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公开(公告)号：CN113994462A
公开(公告)日：2022-01-28
申请号：CN202080036383.1
申请日：2020-08-24
Applicant: TOTO株式会社
IPC: H01L21/683 , H01J37/32
Abstract: 本发明提供一种静电吸盘，具备：导电性的基座板，具有第1部分和设置在所述第1部分的外周的第2部分，设置有导入冷却气体的气体导入路；第1静电吸盘部，设置在所述第1部分上，构成为可吸附晶片，具备具有连通于所述气体导入路的至少一个穿通孔的陶瓷电介体基板和内置于所述陶瓷电介体基板的第1吸附电极；及第2静电吸盘部，设置在所述第2部分上，构成为可吸附聚焦环，具备具有可导入冷却气体的至少一个穿通孔的陶瓷层，所述陶瓷层至少具有当所述聚焦环吸附于所述第2静电吸盘部时接触所述聚焦环的第1层，所述第1层的致密度构成为小于所述陶瓷电介体基板的致密度。由此，提供一种可提高设备的成品率的静电吸盘。
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公开(公告)号：CN110783162A
公开(公告)日：2020-02-11
申请号：CN201910675335.6
申请日：2019-07-25
Applicant: TOTO株式会社
IPC: H01J37/32 , H01L21/683
Abstract: 本发明提供一种静电吸盘，其能够在提高等离子体密度的面内均匀性的同时也提高RF敏感性。具备：第1电极层，设置在陶瓷电介体基板的内部，连接于高频电源；及第2电极层，设置在陶瓷电介体基板的内部，连接于吸附用电源，第1电极层在Z轴方向上设置于第1主面与第2主面之间，第2电极层在Z轴方向上设置于第1电极层与第1主面之间，第1电极层具有第1主面侧的第1面及第1面相反侧的第2面，且从第2面侧被供电，其特征为，第1面与第1主面之间的沿向Z轴方向的距离呈一定，在第1电极层的端部处的第2面与第1面之间的沿向Z轴方向的距离，小于在第1电极层的中央部处的第2面与第1面之间的沿向Z轴方向的距离。
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公开(公告)号：CN110277342A
公开(公告)日：2019-09-24
申请号：CN201910149338.6
申请日：2019-02-28
Applicant: TOTO株式会社
IPC: H01L21/683
Abstract: 本发明的目的在于提供一种静电吸盘，在设置有多孔质部的静电吸盘中，能够确保对电弧放电的抗性及流动的气体流量，同时能够提高多孔质部的机械强度(刚性)。提供一种静电吸盘，其特征为，第1多孔质部具有：疏松部分，具有多个孔；及紧密部分，具有比疏松部分的密度更高的密度，多个疏松部分分别在从基座板朝向陶瓷电介体基板的第1方向上延伸，紧密部分位于多个疏松部分的彼此之间，疏松部分具有设置在孔与孔之间的壁部，在与第1方向大致正交的第2方向上，壁部的尺寸的最小值比紧密部分的尺寸的最小值更小。
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公开(公告)号：CN103715443B
公开(公告)日：2017-03-01
申请号：CN201310447558.X
申请日：2013-09-25
Applicant: TOTO株式会社
IPC: H01M8/0612 , H01M8/0662 , H01M8/243 , H01M8/2475 , H01M8/04014 , H01M8/04082
CPC classification number: H01M8/243 , C01B3/384 , C01B2203/0233 , C01B2203/066 , C01B2203/0811 , H01M8/04022 , H01M8/04201 , H01M8/0625 , H01M8/0662 , H01M8/2457 , H01M8/2465 , H01M8/2475 , H01M2008/1293
Abstract: 本发明提供一种固体氧化物型燃料电池装置，可以将混合后的燃料气体和水蒸气均衡且均一地供给至重整部（重整器）整体。本发明的固体氧化物型燃料电池装置（1）具有：重整部（94），配置在比蒸发部（86）更靠上方的燃料气体供给流路（20）内，包围燃料电池电堆（14）的上部，通过在蒸发部中生成的水蒸气（S）对从燃料气体导入部（90a）导入的原燃料气体（F）进行水蒸气重整；及回旋流路部（156），设置在蒸发部和重整部之间的燃料气体供给流路内，使从燃料气体导入部导入燃料气体供给流路内并上升的原燃料气体和在蒸发部中生成并上升的水蒸气沿燃料气体供给流路的周向回旋，形成使混合后的原燃料气体和水蒸气均一地供给至重整部全周的气流。
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公开(公告)号：CN104253279A
公开(公告)日：2014-12-31
申请号：CN201410283164.X
申请日：2014-06-23
Applicant: TOTO株式会社
CPC classification number: H01M8/0273 , H01M8/0267 , H01M8/0271 , H01M8/0276 , H01M8/0282 , H01M8/2404 , H01M8/2425 , H01M8/243 , H01M8/2457 , H01M8/2475 , H01M8/2485 , H01M2008/1293 , Y02P70/56
Abstract: 本发明提供一种固体氧化物型燃料电池装置的制造方法，使用陶瓷粘接剂气密地接合燃料电池模块内的构成部件。本发明是将多个燃料电池单电池粘接固定于安装在燃料电池模块(2)内的第1固定构件(63)上的燃料电池装置(1)的制造方法，其特征在于，具有：使各燃料电池单电池(16)的一个端部插通在第1固定构件的各插通孔(63a)中的工序；相对于燃料电池模块对所插通的各燃料电池单电池的一个端部分别进行定位的工序；相对于燃料电池模块将各燃料电池单电池的另一个端部分别定位于规定位置的工序；在各燃料电池单电池所插通的第1固定构件上注入陶瓷粘接剂的工序；及使所注入的陶瓷粘接剂固化，将各燃料电池单电池固定于第1固定构件的工序。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103715442A
公开(公告)日：2014-04-09
申请号：CN201310417122.6
申请日：2013-09-13
Applicant: TOTO株式会社
CPC classification number: H01M8/1286 , H01M8/004 , H01M8/0206 , H01M8/0236 , H01M8/0245 , H01M8/0258 , H01M8/0267 , H01M8/0271 , H01M8/0297 , H01M8/1226 , H01M8/243 , H01M8/2483 , H01M2008/1293
Abstract: 本发明提供一种燃料电池单电池，可防止形成含有Ca及其它元素的扩散层，并防止因烧成而导致电解质的结晶结构崩溃，且低温下的发电性能优异。一种固体氧化物型燃料电池单电池，是在多孔质支撑体的表面上依次层叠内侧电极、固体电解质及外侧电极而构成的固体氧化物型燃料电池单电池，其特征在于，所述多孔质支撑体含有镁橄榄石而构成，所述多孔质支撑体的Mg/Si比以摩尔比为1.90以上且2.2以下，并且，在使用Cu-Kα射线的粉末X射线衍射图谱中，衍射角2θ=26.5o～27.0o处出现的最大峰高A与36.5o～37.0o处出现的最大峰高B的比A/B为0.0%以上且9.0%以下。
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公开(公告)号：CN103682404A
公开(公告)日：2014-03-26
申请号：CN201310417191.7
申请日：2013-09-13
Applicant: TOTO株式会社
CPC classification number: H01M8/023 , H01M8/004 , H01M8/1226 , H01M8/1246 , H01M8/243 , H01M2008/1293 , Y02E60/525 , Y02P70/56
Abstract: 本发明提供一种燃料电池单电池，可防止形成含有Ca及其它元素的扩散层，并防止因烧成而导致电解质的结晶结构崩溃，且低温下的发电性能优异。一种固体氧化物型燃料电池单电池，是在多孔质支撑体的表面上依次层叠燃料极、固体电解质及空气极而构成的固体氧化物型燃料电池单电池，其特征在于，所述多孔质支撑体含有镁橄榄石而构成，以CaO换算还含有超过0.2质量%且2质量%以下的钙元素（Ca）而构成。
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公开(公告)号：CN103460476A
公开(公告)日：2013-12-18
申请号：CN201280016377.5
申请日：2012-03-30
Applicant: TOTO株式会社
Abstract: 本发明提供一种铈系复合氧化物的制造方法，是防止固体氧化物型燃料电池单电池的燃料极和电解质之间的反应的反应防止层所使用的铈系复合氧化物的制造方法，其特征在于，具备:混合选自La、Pf、Nd中任意的至少1种金属元素的化合物和铈化合物而得到混合物的工序;及对所述混合物进行烧成而得到烧成物的工序，还具有固溶率调节工序，用于在所述烧成物整体中将相对于构成所述烧成物的各个二氧化铈晶粒的所述金属元素的固溶率控制在规定范围内，由此，可防止运行停止时的电解质产生裂纹或单电池发生破损的不良现象，可抑制输出性能下降。
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公开(公告)号：CN119812083A
公开(公告)日：2025-04-11
申请号：CN202410931585.2
申请日：2024-07-12
Applicant: TOTO株式会社
IPC: H01L21/683
Abstract: 本发明提供一种静电吸盘，其能够抑制在接合层的附近处发生绝缘破坏。静电吸盘(10)具备：电介体基板(100)；基座板(200)，由金属材料形成；及接合层(300)，对电介体基板(100)与基座板(200)之间进行接合。基座板(200)中的至少与接合层(300)相对的部分被陶瓷膜(231)所覆盖，该陶瓷膜(231)的表面成为被接合面(S)。被接合面(S)满足，第1条件：算术平均高度(Sa)≤1.5μm，第2条件：均方根高度(Sq)≤2.0μm中的至少一个，且满足，第3条件：最大谷深(Sv)≥20.0μm，第4条件：最大高度(Sz)≥20.0μm中的至少一个。
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公开(公告)号：CN118712115A
公开(公告)日：2024-09-27
申请号：CN202410172197.0
申请日：2024-02-07
Applicant: TOTO株式会社
IPC: H01L21/683 , H01J37/32
Abstract: 静电吸盘具备：电介体基板，形成有穿通孔；RF电极，被埋入到电介体基板内部；及吸附电极，在比RF电极更靠载放面侧的位置上，被埋入到电介体基板内部。在从垂直于载放面的方向进行观察时，在吸附电极上形成有与上述穿通孔同心且包含上述穿通孔的圆形的第1开口，且在RF电极上形成有与上述穿通孔同心且包含上述穿通孔的圆形的第2开口。第2开口的半径比第1开口的半径更大。
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