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公开(公告)号：CN103449351A
公开(公告)日：2013-12-18
申请号：CN201310176764.1
申请日：2013-05-14
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
CPC classification number: B81B3/0021 , B81B2201/025 , B81B2207/096 , B81C1/00238 , B81C1/00261 , B81C1/00301 , B81C2203/0792 , H01L2224/13 , H01L2224/48463 , H01L2224/73257 , H01L2924/1461 , H01L2924/00
Abstract: 本发明涉及混合集成部件及其制造方法，所述部件具有MEMS构件（10）、构件（10）的微机械结构（131）的罩（11）及ASIC衬底（20）。微机械结构（131）在SOI晶片（10）的功能层（13）中实现。构件（10）面朝下以功能层（13）装配在ASIC衬底（20）上并且罩在SOI晶片（10）的衬底中实现。衬底（20）包括两侧设有层结构的初始衬底（21）。在MEMS侧的层结构中及衬底（20）的背侧的层结构中实现电路层面（1，2，3，4）。在衬底（20）中构造有ASIC覆镀通孔（29），其从部件（100）背侧出发电接触背侧的层结构的电路层面（3）和/或MEMS侧的层结构的电路层面（1）。
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公开(公告)号：CN101119924A
公开(公告)日：2008-02-06
申请号：CN200580048189.0
申请日：2005-12-21
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: B81B3/00
CPC classification number: B81C1/00158 , B81B2201/0264 , B81C1/00476 , B81C2201/0109 , B81C2201/053
Abstract: 本发明描述了一种用于制造微机械膜片传感器的方法以及一种借助所述方法制造的微机械膜片传感器。在此规定，微机械膜片传感器具有至少一个第一膜片和一个基本上在第一膜片之上的第二膜片。此外还规定，微机械膜片传感器具有第一空腔和基本上在第一空腔之上的第二空腔。
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公开(公告)号：CN118742507A
公开(公告)日：2024-10-01
申请号：CN202380023130.4
申请日：2023-02-14
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Inventor： H·韦伯 , P·施莫尔林格鲁贝尔
IPC: B81C1/00
Abstract: 本发明涉及一种用于形成一个围绕至少一个槽口(14)的多层结构的方法，具有如下步骤：在后续的多层结构的第一半导体层(12)中结构化多个凹陷(10)，所述凹陷(10)在所述第一半导体层(12)中形成包括多个凹陷(10)的连续的槽口(14)，借助所述凹陷(10)从所述第一半导体层(12)结构化出的壁结构(16)伸入所述槽口(14)中，至少在部分面积是覆盖所述槽口(14)，其方式上，由至少一种与所述第一半导体层(12)相同的材料形成至少一个第二半导体层(18)，通过至少一个介质供给开口(20)将介质导入在所述至少一个槽口(14)中，该介质与伸入的壁结构(16)化学反应。
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公开(公告)号：CN113227742B
公开(公告)日：2024-08-23
申请号：CN201980085192.1
申请日：2019-12-18
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Abstract: 本发明涉及一种用于电容式压力传感器设备的微机械构件，所述微机械构件具有膜片，所述膜片借助框架结构(12)如此展开，使得所述膜片(18)的自支承区域(20)跨越所包围的部分表面(16)，所述微机械构件还具有加固结构(22)，所述加固结构构造在所述自支承区域(20)上，其中，能够定义平行于所包围的部分表面(16)取向的第一空间方向(x)，在所述第一空间方向上，所述自支承区域(20)具有最小延伸(I1)，并且能够定义平行于所包围的部分表面(16)且垂直于所述第一空间方向(x)取向的第二空间方向(y)，在所述第二空间方向上，所述自支承区域(20)具有更大的延伸(I2)，其中，所述加固结构(22)以在所述第一空间方向(x)上相对于所述框架结构(12)隔开第一间距(a1)且在所述第二空间方向(y)上隔开第二间距(a2)的形式存在，其中，所述第二间距(a2)大于所述第一间距(a1)。
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公开(公告)号：CN113226976B
公开(公告)日：2024-07-12
申请号：CN201980085003.0
申请日：2019-12-13
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Abstract: 本发明涉及一种微机械构件，其膜片(12)保持与腔的底侧间隔开并且在其膜片内侧(12a)处具有支撑结构(20a)，其中，所述支撑结构(20a)中的每个都具有各自的第一边缘元件结构(32)、各自的第二边缘元件结构(34)和各自的布置在所分配的第一边缘元件结构(32)与所分配的第二边缘元件结构(34)之间的至少一个中间元件结构(36)，其中，针对所述支撑结构(20a)中的每个都能够分别限定对称平面(38)，关于所述对称平面，至少相应的支撑结构(20a)的所述第一边缘元件结构(32)和所述相应的支撑结构(20a)的第二边缘元件结构(34)是镜像对称的，其中，在所述支撑结构(20a)中的每个中，其第一边缘元件结构(32)的垂直于其对称平面(38)的第一最大延展(a1)及其第二边缘元件结构(34)的垂直于其对称平面(38)的第二最大延展(a2)大于其至少一个中间元件结构(36)的垂直于其对称平面(38)的至少一个最大延展(a3)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN117929489A
公开(公告)日：2024-04-26
申请号：CN202311404459.3
申请日：2023-10-26
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Abstract: 公开一种传感器布置、特别是呈微机电系统形式的传感器布置，该传感器布置具有：衬底，在该衬底中开设第一空腔和第二空腔；第一膜片和第二膜片，该第一膜片相对于环境气密密封地封闭第一空腔，该第二膜片相对于环境气密密封地封闭第二空腔，其中，第一空腔与第二空腔通过至少一个连接通道流体引导地相互连接；此外具有与环境相互作用的第一涂层，该第一涂层布置在第二膜片的前侧上，和具有与第一膜片连接的至少一个第一可运动电极和不与第一膜片连接的至少一个第一不可运动电极，和与第二膜片连接的至少一个第二可运动电极和不与第二膜片连接的至少一个第二不可运动电极。
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公开(公告)号：CN112384779B
公开(公告)日：2023-03-28
申请号：CN201980045962.X
申请日：2019-06-28
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Inventor： P·施莫尔林格鲁贝尔 , H·韦伯
Abstract: 本发明涉及一种微机械压力传感器设备和一种相应的制造方法。微机械压力传感器设备配备有：传感器衬底(SS)；锚固在所述传感器衬底(SS)中的膜片组件，该膜片组件具有第一膜片(M1)和与该第一膜片间隔开的第二膜片(M2)，它们在边缘区域(R；R”)中环绕地相互连接并且在形成在它们之间的内部空间(IR)中包含参考压力(P0)；和悬挂在所述内部空间(IR)中的板形的中央电极(E1)，该中央电极相对于所述第一膜片(M1)并且相对于所述第二膜片(M2)间隔开地布置，并且该中央电极与所述第一膜片(M1)形成第一电容并且与所述第二膜片(M2)形成第二电容。所述第一膜片(M1)和所述第二膜片(M1)构型成，使得它们能够在加载以外部压力(PA；PA、PA’)时朝向彼此变形。
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公开(公告)号：CN115448247A
公开(公告)日：2022-12-09
申请号：CN202210646991.5
申请日：2022-06-08
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Abstract: 本发明涉及一种用于传感器设备的微机械构件，其具有衬底、至少一个第一对应电极、至少一个第一电极和电容器密封结构，至少一个第一电极以能够调整的方式布置在所述至少一个第一对应电极的背离衬底的侧上，电容器密封结构气密地密封内部体积，内部体积具有存在于其中的至少一个第一对应电极和存在于其中的至少一个第一电极，其中，至少一个第一对应电极直接地或者间接地紧固在框架结构上，框架结构直接地或者间接地紧固在所述衬底上，并且至少一个第一对应电极至少部分地如此跨越所述空腔，使得能够通过至少一个开口在空腔与内部体积之间传输至少一种气体，开口构造在所述至少一个第一对应电极上和/或构造在至少一个第一对应电极中。
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公开(公告)号：CN115335318A
公开(公告)日：2022-11-11
申请号：CN202180024557.7
申请日：2021-03-22
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Inventor： T·弗里德里希 , C·赫尔梅斯 , P·施莫尔林格鲁贝尔 , H·韦伯 , A·朔伊尔勒
Abstract: 一种用于制造微机械传感器(100)的方法，其具有以下步骤：将第一氧化物牺牲层(2)施加到衬底(1)上；通过在所述第一氧化物牺牲层(2)中的开口(x3)去除所述衬底(1)的材料；通过施加第二氧化物牺牲层(6)封闭在所述第一氧化物牺牲层(2)中的所述开口(x3)；在载体结构(3a，3b)上构造感测区域(20)，其中，所述感测区域(20)和所述载体结构(3a，3b)构造在所述氧化物牺牲层(2，6)上，并且所述感测区域(20)和/或所述载体结构(3a，3b)通过至少一个形成柔性结构(15)的附接区域(30)与所述衬底(1)连接；以及借助蚀刻工艺至少部分地去除在所述载体结构(3a，3b)和所述衬底(1)之间的氧化物牺牲层(2，6)。
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公开(公告)号：CN113226976A
公开(公告)日：2021-08-06
申请号：CN201980085003.0
申请日：2019-12-13
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Abstract: 本发明涉及一种微机械构件，其膜片(12)保持与腔的底侧间隔开并且在其膜片内侧(12a)处具有支撑结构(20a)，其中，所述支撑结构(20a)中的每个都具有各自的第一边缘元件结构(32)、各自的第二边缘元件结构(34)和各自的布置在所分配的第一边缘元件结构(32)与所分配的第二边缘元件结构(34)之间的至少一个中间元件结构(36)，其中，针对所述支撑结构(20a)中的每个都能够分别限定对称平面(38)，关于所述对称平面，至少相应的支撑结构(20a)的所述第一边缘元件结构(32)和所述相应的支撑结构(20a)的第二边缘元件结构(34)是镜像对称的，其中，在所述支撑结构(20a)中的每个中，其第一边缘元件结构(32)的垂直于其对称平面(38)的第一最大延展(a1)及其第二边缘元件结构(34)的垂直于其对称平面(38)的第二最大延展(a2)大于其至少一个中间元件结构(36)的垂直于其对称平面(38)的至少一个最大延展(a3)。
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