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公开(公告)号：CN118438063A
公开(公告)日：2024-08-06
申请号：CN202410707106.9
申请日：2024-06-03
Applicant: 中国工程物理研究院上海激光等离子体研究所
IPC: B23K26/53 , B23K26/064 , B23K26/70
Abstract: 本发明公开了一种提高激光减薄半导体材料效率的方法及装置，通过在碳化硅薄片剥离后的碳化硅晶锭表面制备硬度较低的氧化层，降低了机械抛光碳化硅表面的难度，可以以最快速度将碳化硅晶锭表面抛光至激光可以入射到材料体内的程度，进而开始下一轮的减薄改质加工，大大提高了半导体材料多次减薄剥离的加工效率；同时，对去除氧化层的半导体材料继续进行减薄剥离加工时，引入激光测距仪，利用激光测距仪实时检测材料表面的粗抛形貌，并根据激光测距仪的检测结果及时调整激光焦点的聚焦位置，可以避免半导体材料表面的粗抛形貌对加工精度造成影响，达到激光继续均匀改质、剥离碳化硅的加工目的，提高加工质量。
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公开(公告)号：CN117452744A
公开(公告)日：2024-01-26
申请号：CN202311279160.X
申请日：2023-10-07
Applicant: 中国工程物理研究院上海激光等离子体研究所
Abstract: 本发明公开了一种非线性近场滤波方法，通过在激光滤波光路中设置单块或多块级联的非线性滤波晶体，利用非线性滤波晶体对待滤波光束中的不同立体角的近场高频成分进行频率转换，并在后续放大传输过程中将其滤除，从而实现空间滤波，有效地解决了原有空间滤波器需配备很长的光束传输管道且需在高功率条件下对光管道抽真空而导致造价高的问题。
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公开(公告)号：CN113161849A
公开(公告)日：2021-07-23
申请号：CN202011509296.1
申请日：2020-12-18
Applicant: 中国工程物理研究院上海激光等离子体研究所
Abstract: 本发明公开了一种对激光束入射角度相对误差不敏感的色谱合成装置及方法，该色谱合成装置通过在普通的二向色镜上添加特殊的分区镀膜构成复合色谱合成镜，通过将该复合色谱合成镜与角锥棱镜配合使用，使两支激光束的光路中均只存在一次反射，从而避免因色谱合成装置与两束待合束的激光束之间的相对角度误差而引起的合束激光光轴的指向偏差，从而提高了色谱合成激光束的亮度和光束质量。
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公开(公告)号：CN109361139A
公开(公告)日：2019-02-19
申请号：CN201811487197.0
申请日：2018-12-06
Applicant: 中国工程物理研究院上海激光等离子体研究所
Abstract: 本发明公开了一种栅栏脉冲产生系统，该系统包括光纤锁模激光器、波导幅度调制器和第一分束器，第一分束器的输出端分别连接有第一窄带滤波器和第二窄带滤波器，在第一窄带滤波器上串联有第一光纤延迟器，在第二窄带滤波器上串联有第一光纤衰减器，第一光纤延迟器的输出端和第一光纤衰减器的输出端并联然后均与第一耦合器的输入端相连，第一耦合器的输出端与若干二进制堆积单元串联，在二进制堆积单元的输出端分别连接有第一光纤放大器和第二光纤放大器，在第一光纤放大器上串联有第一N*1并联式堆积单元，在第二光纤放大器上串联有第二N*1并联式堆积单元，然后与合束器串联。本发明栅栏脉冲可以有效的抑制SRS和SBS的积累。
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公开(公告)号：CN119634996A
公开(公告)日：2025-03-18
申请号：CN202411568844.6
申请日：2024-11-05
Applicant: 中国工程物理研究院上海激光等离子体研究所
IPC: B23K26/362 , B23K26/70
Abstract: 本发明公开了一种激光精密加工碳化硅表面的调控方法，通过对激光加工碳化硅表面后的烧蚀面积以及相应拉曼光谱变化进行测试，对激光加工后碳化硅表面的碳化效应以及烧蚀边界进行标定，结合空间分辨法得到各类碳化硅晶体在不同参数激光辐照下，诱导其表面碳化以及烧蚀的相关阈值，并且可根据烧蚀和碳化加工尺寸需求，得到对应的入射激光能量密度和入射激光光强，从而实现激光精密、可控的加工各类碳化硅表面烧蚀以及碳化的尺寸，提高加工精度和质量，可根据需求实现不同需求的精密加工，为拓展碳化硅的应用提供可靠的加工方案。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114156720B
公开(公告)日：2024-07-16
申请号：CN202111336919.4
申请日：2021-11-12
Applicant: 中国工程物理研究院上海激光等离子体研究所
Abstract: 本发明涉及一种成缆式增益光纤温控系统，包括缆管、增益光纤套管组件、支撑件、缆管分支、密封头，支撑件和增益光纤套管组件安装在缆管内部，支撑件上设有用以增益光纤套管组件穿设的穿缆孔；缆管的两端设有用以缆管两端封堵的密封头，缆管分支连接到缆管侧壁；密封头和缆管分支上分别设有用以缆管内冷媒流体的接口；增益光纤套管组件的从密封头穿出。本发明采用缆管分支对缆管的温度进行分段控制，通过分段控制可以更加精确控制增益光纤的温度，充分利用增益光纤套管的表面积进行温控，降低高功率激光器的体积和重量。
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公开(公告)号：CN117038504A
公开(公告)日：2023-11-10
申请号：CN202310933907.2
申请日：2023-07-26
Applicant: 中国工程物理研究院上海激光等离子体研究所
IPC: H01L21/67 , H01L21/268
Abstract: 本发明公开了一种双脉宽激光耦合剥离半导体材料的设备及方法，通过将双脉宽激光耦合辐照至半导体材料内，利用高光强的飞秒脉冲激光将价带的电子跃迁至导带形成自由电子种子，随后利用长脉冲激光对导带上的自由电子进行吸收、产热并形成热应力差，从而实现半导体材料的激光诱导改质以及剥离。不仅解决了传统机械加工如碳化硅、金刚石等高硬度半导体材料耗时长、损耗大等问题，同时也降低了传统激光改质作业中对超短脉冲激光单脉冲能量的要求，节省制造成本，为硬脆半导体材料的广泛应用提供可靠的帮助。
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公开(公告)号：CN119324364A
公开(公告)日：2025-01-17
申请号：CN202411418175.4
申请日：2024-10-11
Applicant: 中国工程物理研究院上海激光等离子体研究所
Abstract: 本发明涉及高功率激光技术领域，提供一种光栅压缩器。该光栅压缩器包括第一光栅、第二光栅和反射镜；第一光栅具有第一光栅面；第二光栅具有第二光栅面，第一光栅面所在平面与第二光栅面所在平面呈夹角，且第一光栅面与第二光栅面相向设置；反射镜位于第一光栅和第二光栅的光路传输路径上。如此，光束可则在第一光栅面、反射镜的反射面以及第二光栅面之间进行多次传输而实现脉冲宽度的压缩，并且，相较于传统的Treacy型平行光栅对压缩器，该光栅压缩器的体积更小，能够满足不同类型激光系统的适配要求。
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公开(公告)号：CN112636141B
公开(公告)日：2022-05-31
申请号：CN202011503049.0
申请日：2020-12-18
Applicant: 中国工程物理研究院上海激光等离子体研究所
Abstract: 本发明涉及到一种自适应光谱合成系统，该系统包括端镜、光纤放大器、光纤阵列、光纤布拉格光栅、传输透镜、衍射光栅、准直透镜和结构件，所述的光纤阵列、传输透镜、衍射光栅和准直透镜分别固定所述的结构件上形成一个整体。本发明的自适应光谱合成系统可以实现子束的光谱自适应锁定，降低系统对光谱稳定性和线宽的要求，有效提升合成光束质量。
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公开(公告)号：CN116979355A
公开(公告)日：2023-10-31
申请号：CN202311175335.2
申请日：2023-09-12
Applicant: 中国工程物理研究院上海激光等离子体研究所
IPC: H01S3/10 , H01S3/0941
Abstract: 本发明公开了一种基于空间复用结构的紧凑型激光放大系统，所述系统包括：种子源激光器，用于提供种子信号光；扩束装置，用于对所述信号光进行扩束；光束整形装置，用于对所述信号光的尺寸、光斑形状和强度分布进行控制；功放系统，用于对信号光进行放大；光束传输编码装置，用于改变所述信号光的传输方向或者偏振状态，实现信号光放大次数编码和导出，与功放系统配合，实现信号光在增益介质中往返传输放大。本发明提出的基于空间复用结构的紧凑型激光放大系统通过对增益介质的空间复用，在较小的空间内实现了泵浦能量的高效提取，为小型化激光器提供了可靠的技术路径。
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