利索-全球专利检索

  1. 登录
  2. 注册

搜索结果

60 条记录 (耗时 0.016 秒)

    微机械整体式六轴惯性传感器
    11.
    发明公开
    微机械整体式六轴惯性传感器 有权 转让

    公开(公告)号：CN103221779A

    公开(公告)日：2013-07-24

    申请号：CN201180055823.9

    申请日：2011-09-18

    申请人： 快捷半导体公司

    发明人： C·阿卡

    IPC分类号： G01C19/5755 ,  G01P15/14 ,  G01P15/18

    CPC分类号： B81B3/0018 ,  B81C1/00158 ,  G01C19/5712 ,  G01C19/5755 ,  G01P15/125 ,  G01P15/18 ,  G01P2015/082 ,  G01P2015/084

    摘要： 一种六自由度(6-DOF)惯性测量系统的装置层可包括位于x-y面的单质量块六轴惯性传感器，所述惯性传感器包括主质量块部件、中心悬置系统和驱动电极，其中，所述主质量块部件悬置于单中心支架上，其所述主质量块部件包括向外朝所述六轴惯性传感器的边缘延伸的放射状部分；所述中心悬置系统被配置为在所述单中心支架上悬置所述六轴惯性传感器；所述驱动电极包括移动部分和固定部分，所述移动部分连接到所述放射状部分上，其中，所述驱动电极和所述中心悬置系统被配置为使所述六轴惯性传感器围绕垂直于x-y面的z轴以驱动频率振动。

    一种用于检测加速度和旋转速度的方法及微机电传感器
    12.
    发明公开
    一种用于检测加速度和旋转速度的方法及微机电传感器 有权 转让

    公开(公告)号：CN102378895A

    公开(公告)日：2012-03-14

    申请号：CN201080014830.X

    申请日：2010-02-22

    申请人： 感应动力股份公司

    发明人： 亚历桑德鲁·罗基

    IPC分类号： G01C19/5677 ,  G01P15/18

    CPC分类号： G01C19/574 ,  G01C19/5747 ,  G01C19/5755 ,  G01C19/5762 ,  G01P15/097 ,  G01P15/14 ,  G01P15/18

    摘要： 本发明涉及一种微机电传感器和一种用来检测加速度和旋转速度的方法，至少其中一个，尤其涉及借助微机电传感器（1）检测相互垂直的空间三轴X,Y和Z方向中的两个方向，其中微机电传感器包括移动安装在基板（2）上的至少一个驱动模块（6；6.1，6.2）和至少一个感应模块（5），至少一个驱动模块（6；6.1，6.2）相对于至少一个感应模块（5）以一个驱动频率作振动式运动，当传感器的外部加速度产生时，驱动模块（6；6.1，6.2）和感应模块（5）以一个加速度频率偏离，当传感器的外部旋转速度产生时，该驱动模块（6；6.1，6.2）和感应模块（5）以一个旋转速度频率偏离，该加速度频率和旋转速度频率是不同的。微机电传感器的驱动模块和感应模块通过至少一个固定部（3）固定安装在基板上。在驱动模式中，当驱动模块相对于至少一个固定部振动时，在驱动模块和感应模块之间相对于至少一个固定部产生一种不平衡，感应元件检测驱动模块和感应模块的偏离，要取决于以加速度频率和/或旋转速度产生的扭矩和科里奥利力（Coriolisforce）。

    可变电容电子装置和包括该电子装置的微电子机械装置
    13.
    发明公开
    可变电容电子装置和包括该电子装置的微电子机械装置 有权

    公开(公告)号：CN101792107A

    公开(公告)日：2010-08-04

    申请号：CN200911000071.7

    申请日：2009-12-11

    申请人： 意法半导体股份有限公司

    发明人： L·普兰迪

    IPC分类号： B81B7/02 ,  G01C19/56

    CPC分类号： H01G7/06 ,  G01C19/5726 ,  G01C19/5755 ,  Y10T29/49826

    摘要： 可变电容电子装置和包括该电子装置的微电子机械装置，包括电容组件，其具有可变电容和与电容组件耦合的控制级，并基于具有参考频率的参考信号和参考频率的倍数的激励频率的激励信号控制可变电容；还包括具有多个开关电容器的可变电容网络，每个在第一和第二配置间有选择地切换，开关电容器在第一配置中连接在电容组件的第一和第二信号端子间，在第二配置中，连接到第一和第二信号端子中的至多一个；控制级包括逻辑模块，与可变电容网络耦合并基于参考信号周期地在第一和第二配置间切换每个开关电容器；符号电路，与电容组件耦合并提供控制信号，其在参考信号的每个循环周期的半个周期内，与激励信号具有一致的沿，在另半个周期内，具有不一致的沿。

    具有解耦驱动系统的MEMS传感器
    17.
    发明授权
    具有解耦驱动系统的MEMS传感器 有权

    公开(公告)号：CN105091875B

    公开(公告)日：2019-08-02

    申请号：CN201510258053.8

    申请日：2015-05-20

    申请人： 应美盛公司

    发明人： 奥赞·阿纳奇 ,  约瑟夫·西格

    IPC分类号： G01C19/5733 ,  G01C19/574 ,  G01C19/5712

    CPC分类号： G01C19/574 ,  G01C19/5755

    摘要： 本发明涉及一种具有解耦驱动系统的MEMS传感器。在第一方面，角速率传感器包括基板和锚定到该基板的旋转结构。该角速率传感器还包括锚定到该基板的驱动质量和耦合该驱动质量和该旋转结构的元件。该角速率传感器还包括致动器，该致动器用于驱动该驱动质量进入沿着与该基板共面的第一轴的振动并且用于驱动该旋转结构进入围绕与该基板垂直的第二轴的旋转振动；第一换能器，用于在感测模式中响应于科里奥利力感测该旋转结构的运动；以及第二换能器，用于在驱动模式期间感测该传感器的运动。在第二方面，该角速率传感器包括基板和与该基板平行并且通过柔性元件锚定到该基板的两个剪切质量。

    简化校准的陀螺仪以及陀螺仪的简化校准方法
    18.
    发明授权
    简化校准的陀螺仪以及陀螺仪的简化校准方法 失效

    公开(公告)号：CN105074384B

    公开(公告)日：2018-01-09

    申请号：CN201380067879.5

    申请日：2013-12-23

    申请人： 原子能和替代能源委员会

    发明人： 阿诺·瓦尔特

    IPC分类号： G01C19/5726 ,  G01C19/5762 ,  G01C25/00

    CPC分类号： G01C19/5726 ,  G01C19/5755 ,  G01C19/5762 ,  G01C25/005

    摘要： 一种陀螺仪，该陀螺仪包括在激励下运动的质量块和在检测中运动的质量块、用于在第一方向上向激励质量块施加激励信号的装置、用于对检测质量块在与第一方向垂直的第二方向上的运动进行检测的装置和用于对激励质量块在第二方向上的运动进行检测的装置以及用于处理由对检测质量块的运动进行检测的装置和对激励质量块在第二方向上的运动进行检测的装置所发出的检测信号的处理装置(I、II、II')，从而获得相位偏置(Bi)、正交偏置(Bq)和放大因数(A)。

    微机械结构元件和用于制造微机械结构元件的方法
    19.
    发明公开
    微机械结构元件和用于制造微机械结构元件的方法 有权

    公开(公告)号：CN104422436A

    公开(公告)日：2015-03-18

    申请号：CN201410418243.7

    申请日：2014-08-22

    申请人： 罗伯特·博世有限公司

    发明人： J·弗莱 ,  J·赖因穆特

    IPC分类号： G01C19/5769 ,  G01C19/5733 ,  B81B7/02 ,  B81C1/00 ,  B81B3/00

    CPC分类号： B81B3/0027 ,  B81B3/0086 ,  B81B2203/04 ,  G01C19/574 ,  G01C19/5755 ,  G01P3/14 ,  G01P3/44

    摘要： 本发明涉及微机械结构元件，具有一具有主延伸平面的衬底、沿第一平面扁平延伸的第一电极、沿第二平面扁平延伸的第二电极和沿第三平面扁平延伸的第三电极，第一、第二和第三平面平行于主延伸平面定向且沿与主延伸平面垂直的法线方向间隔地相叠布置，微机械结构元件具有能偏移的质量元件，其不仅能平行也能垂直于主延伸平面偏移，第二电极与质量元件抗相对运动地连接且在静止位置中沿与法线方向平行的投影方向具有与第一电极的第一重叠区域并且沿与投影方向平行的投影方向具有与第三电极的第二重叠区域，质量元件沿第三平面扁平延伸，质量元件具有沿第三平面扁平延伸且平行于法线方向完全穿过质量元件延伸的凹部，第三电极至少部分地布置在凹部中。