薄膜状部件支撑设备
    31.
    发明公开

    公开(公告)号:CN106415814A

    公开(公告)日:2017-02-15

    申请号:CN201580022639.2

    申请日:2015-04-17

    Abstract: 将薄膜状部件通过真空吸引支撑为平面形状。多个提升销以平面构造配置且支承置于它们上端上方的薄膜状部件。用于通过真空吸引保持薄膜状部件的由橡胶制成的管状吸盘附接于提升销的上部。提升销的高度可以利用螺纹紧固机构来而调整。通过来自吸盘的吸引,薄膜状部件的变形可被校正为平面状或凹入弯曲状。在不能只通过吸引来校正时,可通过从喷嘴喷射空气来对校正进行补充。

    发光器件的制造方法
    34.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101339978B

    公开(公告)日:2012-07-11

    申请号:CN200810128264.X

    申请日:2008-07-04

    CPC classification number: H01L51/001 C23C14/048 H01L51/0013 H01L51/50

    Abstract: 本发明的目的在于提供一种发光器件的制造方法,其中使用多个蒸镀材料容易形成所希望的包含不同蒸镀材料的层,并且所述发光器件包括所述包含不同蒸镀材料的层。本发明的发光器件通过如下步骤制造:在第一衬底上层叠分别包含不同的蒸镀材料的多个层;在与第一衬底相对的位置设置包括第一电极的第二衬底;通过加热在第一衬底上的包含蒸镀材料的多个层,在提供在第二衬底上的第一电极上形成包含不同蒸镀材料的层;在包含不同蒸镀材料的层上形成第二电极。

    薄膜状部件支撑设备
    38.
    发明授权

    公开(公告)号:CN106415814B

    公开(公告)日:2019-10-11

    申请号:CN201580022639.2

    申请日:2015-04-17

    Abstract: 将薄膜状部件通过真空吸引支撑为平面形状。多个提升销以平面构造配置且支承置于它们上端上方的薄膜状部件。用于通过真空吸引保持薄膜状部件的由橡胶制成的管状吸盘附接于提升销的上部。提升销的高度可以利用螺纹紧固机构来而调整。通过来自吸盘的吸引,薄膜状部件的变形可被校正为平面状或凹入弯曲状。在不能只通过吸引来校正时,可通过从喷嘴喷射空气来对校正进行补充。

    叠层体的衬底剥离设备
    39.
    发明授权

    公开(公告)号:CN106256013B

    公开(公告)日:2019-09-24

    申请号:CN201580022803.X

    申请日:2015-04-21

    Abstract: 在第二衬底(22)的角部(221)将楔形器具(6)插入第一衬底(21)与第二衬底(22)之间的间隙,且开始进行贴合了的第一衬底(21)与第二衬底(22)的剥离,然后,离角部(221)最近的第二吸附部(51)的第二吸盘(53)向上移动。接着,第一吸附部(41a)、(41b)、以及(41c)的第一吸盘(43)依次向上移动,由此,从叠层体剥离第二衬底(22)的一边。虽然在第二衬底(22)的剥离进行时,第二衬底(22)卷曲,但是,多个第一吸盘(43)中的各个弹性变形。因此,可以防止第一吸盘(43)的从第二衬底(22)解除吸附,且可以可靠地从叠层体剥离衬底(22)。

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