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公开(公告)号：CN114678244A
公开(公告)日：2022-06-28
申请号：CN202210300281.7
申请日：2022-03-24
申请人： 南开大学
IPC分类号： H01J37/065 , H01J37/29
摘要： 本发明公开了一种超快扫描电子显微镜系统及其应用方法。所述系统包括：扫描电镜，将第一近红外飞秒激光转换为定向聚焦的紫外飞秒激光并经阴极激发产生探测用光电子脉冲的探测激光系统，将第二近红外飞秒激光转换为波长可调的定向聚焦的泵浦用飞秒激光脉冲的泵浦激光系统，对所述探测用光电子脉冲及所述泵浦用飞秒激光脉冲达到待测样品表面的光程差进行调节的光学延迟线，对瞬态二次电子信号进行探测的二次电子探测系统，该系统可在超高时空分辨尺度下实时探测材料表面激发态载流子动力学信息。
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公开(公告)号：CN113658841A
公开(公告)日：2021-11-16
申请号：CN202110911134.9
申请日：2021-08-09
申请人： 南开大学
摘要： 本发明涉及一种实现传输和聚焦超快扫描电子显微镜泵浦光的方法及系统，方法包括：在扫描电子显微镜的极靴下放置抛物面反射镜；外部激光引入扫描电子显微镜入射到抛物面反射镜，通过调节抛物面反射镜的位置和角度，使得激光由抛物面反射镜汇聚到待测样品表面形成圆形光斑，其中，待测样品位于抛物面反射镜的焦点处。本发明提出采用抛物面反射镜来传输和聚焦泵浦激光的方法，抛物面反射镜通过安装在扫描电镜极靴正下方的一个可伸缩的高精度三维电控位移台，可精确调节泵浦飞秒激光到达样品处光斑的直径大小和位置，有效提升超快扫描电子显微镜在微区载流子动力学测量方面的性能。
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公开(公告)号：CN110199374B
公开(公告)日：2021-10-29
申请号：CN201780081345.6
申请日：2017-12-15
申请人： 不列颠哥伦比亚大学 , 小利兰·斯坦福大学董事会
摘要： 提供一种电子束源，其包括形成腔室的容器、设置在腔室内的阴极、设置在腔室中的电极和腔室中的电子发射窗口，所述阴极包括具有各向异性受限导热率的低维导电材料，所述电极可连接到电源用于相对于阴极向电极施加正电压，用于在阴极被电磁(EM)辐射照射使得阴极热电子地发射自由电子时用于加速自由电子离开阴极以形成电子束，所述腔室中的电子发射窗口用于将产生的电子束传递出腔室。还提供了包含电子束源的电子显微镜。
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公开(公告)号：CN108604522B
公开(公告)日：2020-07-14
申请号：CN201680081651.5
申请日：2016-03-28
申请人： 株式会社日立高新技术
摘要： 本发明的目的在于提出一种能够高精度地调整成像光学系统与照射光学系统的带电粒子束装置。为了达到该目的，提出一种带电粒子束装置，其具备成为照射光学系统的第1带电粒子镜筒、使在该第1带电粒子镜筒内经过的带电粒子向对象物偏转的偏转器、以及成为成像光学系统的第2带电粒子镜筒，该带电粒子束装置具备：向对象物照射光的光源；以及控制装置，该控制装置根据基于从该光源放出的光的照射而产生的带电粒子的检测，求出维持某个偏转状态的多个偏转信号，并从该多个偏转信号中选择满足预定条件的偏转信号，或者根据由该多个偏转信号而作出的关系信息来计算满足预定条件的偏转信号。
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公开(公告)号：CN107667411B
公开(公告)日：2020-01-31
申请号：CN201680027869.2
申请日：2016-05-26
申请人： 科磊股份有限公司
摘要： 本发明揭示一种电子源的电子提取器，其能够从接近于所述提取器的空腔吸收污染物材料。所述电子提取器包含主体。所述电子提取器的所述主体由一或多种不可蒸发吸气剂材料形成。所述一或多种不可蒸发吸气剂材料吸收容纳于接近于所述电子提取器的所述主体的区域内的一或多种污染物。所述电子提取器的所述主体进一步经配置以从接近于所述电子提取器的所述主体定位的一或多个发射器提取电子。
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公开(公告)号：CN110199374A
公开(公告)日：2019-09-03
申请号：CN201780081345.6
申请日：2017-12-15
申请人： 不列颠哥伦比亚大学 , 小利兰·斯坦福大学董事会
摘要： 提供一种电子束源，其包括形成腔室的容器、设置在腔室内的阴极、设置在腔室中的电极和腔室中的电子发射窗口，所述阴极包括具有各向异性受限导热率的低维导电材料，所述电极可连接到电源用于相对于阴极向电极施加正电压，用于在阴极被电磁(EM)辐射照射使得阴极热电子地发射自由电子时用于加速自由电子离开阴极以形成电子束，所述腔室中的电子发射窗口用于将产生的电子束传递出腔室。还提供了包含电子束源的电子显微镜。
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公开(公告)号：CN103999186B
公开(公告)日：2016-05-11
申请号：CN201280057813.3
申请日：2012-11-12
申请人： 株式会社日立高新技术 , 东陶机器株式会社
IPC分类号： H01J37/252 , H01J37/244 , H01J37/28 , H01J37/29
CPC分类号： H01J37/244 , H01J37/023 , H01J37/252 , H01J37/261 , H01J37/28 , H01J2237/221 , H01J2237/24415 , H01J2237/24475
摘要： 为了提供能在进行X射线元素分析的预备阶段评价、判别适于X射线分析的样本上的位置、分析者能无返工、短时间地进行确保了高可靠性的分析的带电粒子线装置，在具备X射线检测器的带电粒子线装置中，在与X射线检测器(12(25～30))的X射线检测面同轴上，与X射线检测器(12)一体或独立地配置第1反射电子检测器(15)，同时或个别地由X射线检测器(12)检测X射线信号，由第1反射电子检测器(15)检测反射电子信号。
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公开(公告)号：CN103999186A
公开(公告)日：2014-08-20
申请号：CN201280057813.3
申请日：2012-11-12
申请人： 株式会社日立高新技术 , 东陶机器株式会社
IPC分类号： H01J37/252 , H01J37/244 , H01J37/28 , H01J37/29
CPC分类号： H01J37/244 , H01J37/023 , H01J37/252 , H01J37/261 , H01J37/28 , H01J2237/221 , H01J2237/24415 , H01J2237/24475
摘要： 为了提供能在进行X射线元素分析的预备阶段评价、判别适于X射线分析的样本上的位置、分析者能无返工、短时间地进行确保了高可靠性的分析的带电粒子线装置，在具备X射线检测器的带电粒子线装置中，在与X射线检测器(12(25～30))的X射线检测面同轴上，与X射线检测器(12)一体或独立地配置第1反射电子检测器(15)，同时或个别地由X射线检测器(12)检测X射线信号，由第1反射电子检测器(15)检测反射电子信号。
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公开(公告)号：CN1910725A
公开(公告)日：2007-02-07
申请号：CN200580002507.X
申请日：2005-01-13
发明人： 兼松惠理
CPC分类号： H01J37/29 , H01J37/045 , H01J37/153 , H01J2237/1538 , H01J2237/24592
摘要： 从阴极1发出的照明束4入射到偏转器3上。在对偏转器3施加电压的状态下，由偏转器3改变照明束4的光路；然后，照明束4穿过公共电子光学系统7，并对样品6的表面照明。在不对偏转器3施加电压的情况下，照明束4直接穿过偏转器3，并被电子吸收板17吸收。照明束4在穿过公共电子光学系统7时衰减，以致于该电子束4在到达样品6表面的时间点的能量接近于0eV。当照明束4入射到样品6上时，从样品6产生反射电子8。这些反射电子8穿过公共电子光学系统7，而且，在不对偏转器3施加电压的情况下，这些反射电子8穿过图像聚焦电子光学系统9，使得电子投射到MCP探测器10上。
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公开(公告)号：CN219144114U
公开(公告)日：2023-06-06
申请号：CN202223610854.0
申请日：2022-12-30
申请人： 广东粤港澳大湾区国家纳米科技创新研究院
IPC分类号： H01J37/28 , H01J37/29 , H01J37/065 , H01J37/20 , H01J37/22
摘要： 本实用新型公开了一种压差光阑及电子显微镜，该压差光阑用于电子显微镜，包括光阑片以及石墨烯膜，其中，光阑片上设置有光阑孔，光阑孔用于限制气体通过以及用于电子束穿过，石墨烯膜设置于光阑片上，且覆盖光阑孔，石墨烯膜用于阻止气体通过以及用于电子束穿过。该压差光阑能够有效简化电子显微镜的结构以及提高电子显微镜的操作便捷性。
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