-
公开(公告)号：CN106461516B
公开(公告)日：2021-04-09
申请号：CN201580030690.8
申请日：2015-06-29
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
IPC: G01N1/28 , H01J37/31 , H01J37/317
Abstract: 本发明提供一种带电粒子束装置(10a)，具备计算机(21)，该计算机(21)至少基于样品片保持件(P)、机针(18)以及样品片(Q)的预先获取的多个带电粒子束的图像来控制多个带电粒子束照射光学系统、机针(18)以及气体供给部(17)，以使样品片(Q)移设至预定的样品片保持件(P)的位置。
-
公开(公告)号：CN112563100A
公开(公告)日：2021-03-26
申请号：CN202011022919.2
申请日：2020-09-25
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
IPC: H01J37/08 , H01J37/20 , H01J37/304
Abstract: 提供如下的会聚离子束装置：能够针对会聚离子束的多个照射位置，分别自动且高精度地与共心高度对齐。会聚离子束装置具有电子束镜筒、会聚离子束镜筒、以及能够以倾斜轴为中心倾斜且能够沿高度方向移动的试样载台，其中，会聚离子束装置还具有：坐标取得单元，在试样上指定了照射会聚离子束的多个照射位置时，其取得各照射位置的平面坐标；移动量计算单元，其根据平面坐标，针对各照射位置计算使所述试样载台移动到共心高度以使所述共心高度与如下的交叉位置一致的移动量，所述交叉位置是电子束和会聚离子束一致的位置；以及试样载台移动控制单元，其针对各照射位置，根据移动量使试样载台移动到共心高度。
-
公开(公告)号：CN111755305A
公开(公告)日：2020-10-09
申请号：CN202010211741.X
申请日：2020-03-24
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
IPC: H01J37/22 , H01J37/28 , G01N23/2251
Abstract: 提供带电粒子束装置和控制方法，使加工自动化。带电粒子束装置具有：图像一致度判定部，其判定如下的一致度是否为规定的值以上，该一致度表示通过扫描型电子显微镜观察试样的截面而得到的SEM图像即加工截面图像和预先登记的加工截面图像即判定基准图像一致的程度；以及判定后处理部，其根据图像一致度判定部的判定结果进行规定的处理。
-
公开(公告)号：CN108666190A
公开(公告)日：2018-10-16
申请号：CN201810258355.9
申请日：2018-03-27
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
Abstract: 本发明提供便携式信息终端、射束照射系统以及存储介质。本发明的便携式信息终端能够在期望的位置进行第一操作项目的操作。该便携式信息终端是与通过向试样照射带电粒子束来对试样进行处理的带电粒子束照射装置分体的便携式信息终端，其具有显示控制部，该显示控制部使显示部显示包含GUI(Graphical User Interface：图形用户界面)的图像，该GUI是能够根据来自用户的操作来操作第一操作项目，该第一操作项目是能够在带电粒子束照射装置中进行操作的多个操作项目中的1个以上的一部分操作项目。
-
公开(公告)号：CN103311080A
公开(公告)日：2013-09-18
申请号：CN201310083996.2
申请日：2013-03-15
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
IPC: H01J37/21 , H01J37/30 , H01J37/304
CPC classification number: H01J3/14 , H01J37/304 , H01J2237/0458 , H01J2237/30433 , H01J2237/30472 , H01J2237/31749
Abstract: 本发明提供了一种聚焦离子束装置和调整离子束光学系统的方法。聚焦离子束装置包括控制部，其用于预先在聚束电压表中存储针对多个孔阑中的所有孔阑的用于获得基准束电流的聚束电压的计算值；对于基准孔阑获得用于获得基准束电流的聚束电压的实验值；通过从用于基准孔阑的实验值减去为基准孔阑存储的计算值来获得聚束电压的校正值；通过将校正值与为各孔阑存储的计算值相加来获得聚束电压的设置值；以及将所获得的设置值存储在聚束电压表中。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112563100B
公开(公告)日：2025-05-13
申请号：CN202011022919.2
申请日：2020-09-25
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
IPC: H01J37/08 , H01J37/20 , H01J37/304
Abstract: 提供如下的会聚离子束装置：能够针对会聚离子束的多个照射位置，分别自动且高精度地与共心高度对齐。会聚离子束装置具有电子束镜筒、会聚离子束镜筒、以及能够以倾斜轴为中心倾斜且能够沿高度方向移动的试样载台，其中，会聚离子束装置还具有：坐标取得单元，在试样上指定了照射会聚离子束的多个照射位置时，其取得各照射位置的平面坐标；移动量计算单元，其根据平面坐标，针对各照射位置计算使所述试样载台移动到共心高度以使所述共心高度与如下的交叉位置一致的移动量，所述交叉位置是电子束和会聚离子束一致的位置；以及试样载台移动控制单元，其针对各照射位置，根据移动量使试样载台移动到共心高度。
-
公开(公告)号：CN112635278B
公开(公告)日：2025-05-09
申请号：CN202010993810.7
申请日：2020-09-21
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
IPC: H01J37/22 , H01J37/244 , H01J37/28
Abstract: 提供粒子束照射装置，进行基于多个检测器的观察时，能缩短多个检测器的亮度调整的时间。粒子束照射装置具有照射粒子束的照射部、检测第1粒子的第1检测部、检测第2粒子的第2检测部、像形成部和控制部，像形成部进行如下处理：形成基于第1检测部检测到第1粒子的第1信号的观察像；形成基于第2检测部检测到第2粒子的第2信号的观察像，控制部进行如下处理：计算形成的第1观察像的第1区域的亮度，第1区域的亮度与第1目标亮度不同时，根据第1目标亮度进行第1检测部的亮度调整作为第1亮度调整；计算形成的第2观察像的第2区域的亮度，第2区域的亮度与第2目标亮度不同时，根据第2目标亮度进行第2检测部的亮度调整作为第2亮度调整。
-
公开(公告)号：CN112635276B
公开(公告)日：2025-04-25
申请号：CN202010660895.7
申请日：2020-07-10
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
Abstract: 本发明提供一种液体金属离子源和聚焦离子束装置，能够长期间稳定地释放离子束。该液体金属离子源(50)具备：贮存室(10)，其对形成液体金属的离子材料(M)进行保持；针状电极(20)，其表面由从贮存室供给的离子材料覆盖；引出电极(22)，其使离子材料的离子从针状电极的前端释放；射束光圈(24)，其配置于引出电极的下游侧，对离子的束径进行限制；以及真空室(30)，其对这些进行收纳并保持为真空，该液体金属离子源(50)的特征在于，进一步具有氧化性气体导入部(40)，氧化性气体导入部与真空室连通而向针状电极的周围导入氧化性气体。
-
公开(公告)号：CN110176379B
公开(公告)日：2024-04-30
申请号：CN201910126745.5
申请日：2019-02-20
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
IPC: H01J37/305 , H01J37/244
Abstract: 提供带电粒子束装置和试样加工观察方法。提供如下的带电粒子束装置和使用该带电粒子束装置的试样加工观察方法，该带电粒子束装置具备镓离子束镜筒、具有半浸没透镜型的物镜的电子束镜筒和气体离子束镜筒，能够在短时间内高效地进行试样的精加工和试样加工面的高精度的SEM像取得。带电粒子束装置的特征在于，所述带电粒子束装置至少具有：镓离子束镜筒，其朝向试样照射镓离子束，形成所述试样的截面；电子束镜筒，其具有半浸没透镜型的物镜，朝向试样照射电子束；以及气体离子束镜筒，其朝向所述试样的截面照射气体离子束，进行所述试样的截面的精加工，所述气体离子束具有比所述试样的截面的最大直径大的波束直径。
-
公开(公告)号：CN111081515B
公开(公告)日：2024-01-30
申请号：CN201910898398.8
申请日：2019-09-23
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
IPC: H01J37/26 , H01J37/28 , G01N23/2251 , G01N23/2202
Abstract: 提供带电粒子束装置和试样加工观察方法，不用变更载台的尺寸便能够缩小电子束镜筒与试样之间的距离，从而得到高分辨率的SEM图像，并且能够得到正对试样的观察面的SEM图像。具有如下的工序：试样片形成工序，对所述试样照射聚焦离子束而从试样切出试样片；截面加工工序，利用试样片支承体对试样片进行支承，对试样片的截面照射聚焦离子束而进行截面的加工；试样片接近移动工序，利用试样片支承体对试样片进行支承，使试样片移动到比聚焦离子束的束光轴与电子束的束光轴的交点更接近电子束镜筒的位置；以及SEM图像取得工序，朝向试样片的所述截面照射电子束，从而取得截面的SEM图像。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
34
records
(took 0.039 seconds)
