类号： G11B7/258 ,  C23C14/14 ,  C23C14/3414 ,  G11B7/2585

    摘要： 本发明提供(1)光信息记录用铝合金反射膜，以Al为主成分，含有1.0～10.0原子数量%的稀土类元素中的至少1种，此外，含有0.5～5.0原子数量%的Cr、Ta、Ti、Mo、V、W、Zr、Hf、Nb、Ni中的至少1种，(2)在上述铝合金反射膜中，含有1.0～5.0原子数量%的Fe、Co中的至少1种，或含有1.0～10.0原子数量%的In、Zn、Ge、Cu、Li中的至少1种，(3)光信息记录介质，具有上述铝合金反射膜，(4)所述铝合金构成的溅射靶材。根据本发明可以实现具有低导热率、低熔化温度、高耐腐蚀性的与激光标记对应的光信息记录用铝合金反射膜及其形成用溅射靶材、光信息记录介质。

    电介质层、光记录媒体、溅镀靶材及氧化物
    16.
    发明授权
    电介质层、光记录媒体、溅镀靶材及氧化物 有权

    公开(公告)号：CN110337693B

    公开(公告)日：2021-04-30

    申请号：CN201880012085.1

    申请日：2018-01-15

    申请人： 株式会社神户制钢所

    发明人： 田内裕基

    IPC分类号： G11B7/2578 ,  G11B7/243 ,  G11B7/26 ,  C23C14/08 ,  C23C14/34

    摘要： 本发明的目的在于提供在直接层叠的氧化物系记录层中可进行良好的信息记录且无需预防健康问题的措施、耐久性高的电介质层、光记录媒体、溅镀靶材及氧化物。本发明的电介质层由含有Sn元素、以及Zn元素、Zr元素、Si元素及Ga元素中的至少一种元素的氧化物形成，在相对于氧化物的氧以外的所有元素而将Sn元素的含有率设为a摩尔％、Zn元素的含有率设为b摩尔％、Zr元素的含有率设为c摩尔％、Si元素的含有率设为d摩尔％、及Ga元素的含有率设为e摩尔％的情况下，满足下述式(1)～式(7)。0≦b/(a+b)≦0.6···(1)0≦(c+d)/(a+b+c+d+e)≦0.5···(2)0≦b≦50···(3)0≦c≦40···(4)0≦d≦45···(5)0≦e≦40···(6)20≦b+c+d+e≦80···(7)。

    反射阳极电极、薄膜晶体管、有机EL显示器及溅镀靶材
    18.
    发明公开
    反射阳极电极、薄膜晶体管、有机EL显示器及溅镀靶材 审中-实审

    公开(公告)号：CN112018260A

    公开(公告)日：2020-12-01

    申请号：CN202010453857.4

    申请日：2020-05-26

    申请人： 株式会社神户制钢所

    发明人： 田内裕基

    IPC分类号： H01L51/52 ,  H01L51/56 ,  H01L27/12 ,  H01L27/32 ,  C23C14/20 ,  C23C14/34

    摘要： 本发明涉及一种即便使作为反射膜的Al合金膜与氧化物导电膜直接接触，也可确保低接触电阻与高反射率，且耐热性也优异的反射阳极电极，其用于有机EL显示器，且所述反射阳极电极具有层叠结构，所述层叠结构包含Al合金膜及氧化物导电膜，在所述Al合金膜及所述氧化物导电膜的接触界面介隔存在以氧化铝为主成分的层，所述Al合金膜包含Si及稀土类元素，当将所述Si的含量设为a(原子％)，将所述稀土类元素的合计含量设为b(原子％)时，满足0.62＜{a/(a+b)}、0.2＜a＜3及0.1＜b的关系，且所述以氧化铝为主成分的层包含Si。另外，还涉及一种薄膜晶体管基板、有机EL显示器、以及溅镀靶材。

    有机EL显示器用的反射阳极电极及其应用
    19.
    发明公开
    有机EL显示器用的反射阳极电极及其应用 有权

    公开(公告)号：CN110120459A

    公开(公告)日：2019-08-13

    申请号：CN201910085196.1

    申请日：2019-01-29

    申请人： 株式会社神户制钢所

    发明人： 田内裕基 ,  寺前裕美

    IPC分类号： H01L51/52 ,  H01L27/32 ,  C22C21/00 ,  C22C21/12 ,  C23C14/34

    摘要： 提供一种有机EL显示器用的反射阳极电极及其应用。为包含包括Al-Ge系合金膜、以及与Al-Ge系合金膜接触的氧化物导电膜的层叠结构、且在这些的接触界面中介隔存在以氧化铝为主成分的层的有机EL显示器用的反射阳极电极，并且Al-Ge系合金膜含有0.1原子％～2.5原子％的Ge，且在Al-Ge系合金膜与氧化物导电膜的接触界面中形成有Ge浓化层及含有Ge的析出物，Al-Ge系合金膜中的、自氧化物导电膜侧的表面起50nm以内的平均Ge浓度为Al-Ge系合金膜中的平均Ge浓度的2倍以上，且含有Ge的析出物的平均直径为0.1μm以上。