公开(公告)号：CN101963505B

公开(公告)日：2014-10-15

申请号：CN201010236921.X

申请日：2010-07-21

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： M·弗雷德 ,  J·克拉森 ,  T·欧姆斯 ,  C·格克勒 ,  B·库尔曼 ,  J·弗赖 ,  D·C·迈泽尔 ,  J·豪尔 ,  T·巴尔斯林科

IPC: G01C19/5712

CPC classification number: G01C19/5712 ,  G01C19/5747

Abstract: 本发明提供一种微机械式旋转速率传感器(100，200，300，400，500)，具有：第一旋转速率传感器元件(20)，它输出第一传感器信号(S1)，该第一传感器信号含有关于绕第一旋转轴的旋转的信息；第二旋转速率传感器元件(30)，它输出第二传感器信号(S2)，该第二传感器信号含有关于绕第二旋转轴的旋转的信息，该第二旋转轴垂直于该第一旋转轴；驱动装置(10)，它驱动所述第一旋转速率传感器元件(20)；和耦合部件(40)，它使所述第一旋转速率传感器元件(20)和所述第二旋转速率传感器元件(30)机械地相互耦合，使得对所述第一旋转速率传感器元件(20)的驱动也引起对所述第二旋转速率传感器元件(30)的驱动。

公开(公告)号：CN103424107A

公开(公告)日：2013-12-04

申请号：CN201310177524.3

申请日：2013-05-14

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： J·克拉森 ,  M·哈塔斯 ,  D·C·迈泽尔

IPC: G01C19/56 ,  G01C25/00 ,  B81C1/00

CPC classification number: B81C1/00134 ,  B81B3/0018 ,  B81B2201/025 ,  B81C1/00246 ,  B81C1/00333 ,  G01P15/0802

Abstract: 建议了用于提高微机械惯性传感器的测量灵敏度的措施，所述惯性传感器包括至少一个具有已处理的正面的ASIC构件（10）、一个具有微机械的传感器结构的MEMS构件（20）以及一个罩形晶片（31）。所述MEMS构件（20）的传感器结构包括至少一个振动质量（25）并且延伸在所述MEMS构件（20）的整个厚度上。所述MEMS构件（20）通过支座结构（15）装配在所述ASIC构件（10）的已处理的正面上，并且通过在所述MEMS衬底（20）中以及在所述支座结构的相邻支架（15）中的穿通接触件（22）与所述ASIC构件（10）电连接。所述罩形晶片（31）装配在所述MEMS构件（20）的微机械传感器结构上方。根据本发明，至少在所述振动质量（25）的区域中构造至少一个在所述MEMS衬底（20）中的盲孔（23），所述盲孔用与所述穿通接触件（22）相同的导电材料填充。这种导电的材料具有比所述MEMS衬底材料更高的密度。

公开(公告)号：CN102951601A

公开(公告)日：2013-03-06

申请号：CN201210291267.1

申请日：2012-08-15

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： J·克拉森 ,  J·莱茵穆特 ,  S·京特 ,  P·布斯蒂安-托多罗娃

IPC: B81C1/00 ,  B81B7/00 ,  G01P15/00 ,  G01C19/56

CPC classification number: G01C19/5783 ,  B81B2201/025 ,  B81C1/00182 ,  G01P15/0802 ,  G01P2015/0882

Abstract: 本发明提供一种用于制造微机械结构的方法和一种微机械结构。该微机械结构包括：由第一材料制成的第一微机械功能层（3），它具有被掩埋的、具有第一端部（E1）和第二端部（E2）的通道（6'）；在第二微机械功能层（11）中的具有封罩（12，13）的微机械传感器结构（S1，S2），该第二微机械功能层设置在第一微机械功能层（3）之上；在第二微机械功能层（11）中的边缘区域（R），该边缘区域（R）包围传感器结构（S1，S2）并且定义包含传感器结构（S1，S2）的内侧（RI）和背离传感器结构（S1，S2）的外侧（RA）；其中，第一端部（E1）位于所述外侧（RA）并且第二端部（E2）位于所述内侧（RI）。

公开(公告)号：CN101568840B

公开(公告)日：2013-01-02

申请号：CN200780048385.7

申请日：2007-11-14

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： J·克拉森 ,  A·弗兰克 ,  D·舒伯特 ,  K·克尔 ,  R·赖兴巴赫

IPC: G01P15/18 ,  G01P15/125

CPC classification number: G01P15/18 ,  G01P15/125 ,  G01P2015/084

Abstract: 本发明涉及一种微机械加速度传感器，其包括基底(1)、平行于基底平面延伸的弹性薄膜(5)和振动质量(6)，弹性薄膜(5)部分地与基底连接并具有能够垂直于基底平面偏移的平面区域，振动质量(6)的重心位于弹性薄膜(5)平面之外，其中，振动质量(6)隔开距离地在基底区域上方延伸，这些基底区域位于弹性薄膜(5)区域之外并且具有由多个电极(3a，3b，3c，3d)组成的装置，这些电极分别与振动质量(6)的对置区域在电路技术上构成电容器，并且振动质量(6)在其中心区域在弹性薄膜(5)的能够垂直于基底平面偏移的平面区域中固定在弹性薄膜(5)上。

公开(公告)号：CN102183247A

公开(公告)日：2011-09-14

申请号：CN201110008084.X

申请日：2011-01-12

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： J·克拉森 ,  B·库尔曼 ,  D·C·迈泽尔

IPC: G01C19/56 ,  B81B3/00

CPC classification number: G01C19/5747

Abstract: 本发明提出一种旋转速率传感器，包括一个具有主延伸平面的衬底以及平行于主延伸平面设置的第一和第二分结构，其中第一分结构具有第一驱动结构并且第二分结构具有第二驱动结构，第一和第二分结构通过驱动器件经由第一和第二驱动结构可被激励平行于与主延伸平面平行的第一轴振荡，其中第一分结构具有第一科里奥利元件，第二分结构具有第二科里奥利元件，其特征在于，第一和第二科里奥利元件通过科里奥利力可平行于与第一轴垂直的第二轴且平行于与第一和第二轴垂直的第三轴偏移，其中第二轴平行于主延伸平面延伸，第一科里奥利元件与第二科里奥利元件通过耦合元件连接。

公开(公告)号：CN102095893A

公开(公告)日：2011-06-15

申请号：CN201010554560.3

申请日：2010-11-17

Applicant: 罗伯特.博世有限公司

Inventor： J·克拉森 ,  A·克尔贝勒 ,  H-J·法伊斯特 ,  A·弗兰克 ,  M·哈塔斯 ,  H·兰克 ,  R·萨特勒 ,  A·布曼 ,  R·马斯 ,  M·凯克

IPC: G01P21/00 ,  G01P15/125 ,  G01R33/02

CPC classification number: G01R33/0286 ,  B81C99/003 ,  G01P15/125 ,  G01P15/18 ,  G01P21/00

Abstract: 本发明涉及确定传感器灵敏度的方法，这传感器包括有基底，地震质量，第一电极装置用于使质量相对于基底沿着测量轴线偏离，和第二电极装置用于使质量相对于基底偏离。方法包括了方法步骤a)，在这步骤中将第一偏离电压加在第一电极装置上，第二偏离电压加在第一电极装置上，在质量上，通过第一电极装置作用第一静电力，通过第二电极装置作用第二静电力，并通过质量的弹簧装置施加复位力，其中在第一静电力，第二静电力和复位力之间实现了力的平衡，而且质量占有一个表示了力平衡特征的偏离位置，测量表示了力平衡和偏离位置特征的输出信号，方法步骤b)，基于第一和第二偏离电压来计算传感器的灵敏度。本发明还涉及用于该方法的传感器。

公开(公告)号：CN101568840A

公开(公告)日：2009-10-28

申请号：CN200780048385.7

申请日：2007-11-14

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： J·克拉森 ,  A·弗兰克 ,  D·舒伯特 ,  K·克尔 ,  R·赖兴巴赫

IPC: G01P15/125 ,  G01P15/18

CPC classification number: G01P15/18 ,  G01P15/125 ,  G01P2015/084

Abstract: 本发明涉及一种微机械加速度传感器，其包括基底(1)、平行于基底平面延伸的弹性薄膜(5)和振动质量(6)，弹性薄膜(5)部分地与基底连接并具有能够垂直于基底平面偏移的平面区域，振动质量(6)的重心位于弹性薄膜(5)平面之外，其中，振动质量(6)隔开距离地在基底区域上方延伸，这些基底区域位于弹性薄膜(5)区域之外并且具有由多个电极(3a，3b，3c，3d)组成的装置，这些电极分别与振动质量(6)的对置区域在电路技术上构成电容器，并且振动质量(6)在其中心区域在弹性薄膜(5)的能够垂直于基底平面偏移的平面区域中固定在弹性薄膜(5)上。

公开(公告)号：CN101563616A

公开(公告)日：2009-10-21

申请号：CN200780047165.2

申请日：2007-10-19

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： J·克拉森 ,  M·海茨 ,  F·本尼尼

IPC: G01P15/125 ,  G01P15/08

CPC classification number: G01P15/125 ,  G01P2015/0814

Abstract: 本发明涉及一种微机械电容式加速度传感器，其具有至少一个可偏移地与基底(5)连接的地震振动质量块(1)、至少一个固定地与基底(5)连接的电极(11)和至少一个与地震振动质量块(1)连接的电极(6)，其中，所述至少一个固定地与基底(5)连接的电极(11)和所述至少一个与地震振动质量块(1)连接的电极(6)被构造成具有平行于地震振动质量块(1)的偏移方向延伸的薄片(8，13)的梳形电极(6，11)，其中两个梳形电极(6，11)的薄片(8，13)在静止状态下部分重叠。

公开(公告)号：CN101443665A

公开(公告)日：2009-05-27

申请号：CN200780017616.8

申请日：2007-04-03

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： D·舒伯特 ,  J·克拉森 ,  L·泰布杰 ,  J·泽尔霍斯特

IPC: G01P15/08 ,  G01P15/125

CPC classification number: G01P15/125 ,  G01P15/0802 ,  G01P2015/0831

Abstract: 本发明涉及一种加速度传感器，具有一振动质量(1)及一基底(13)，该振动质量具有一个第一翼及第二翼(2，3)，这些翼可绕至少一个扭转桥接件(4)转动，其中，这些翼(2，3)的构造使得基于这些翼的质量分布在所述至少一个扭转桥接件(4)上施加不同的转矩。所述振动质量(1)及基底(13)的构造使得对于一扭转及对于在相反方向上的一量值上相等的扭转在所述至少一个扭转桥接件(4)上引起量值上相等的阻尼转矩。

公开(公告)号：CN114616208B

公开(公告)日：2024-11-22

申请号：CN202080075795.6

申请日：2020-09-25

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： J·克拉森 ,  M·赛特勒

IPC: B81B3/00 ,  G01P15/08 ,  G01P15/125

Abstract: 本发明提出一种微机械结构元件，特别是惯性传感器，包括：振动质量(30)、衬底(20)和罩(40)，其中该结构元件与衬底(20)连接地具有在第一电极层(22)中的参考电极(70)且与罩(40)连接地具有在第二电极层(44)中的另一参考电极(80)，其中振动质量(30)沿垂直于参考电极(70)的主延伸平面的方向(60)在两侧是可偏移的，且其中振动质量(30)沿朝第一电极层(22)的偏移方向具有柔性的止挡(31)，其中振动质量(30)的柔性的止挡(31)借助于弹簧元件(32)与振动质量(30)的主体连接，其中弹簧元件(32)实现在弹性层(33)中，该弹性层设置在一方面振动质量(30)的主体的一层(35)与另一方面第一电极层(22)之间，其中振动质量(30)沿朝第二电极层(44)的偏移方向具有另一柔性的止挡(39)，其中振动质量(30)的另一柔性的止挡(39)借助于设置在振动质量(30)的主体的层(35)中的止挡元件(38)与弹簧元件(32)连接。