-
公开(公告)号：CN110618143B
公开(公告)日：2022-05-31
申请号：CN201911024331.8
申请日：2019-10-25
Applicant: 中国工程物理研究院上海激光等离子体研究所
IPC: G01N21/958
Abstract: 本发明公开了一种波长分离薄膜缺陷激光损伤阈值的测试方法及系统，该方法以不同波长激光辐照波长分离薄膜的不同损伤机理及损伤形貌作为依据，将缺陷损伤点对应的致损波长激光进行判定，并将缺陷损伤的时间以及二维空间中位于高斯光斑内的坐标进行判断进行能量密度细化分析，结合缺陷损伤点的深度以及两波长激光各自对应的电场，完成对缺陷损伤点在时间与三维空间的能量密度进行细分，有效地解决了国际标准测试法中，无法判定缺陷损伤对应波长激光能量，将高斯光斑内不均匀分布的激光能量密度以及缺陷损伤点等效的看作为均匀分布，并将峰值能量密度作为缺陷损伤能量密度，忽略缺陷损伤的时间以及纵向电场影响所带来的问题，提高了测试精度。
-
公开(公告)号：CN111007586A
公开(公告)日：2020-04-14
申请号：CN201911310965.X
申请日：2019-12-18
Applicant: 中国工程物理研究院上海激光等离子体研究所
IPC: G02B5/18
Abstract: 本发明公开了一种大尺寸纳米周期光栅的制备方法，具体包括以下步骤：建立光路系统；调整激光能量密度，在加工样品表面制备出激光光斑的光栅夹缝结构，并获取光栅夹缝结构内相邻两个激光诱导表面周期性微结构之间的间距d1；通过三维移动平台沿着Y方向多次移动加工样品；通过三维移动平台将加工样品沿着X方向移动设定距离，使加工样品表面制备出的当前激光光斑的光栅夹缝结构与前一激光光斑的光栅夹缝结构之间的结构间距d2与间距d1相等；重复上述步骤，在加工样品表面制备出任意长度和宽度的纳米周期光栅。本发明只需控制激光能量密度和移动平台，就能直接制备大尺寸纳米周期光栅，工艺简单，对环境要求极低，方便实现。
-
公开(公告)号：CN110618143A
公开(公告)日：2019-12-27
申请号：CN201911024331.8
申请日：2019-10-25
Applicant: 中国工程物理研究院上海激光等离子体研究所
IPC: G01N21/958
Abstract: 本发明公开了一种波长分离薄膜缺陷激光损伤阈值的测试方法及系统，该方法以不同波长激光辐照波长分离薄膜的不同损伤机理及损伤形貌作为依据，将缺陷损伤点对应的致损波长激光进行判定，并将缺陷损伤的时间以及二维空间中位于高斯光斑内的坐标进行判断进行能量密度细化分析，结合缺陷损伤点的深度以及两波长激光各自对应的电场，完成对缺陷损伤点在时间与三维空间的能量密度进行细分，有效地解决了国际标准测试法中，无法判定缺陷损伤对应波长激光能量，将高斯光斑内不均匀分布的激光能量密度以及缺陷损伤点等效的看作为均匀分布，并将峰值能量密度作为缺陷损伤能量密度，忽略缺陷损伤的时间以及纵向电场影响所带来的问题，提高了测试精度。
-
公开(公告)号：CN105157857B
公开(公告)日：2017-11-14
申请号：CN201510602067.7
申请日：2015-09-21
Applicant: 中国工程物理研究院上海激光等离子体研究所
IPC: G01J11/00
Abstract: 本发明涉及到一种超短脉冲时间同步的测量装置，该测量装置包括有光学延迟线、第一半透半反镜、第二半透半反镜、透镜、非线性晶体、小孔光阑、第一光电二极管、半波片、合束器、四分之一波片、偏振分束器、第二光电二极管、第三光电二极管和减法器；测量方法是采用光学互相关测量时间同步，即由第一光电二极管获得和频光信号的最大值，使两束待测超短脉冲初步达到时间同步；采取电学能量平衡法进一步提升时间同步测量精度，在初步时间同步的基础上，若减法器输出信号为0，则两束超短脉冲达到高精度时间同步。本发明的时间同步测量精度可达亚飞秒量级，能够用于皮秒、飞秒等超短脉冲激光的时间同步测量。
-
公开(公告)号：CN104889576B
公开(公告)日：2017-10-03
申请号：CN201510360385.7
申请日：2015-06-26
Applicant: 中国工程物理研究院上海激光等离子体研究所
IPC: B23K26/382 , B23K26/0622 , B23K26/064 , B23K26/16 , B23K26/067 , B23K101/36
Abstract: 本发明涉及一种高深径比微孔的制备方法及制备装置，用以高深径比微孔。本发明的制备方法是利用双脉冲组合的方式来制备高深径比微孔，在激光光源中包含了两种脉宽不同的激光组合，利用数字信号延时发生器分别控制双脉冲组合达到样品的时间，两种激光器的激光脉冲通过光学元器件组合聚焦至样品上，直接对样品进行激光刻蚀；制备装置中包括有飞秒激光器、纳秒激光器、数字信号延时发生器、半波片、光学起偏器、分束镜、全反射镜、白光光源、电荷耦合元件、三维移动平台和电脑。本发明技术可以直接突破单脉冲所能制备的最大微孔深径比极限，很好地解决目前微孔制备中深径比不高的技术难题。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106840612A
公开(公告)日：2017-06-13
申请号：CN201710069388.4
申请日：2017-02-08
Applicant: 中国工程物理研究院上海激光等离子体研究所
IPC: G01M11/02
CPC classification number: G01M11/0278
Abstract: 本发明公开了一种大口径光栅损伤的在线快速测量装置，该装置包括激光器、准直透镜、半波片、偏振分束器、第一透镜、第二透镜、大口径光栅、成像系统、数据处理系统，激光器发出的线偏振光束通过准直透镜准直为平行光束，平行光束经半波片后以高透过率通过偏振分束器，经偏振分束器后的透射光束依次经过第一透镜、第二透镜构成的扩束系统后将光束口径扩大，扩束后的光束入射到大口径光栅上，大口径光栅的衍射光将沿原路返回后入射到偏振分束器上，偏振分束器的反射光由成像系统接收，成像系统与数据处理系统相连接，由数据处理系统对成像系统获得的图像进行分析处理，得出大口径光栅的损伤信息。本发明能够实现大口径光栅损伤的在线快速测量。
-
公开(公告)号：CN104889576A
公开(公告)日：2015-09-09
申请号：CN201510360385.7
申请日：2015-06-26
Applicant: 中国工程物理研究院上海激光等离子体研究所
IPC: B23K26/382 , B23K26/0622 , B23K26/064 , B23K26/16 , B23K26/067 , B23K101/36
CPC classification number: B23K26/0604 , B23K26/0643 , B23K26/0648 , B23K26/067 , B23K26/16 , B23K2101/36
Abstract: 本发明涉及一种高深径比微孔的制备方法及制备装置，用以高深径比微孔。本发明的制备方法是利用双脉冲组合的方式来制备高深径比微孔，在激光光源中包含了两种脉宽不同的激光组合，利用数字信号延时发生器分别控制双脉冲组合达到样品的时间，两种激光器的激光脉冲通过光学元器件组合聚焦至样品上，直接对样品进行激光刻蚀；制备装置中包括有飞秒激光器、纳秒激光器、数字信号延时发生器、半波片、光学起偏器、分束镜、全反射镜、白光光源、电荷耦合元件、三维移动平台和电脑。本发明技术可以直接突破单脉冲所能制备的最大微孔深径比极限，很好地解决目前微孔制备中深径比不高的技术难题。
-
公开(公告)号：CN114486190B
公开(公告)日：2024-07-16
申请号：CN202210031568.4
申请日：2022-01-12
Applicant: 中国工程物理研究院上海激光等离子体研究所
Abstract: 本发明公开了一种光学元件后表面激光损伤阈值的测试装置及测试方法，本发明通过多次测量背向受激布里渊散射和自聚焦效应的增益情况，将传统测试方法中忽略的两种非线性效应考虑进来，得到了激光诱导光学元件后表面损伤时真实的激光能量与激光光斑大小，从而规避了不同形状的光学元件引入不同的非线性效应所带来的损伤阈值测试结果误差，本发明的测试装置和方法不仅提高了测试精度，也为开展激光诱导光学元件后表面损伤机理以及相应的提高损伤阈值工艺提供了更多的帮助。
-
公开(公告)号：CN116979355A
公开(公告)日：2023-10-31
申请号：CN202311175335.2
申请日：2023-09-12
Applicant: 中国工程物理研究院上海激光等离子体研究所
IPC: H01S3/10 , H01S3/0941
Abstract: 本发明公开了一种基于空间复用结构的紧凑型激光放大系统，所述系统包括：种子源激光器，用于提供种子信号光；扩束装置，用于对所述信号光进行扩束；光束整形装置，用于对所述信号光的尺寸、光斑形状和强度分布进行控制；功放系统，用于对信号光进行放大；光束传输编码装置，用于改变所述信号光的传输方向或者偏振状态，实现信号光放大次数编码和导出，与功放系统配合，实现信号光在增益介质中往返传输放大。本发明提出的基于空间复用结构的紧凑型激光放大系统通过对增益介质的空间复用，在较小的空间内实现了泵浦能量的高效提取，为小型化激光器提供了可靠的技术路径。
-
公开(公告)号：CN115950362A
公开(公告)日：2023-04-11
申请号：CN202310080777.2
申请日：2023-02-08
Applicant: 中国工程物理研究院上海激光等离子体研究所
IPC: G01B11/02
Abstract: 本发明提供一种基于宽带光空域‑谱域显微干涉术的微位移量传感装置，该装置包括宽带光源、柯勒照明系统、显微镜筒、干涉物镜、被测件、精密电控平台、分束器、科学CCD、导光光纤、多通道光谱仪和计算机，还涉及一种微位移量测量方法。本发明的装置及方法为非接触式位移量传感，不会对测量件造成损伤，测量过程无需轴向扫描，测量效率高，时间短，可实现即时测量；该测量方法结合了宽带光的空域干涉法和谱域干涉法，由空域干涉条纹进行小位移量传感，谱域干涉条纹进行大位移量传感，测量范围无“死区”，可实现±1mm范围内的高精度微位移量传感；系统横向分辨率高，尤其是在微加工等领域的光学元件高精度检测中能满足需求。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
62
records
(took 0.052 seconds)
