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公开(公告)号：CN115896933A
公开(公告)日：2023-04-04
申请号：CN202211557745.9
申请日：2022-12-06
申请人： 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
摘要： 本发明公开了一种MPCVD装置，包括沉积台、基片台、升降台、微波石英窗、上盖板、底板、压力传感器、复合视窗、厚度测量装置、视觉装置、测温装置、等离子体诊断装置、真空密封圈及微波屏蔽密封圈；上盖板与底板围成反应腔，在上盖板的顶部设置有进气孔，在底板上设置有出气孔；微波石英窗为圆环形，设于沉积台与底板之间，通过微波石英窗将反应腔与外界空气隔离；升降台内设置有真空通道和冷却通道，基片台下表面与升降台上表面构成真空腔，所述真空腔与所述真空通道连通，在所述真空腔内设置有监测气压的压力传感器。采用本发明的MPCVD装置，可有效防止视窗处微波泄露，实时对工艺参数进行监测，以及使金刚石的生长面始终处于同一生长高度。
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公开(公告)号：CN115726034A
公开(公告)日：2023-03-03
申请号：CN202211647886.X
申请日：2022-12-21
申请人： 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
摘要： 本发明公开了一种二次外延提高大尺寸单晶金刚石接缝质量的方法，通过化学气相沉积在衬底表面沉积生长形成一次外延层，再用激光将多个衬底正交交点处的晶体缺陷去除并形成矩形槽；通过常规清洗和离子清洗去除拼接晶体一次外延层表面的污染物后，通过化学气相沉积在一次外延层表面生长单晶金刚石二次外延层；采用该方法拼接生长后能够得到拼接晶体多个衬底正交交点处无晶体缺陷的大尺寸单晶金刚石拼接晶体。
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公开(公告)号：CN114411112A
公开(公告)日：2022-04-29
申请号：CN202111523327.3
申请日：2021-12-14
申请人： 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
摘要： 本发明提供一种CVD单晶金刚石位错密度的检测方法，包括单晶金刚石待测表面的研磨抛光和清洗，并通过化学腐蚀去除晶体表面机械损伤层，然后采用离子刻蚀的方法在单晶金刚石的待测表面形成位错蚀坑，对待测表面取样并对表面形貌进行检测，统计取样面积内位错蚀坑数量，最后计算得到单晶金刚石的位错密度，采用该方法可准确实现CVD单晶金刚石{100}或{111}晶面位错密度的检测。
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公开(公告)号：CN108486546B
公开(公告)日：2020-04-03
申请号：CN201810386838.7
申请日：2018-04-26
申请人： 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
IPC分类号： C23C16/27 , C23C16/32 , C23C16/511 , C23C16/02 , C23C14/35 , C23C14/16 , C23C14/58 , C23C28/00 , C02F1/461
摘要： 本发明提供了一种BDD膜电极材料及其制备方法，属于金刚石膜电极材料领域，以钼、钨或导电硅为基材，基材进行粗化处理使基材表面获得Ra0.5‑1μm的粗糙度，在基材表面沉积过渡层，然后，在所述过渡层表面形成碳化物后进行金刚石的形核和生长，且在金刚石成核期加入含硼物得到含硼的金刚石层，其中，所述过渡层为能够形成共价键碳化物的过渡族金属，所述过渡层与基材形成合金或化合物。本发明得到致密的金刚石层结构，消除了电解产生的离子对基材的损害，有利于获得金刚石膜电极材料长的使用寿命。本发明可实现基材与金刚石层的紧密结合，消除了热膨胀系数差异产生的热应力导致的金刚石层的剥落。
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公开(公告)号：CN106001578B
公开(公告)日：2018-12-25
申请号：CN201610593368.2
申请日：2016-07-26
申请人： 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
IPC分类号： B22F3/14
摘要： 本发明公开了一种径向施压烧结成型模具，包括模具主体，模具主体上设有贯穿上下端面的两斜槽，两斜槽相互交叉，交叉处设有通孔，模具主体两端分别设有垂直于通孔的槽，槽内设有挡板，斜槽内设有压头，压头下端面为与通孔相配合的弧形面，模具主体上下端面设施力压板，压板压脚与压头表面接触。本发明公开的径向施压烧结成型模具可以在单向压制或双向压制压机上对细长圆柱形磨料层实施径向压制烧结成型，与传统的轴向压制相比，粉料生坯的压制厚度大大降低，使得细长圆柱形磨料层烧结成型后不会出现轴向烧结压制产生的密度阶梯性差异，其整体烧结坯密度分布均匀，从而大大提升成品磨具整体的质量可靠性和应用范围。
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公开(公告)号：CN108724025A
公开(公告)日：2018-11-02
申请号：CN201810472042.3
申请日：2018-05-17
申请人： 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
摘要： 本发明公开了一种有序化排列金属结合剂金刚石砂轮的制备方法，其中包括1）混料：取金刚石、甘油的乙醇溶液、金属结合剂粉体、硬脂酸的乙醇溶液混合得到混合粉体；2）造粒：将混合粉体滚动造粒得到球形颗粒；3）筛分、选型处理：将球形颗粒烘干，再对球形颗粒进行筛分和选型；4）有序化处理：将筛分和选型后的球形颗粒施加水平和垂直方向的正弦振动，并冷压成型得到砂轮压坯；5）烧结：将砂轮压坯烧结后得到有序化排列的金刚石砂轮。本发明金刚石在金属结合剂中均匀有序排列，提高了砂轮的磨削效率和寿命，工艺可重复性更强、操作难度更低、生产效率更高。
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公开(公告)号：CN108486546A
公开(公告)日：2018-09-04
申请号：CN201810386838.7
申请日：2018-04-26
申请人： 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
IPC分类号： C23C16/27 , C23C16/32 , C23C16/511 , C23C16/02 , C23C14/35 , C23C14/16 , C23C14/58 , C23C28/00 , C02F1/461
摘要： 本发明提供了一种BDD膜电极材料及其制备方法，属于金刚石膜电极材料领域，以钼、钨或导电硅为基材，基材进行粗化处理使基材表面获得Ra0.5-1μm的粗糙度，在基材表面沉积过渡层，然后，在所述过渡层表面形成碳化物后进行金刚石的形核和生长，且在金刚石成核期加入含硼物得到含硼的金刚石层，其中，所述过渡层为能够形成共价键碳化物的过渡族金属，所述过渡层与基材形成合金或化合物。本发明得到致密的金刚石层结构，消除了电解产生的离子对基材的损害，有利于获得金刚石膜电极材料长的使用寿命。本发明可实现基材与金刚石层的紧密结合，消除了热膨胀系数差异产生的热应力导致的金刚石层的剥落。
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公开(公告)号：CN107900920A
公开(公告)日：2018-04-13
申请号：CN201711291943.4
申请日：2017-12-08
申请人： 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
摘要： 一种用于高效磨削的表面多孔金刚石磨料及其制备方法，属于超硬材料制备技术领域，所述表面多孔金刚石磨料采用高温高压法合成后再进行表面氧化处理和酸处理得到，金刚石磨料为单晶体，晶体尺寸50-500 μm，晶体表面积的10-70 %为尺寸1-20 μm的孔洞，晶体体积的5-40 %为尺寸1-10 μm的异质颗粒，异质颗粒的成分为Ti、V、Cr、Zr、Nb、Mo、Hf、Ta、W、Al、Si这些元素的碳化物、氮化物和氧化物中的至少一种。所述金刚石磨料的表面孔洞，增加砂轮结合剂与金刚石磨料之间的结合力，提高砂轮锋利性与磨削效率；所述金刚石磨料内的异质颗粒，提高砂轮锋利性与磨削效率。
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公开(公告)号：CN106052392A
公开(公告)日：2016-10-26
申请号：CN201610375367.0
申请日：2016-05-31
申请人： 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
CPC分类号： F27D19/00 , F27B21/00 , F27D2019/0003 , F27D2019/0037
摘要： 本发明涉及一种热压烧结机及其温度均匀性控制方法，烧结机包括两个电极，n个温度传感器，以及温度控制装置，第一电极分为相互绝缘设置的n个电极版块，n≥2，每个电极版块连接有对应的供电线路，用于通入电流，使电流在对应的电极版块、模具和第二电极之间流通；温度传感器与电极版块一一对应，用于检测对应电极版块的温度，温度控制装置采样连接n个温度传感器，控制连接所有的供电线路，用于根据采集到的温度值相应调节对应供电线路中的电流。能够使所有部分电极上的温度趋于相等，进而控制石墨模具中的温度，使其分布均匀，消除了温度场不均匀的情况，从而保证了烧结制品性能的均一性，提高了烧结制品的质量。
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公开(公告)号：CN211005615U
公开(公告)日：2020-07-14
申请号：CN201920996485.2
申请日：2019-06-28
申请人： 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
IPC分类号： C23C16/517 , C23C16/27
摘要： 本实用新型涉及微波等离子体化学气相沉积技术领域，尤其涉及一种波导组件及微波等离子体化学气相沉积装置，波导组件包括引风管段，用于设置在微波发生器和模式转换器之间，引风管段侧壁上设置有引风通道，用于将引风管段内腔和外界进行连通，还包括风机，与引风通道对接，用于在引风通道处向引风管段内腔中送风，或者从引风管段内腔中吸风，以在波导内腔中形成气流，引风管段内固设有透波挡风板，用于阻挡气流流向微波发生器。工作时，通过风机的送风或吸风，使得外界冷空气能够进入装置内对装置内的核心部件进行冷却，确保装置能够稳定地工作。
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