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公开(公告)号：CN105321030B
公开(公告)日：2019-02-05
申请号：CN201410423861.0
申请日：2014-08-26
申请人： 力晶科技股份有限公司
CPC分类号： F27D19/00 , G05B19/418 , G05B19/41865 , G05B2219/32096 , G05B2219/45031 , G05B2219/45132 , H01L21/67253 , H01L21/67778 , Y02P90/20
摘要： 本发明公开一种炉管制作工艺的派工控制方法，包括下列步骤。在多批晶片进入炉管之前，算出各批晶片的特性变异值。将多批晶片依照特性变异值的大小进行排序。将多批晶片依照特性变异值由大到小的顺序对应于炉管中造成特性变异值变小到变大的多个位置摆放在炉管中。
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公开(公告)号：CN108780300A
公开(公告)日：2018-11-09
申请号：CN201680082178.2
申请日：2016-12-29
申请人： 克隆尼斯股份有限公司
CPC分类号： G05B15/02 , B29C49/42 , B29C49/78 , G05B2219/31103 , G05B2219/32096
摘要： 操作用于处理容器(10，15)的系统(1)的方法，其中该处理容器的系统(10，15)有以第一预设方式处理容器(10，15)的第一处理装置(4)、以第二预设方式处理容器(10，15)的至少一个第二处理装置(6)和将容器(10)从第一处理装置(4)运输到第二处理装置(6)的运输装置(32，34)。根据本发明，控制装置(20)利用作为在系统的操作场所处的环境条件的特征的至少一个第一物理参数(P1)和/或作为待处理容器的物理特性的特征的至少一个第二物理参数(P2)控制容器(10，15)通过两个处理装置(4，6)中的至少一个的处理，其中，确定这些物理参数(P1，P2)中的至少一个，独立于系统且基于这种参数(P1，P2)确定将被控制装置用于控制至少一个处理装置的操作方案。
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公开(公告)号：CN103760878B
公开(公告)日：2017-03-01
申请号：CN201410048484.7
申请日：2008-05-14
申请人： 费舍-柔斯芒特系统股份有限公司
IPC分类号： G05B19/418
CPC分类号： G05B19/41845 , G05B19/4184 , G05B19/41865 , G05B2219/32077 , G05B2219/32096 , G05B2219/32098 , G05B2219/32161 , Y02P90/10 , Y02P90/14 , Y02P90/16 , Y02P90/20 , Y02P90/86
摘要： 本发明提供在过程系统中用于批处理及执行的方法及系统。一种在过程控制系统中用于实施控制过程及在所述控制过程的执行期间用于解决矛盾的系统及方法包括：加载所述控制过程的逻辑结构、在所述控制过程被实例化时加载多个实例化对象或过程、在执行期间使用所述实例化对象来将所述控制过程的程序元件实例化成所述程序元件的控制过程要求、执行所述程序元件作为所述控制过程的部分、以及在所述控制过程的执行期间在所述程序元件的执行完成时解构所述程序元件。矛盾的解决包括在控制器中执行实体的第一模型、在执行引擎中执行所述实体的第二模型、检测所述模型之间的差异、产生提示及接收操作指令以继续所述过程或中止所述过程。
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公开(公告)号：CN105321030A
公开(公告)日：2016-02-10
申请号：CN201410423861.0
申请日：2014-08-26
申请人： 力晶科技股份有限公司
CPC分类号： F27D19/00 , G05B19/418 , G05B19/41865 , G05B2219/32096 , G05B2219/45031 , G05B2219/45132 , H01L21/67253 , H01L21/67778 , Y02P90/20
摘要： 本发明公开一种炉管制作工艺的派工控制方法，包括下列步骤。在多批晶片进入炉管之前，算出各批晶片的特性变异值。将多批晶片依照特性变异值的大小进行排序。将多批晶片依照特性变异值由大到小的顺序对应于炉管中造成特性变异值变小到变大的多个位置摆放在炉管中。
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公开(公告)号：CN101878522B
公开(公告)日：2014-04-30
申请号：CN200880118692.2
申请日：2008-09-29
申请人： 朗姆研究公司
IPC分类号： H01L21/3065 , H01L21/20
CPC分类号： G05B19/41865 , G05B19/41885 , G05B2219/23399 , G05B2219/32096 , Y02P90/20 , Y02P90/26
摘要： 提供一种用于由等离子体处理系统的用户创建用于采集有关处理后的衬底的测量数据的模型的布置。该布置包括通用模型生成器，其被配置为用于至少创建该模型。该模型是一组输入数据和一组输出数据之间的关系。该布置还包括输入模块，其包括来自多个输入源的该组输入数据。该布置包括输入调节和确认模块，其被配置为用于至少确定该组输入数据的完整性。该布置进一步包括关系模块，其被配置为用于至少创建一组数学关系。该布置又包括输出调节和确认模块，其被配置为用于至少确定该组输出数据的完整性。
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公开(公告)号：CN101446822B
公开(公告)日：2014-03-12
申请号：CN200810094729.4
申请日：2008-05-14
申请人： 费舍-柔斯芒特系统股份有限公司
IPC分类号： G05B19/418
CPC分类号： G05B19/41845 , G05B19/4184 , G05B19/41865 , G05B2219/32077 , G05B2219/32096 , G05B2219/32098 , G05B2219/32161 , Y02P90/10 , Y02P90/14 , Y02P90/16 , Y02P90/20 , Y02P90/86
摘要： 一种在过程控制系统中用于实施控制过程及在所述控制过程的执行期间用于解决矛盾的系统及方法包括：加载所述控制过程的逻辑结构、在所述控制过程被实例化时加载多个实例化对象或过程、在执行期间使用所述实例化对象来将所述控制过程的程序元件实例化成所述程序元件的控制过程要求、执行所述程序元件作为所述控制过程的部分、以及在所述控制过程的执行期间在所述程序元件的执行完成时解构所述程序元件。矛盾的解决包括在控制器中执行实体的第一模型、在执行引擎中执行所述实体的第二模型、检测所述模型之间的差异、产生提示及接收操作指令以继续所述过程或中止所述过程。
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公开(公告)号：CN101436064B
公开(公告)日：2013-03-06
申请号：CN200810176465.7
申请日：2008-11-13
申请人： 费舍-柔斯芒特系统股份有限公司
发明人： 小詹姆斯·亨利·莫尔 , 内森·威廉·培特斯 , 威廉·乔治·厄文 , 图沙尔·南达
IPC分类号： G05B19/418
CPC分类号： G05B19/41865 , G05B2219/32077 , G05B2219/32095 , G05B2219/32096 , G05B2219/32128 , Y02P90/12 , Y02P90/20
摘要： 本发明公开用于在配方执行期间更改配方过程流程的方法及设备。所公开的一种方法涉及执行配方以及在完成所述配方之前接收显示所述配方的过程流程的更改的过程流程改变信息。接着从过程流程规则数据结构检索过程流程规则过程流程规则。所述配方过程流程是根据所述过程流程改变信息更改，以响应确定由所述过程流程改变信息显示的至少一个被请求改变不违反所述过程流程规则的其中之一。
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公开(公告)号：CN107924811A
公开(公告)日：2018-04-17
申请号：CN201580082353.3
申请日：2015-09-30
申请人： 株式会社日立国际电气
IPC分类号： H01L21/02 , G05B19/418
CPC分类号： G05B19/418 , G05B2219/23295 , G05B2219/32096 , G05B2219/45031 , G06F17/30091 , H01L21/02 , Y02P90/02
摘要： 一种至少包含处理基板的基板处理装置以及管理所述基板处理装置的管理装置的结构，基板处理装置当受理了确定成为基准的基板处理装置的装置确定信息以及指定规定的装置文件的文件信息的输入时，向管理装置发送请求电文，该请求电文包含第一识别符、表示成为基准的基板处理装置的第一装置信息以及与规定的装置文件关联的第一数据信息；管理装置将请求电文传送至成为基准的基板处理装置，成为基准的基板处理装置处理接收到的请求电文，向管理装置发送响应电文，该响应电文包含第二识别符和响应第一数据信息的第二数据信息；管理装置将响应电文传送至基板处理装置；基板处理装置处理响应电文，取得并保存第二数据信息。
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公开(公告)号：CN103399547B
公开(公告)日：2016-03-16
申请号：CN201310328582.1
申请日：2008-11-13
申请人： 费舍-柔斯芒特系统股份有限公司
发明人： 小詹姆斯·亨利·莫尔 , 内森·威廉·培特斯 , 威廉·乔治·厄文 , 图沙尔·南达
IPC分类号： G05B19/418
CPC分类号： G05B19/41865 , G05B2219/32077 , G05B2219/32095 , G05B2219/32096 , G05B2219/32128 , Y02P90/20
摘要： 本专利公开用于执行辅助配方及批处理配方的范例方法及设备。所公开的一种范例方法涉及执行第一配方以及在完成所述第一配方之前接收辅助配方。所述范例方法也涉及确定所述第一配方是否已经达到所述辅助配方可以被执行时的输入点。所述辅助配方接着被执行，以响应确定所述第一配方已经达到所述输入点。
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公开(公告)号：CN104699034A
公开(公告)日：2015-06-10
申请号：CN201410725821.1
申请日：2014-12-03
申请人： 西门子公司
发明人： 亚历山德罗·拉维奥拉 , 埃琳娜·雷焦
IPC分类号： G05B19/418
CPC分类号： G06F17/30309 , G05B19/41865 , G05B2219/31372 , G05B2219/32096 , G06Q10/06 , G06Q10/0631 , Y02P90/12 , Y02P90/20 , Y02P90/26 , Y02P90/265 , G05B19/41875
摘要： 在经由MES系统对制造过程的控制中的产品定义更新进行管理的方法和系统中，将设计信息实体下载至MES系统，每个实体针对特定产品定义了制造规格并且包括关于不同制造步骤的数据的集合。在第一次下载实体时，在MES系统中创建第一和第二实体，将它们存储在数据库中。第一实体具有关联的第二实体并且包括至关联的第二实体的链接，每个第二实体包括产品的制造步骤的数据。在每次更新实体时，将差异包和未改变的集合的标识下载至MES系统，差异包包含经历了改变的和新增加的集合的全部数据。创建与经历了改变的集合对应的第二实体的新版本和/或与增加的数据的集合对应的附加第二实体，将它们存储在数据库中。创建第一实体的新版本。
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