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公开(公告)号:CN106415814A
公开(公告)日:2017-02-15
申请号:CN201580022639.2
申请日:2015-04-17
Applicant: 株式会社半导体能源研究所
IPC: H01L21/683
Abstract: 将薄膜状部件通过真空吸引支撑为平面形状。多个提升销以平面构造配置且支承置于它们上端上方的薄膜状部件。用于通过真空吸引保持薄膜状部件的由橡胶制成的管状吸盘附接于提升销的上部。提升销的高度可以利用螺纹紧固机构来而调整。通过来自吸盘的吸引,薄膜状部件的变形可被校正为平面状或凹入弯曲状。在不能只通过吸引来校正时,可通过从喷嘴喷射空气来对校正进行补充。
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公开(公告)号:CN103416106A
公开(公告)日:2013-11-27
申请号:CN201280012940.1
申请日:2012-02-15
Applicant: 株式会社半导体能源研究所
CPC classification number: H01L51/56 , H01L51/0022 , H01L51/5212 , H01L51/5228 , H01L2251/5315 , H01L2251/5323 , H01L2251/5361
Abstract: 本发明提供高度可靠的发光元件,其中,即使当设置用于上电极的辅助电极时,仍然降低对EL层的损伤。此外,提供亮度不均匀受到抑制的高度可靠的发光器件。发光元件包含第一电极;第一电极上的绝缘层;绝缘层上的在表面上具有凸部及凹部的辅助电极;第一电极及辅助电极上的含有发光有机化合物的层;以及含有发光有机化合物的层上的第二电极。辅助电极的至少一部分电连接于第二电极。
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公开(公告)号:CN101471423B
公开(公告)日:2012-12-26
申请号:CN200810190684.0
申请日:2008-12-26
Applicant: 株式会社半导体能源研究所
CPC classification number: H01L51/0013 , C23C14/048 , H01L27/3244
Abstract: 本发明提供一种蒸镀用衬底,该蒸镀用衬底在通过蒸镀法进行成膜的情况下,可以只蒸镀所希望的蒸镀材料,提高蒸镀材料的利用效率,从而可以降低制造成本,并且可以形成均匀性高的膜。本发明为一种蒸镀用衬底,该蒸镀用衬底可以进行控制,以对应于进行蒸镀时照射到蒸镀用衬底上的激光的波长地将激光选择性地照射到同一个衬底上的所希望的位置。具体而言,本发明为一种蒸镀用衬底,该蒸镀用衬底形成有在进行蒸镀时照射波长为400nm以上且600nm以下的激光时反射激光的区域和吸收激光的区域。
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公开(公告)号:CN101339978B
公开(公告)日:2012-07-11
申请号:CN200810128264.X
申请日:2008-07-04
Applicant: 株式会社半导体能源研究所
IPC: H01L51/56
CPC classification number: H01L51/001 , C23C14/048 , H01L51/0013 , H01L51/50
Abstract: 本发明的目的在于提供一种发光器件的制造方法,其中使用多个蒸镀材料容易形成所希望的包含不同蒸镀材料的层,并且所述发光器件包括所述包含不同蒸镀材料的层。本发明的发光器件通过如下步骤制造:在第一衬底上层叠分别包含不同的蒸镀材料的多个层;在与第一衬底相对的位置设置包括第一电极的第二衬底;通过加热在第一衬底上的包含蒸镀材料的多个层,在提供在第二衬底上的第一电极上形成包含不同蒸镀材料的层;在包含不同蒸镀材料的层上形成第二电极。
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公开(公告)号:CN101271869A
公开(公告)日:2008-09-24
申请号:CN200810086861.0
申请日:2008-03-17
Applicant: 株式会社半导体能源研究所
CPC classification number: H01L33/08 , H01L27/3244 , H01L27/3281 , H01L51/5036 , H01L51/5048 , H01L51/5265 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 本发明涉及一种发光器件的制造方法,实现使用多种发光元件而成的全彩色发光器件,在所述多种发光元件中,在一对电极之间设置具有通过液滴喷射装置选择性地形成的第一材料层和使用在表面形成包含有机化合物的层的导电表面板块通过蒸镀法形成的第二材料层的叠层。另外,第一材料层是混合存在有机化合物和作为无机化合物的金属氧化物的层。通过分别调节根据发光颜色不同的发光元件的第一材料层的厚度,可以利用光的干扰现象选择性地强调白色发光成分中的蓝色发光成分、绿色发光成分、或红色发光成分来取光。
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公开(公告)号:CN107111970B
公开(公告)日:2021-08-13
申请号:CN201580059162.5
申请日:2015-10-15
Applicant: 株式会社半导体能源研究所
IPC: G09F9/00 , G02F1/1333 , G02F1/1368 , G09F9/30 , H01L21/336 , H01L27/32 , H01L29/786 , H01L51/50 , H05B33/02 , H05B33/04 , H05B33/10 , H05B33/12 , H05B33/22
Abstract: 提供一种外围电路部的工作稳定性高的显示装置。本发明的一个方式是一种显示装置包括第一衬底以及第二衬底。在第一衬底的第一面上设置有第一绝缘层。在第二衬底的第一面上设置有第二绝缘层。第一衬底的第一面与第二衬底的第一面相对。在第一绝缘层与第二绝缘层之间设置有粘合层。在第一衬底及第二衬底的边缘部附近形成有与第一衬底、第一绝缘层、粘合层、第二绝缘层、第二衬底接触的保护膜。
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公开(公告)号:CN104425319B
公开(公告)日:2019-12-10
申请号:CN201410436403.0
申请日:2014-08-29
Applicant: 株式会社半导体能源研究所
Abstract: 本发明涉及支撑体供应装置、叠层体制造装置。本发明的一个方式的目的之一是提供一种具有清洁的表面的支撑体的供应装置。或者,本发明的目的之一是提供一种叠层体制造装置,该叠层体具备表面被剥离的加工构件的剩余部及支撑体。上述装置包括对准部、切口形成部及剥离部。对准部包括具备支撑体及隔膜的叠层膜的第一传送机构及固定叠层膜的工作台。切口形成部包括形成残留有隔膜的切口的刀具。剥离部包括第二传送机构及在拉长隔膜后将其剥离的剥离机构。此外,装置包括使支撑体的表面活化的预处理部。
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公开(公告)号:CN106415814B
公开(公告)日:2019-10-11
申请号:CN201580022639.2
申请日:2015-04-17
Applicant: 株式会社半导体能源研究所
IPC: H01L21/683
Abstract: 将薄膜状部件通过真空吸引支撑为平面形状。多个提升销以平面构造配置且支承置于它们上端上方的薄膜状部件。用于通过真空吸引保持薄膜状部件的由橡胶制成的管状吸盘附接于提升销的上部。提升销的高度可以利用螺纹紧固机构来而调整。通过来自吸盘的吸引,薄膜状部件的变形可被校正为平面状或凹入弯曲状。在不能只通过吸引来校正时,可通过从喷嘴喷射空气来对校正进行补充。
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公开(公告)号:CN106256013B
公开(公告)日:2019-09-24
申请号:CN201580022803.X
申请日:2015-04-21
Applicant: 株式会社半导体能源研究所
Abstract: 在第二衬底(22)的角部(221)将楔形器具(6)插入第一衬底(21)与第二衬底(22)之间的间隙,且开始进行贴合了的第一衬底(21)与第二衬底(22)的剥离,然后,离角部(221)最近的第二吸附部(51)的第二吸盘(53)向上移动。接着,第一吸附部(41a)、(41b)、以及(41c)的第一吸盘(43)依次向上移动,由此,从叠层体剥离第二衬底(22)的一边。虽然在第二衬底(22)的剥离进行时,第二衬底(22)卷曲,但是,多个第一吸盘(43)中的各个弹性变形。因此,可以防止第一吸盘(43)的从第二衬底(22)解除吸附,且可以可靠地从叠层体剥离衬底(22)。
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公开(公告)号:CN107731716A
公开(公告)日:2018-02-23
申请号:CN201710952085.7
申请日:2014-08-11
Applicant: 株式会社半导体能源研究所
CPC classification number: B32B43/006 , B26D1/04 , B26D2001/006 , B32B38/10 , B32B2457/00 , G02B6/00 , H01L21/67092 , H01L27/1248 , H01L27/3258 , H01L27/3262 , H01L51/56 , H01L2221/68327 , H01L2227/323 , H01L2251/5338 , Y10T156/1126 , Y10T156/1132 , Y10T156/1168 , Y10T156/1184 , Y10T156/1933 , Y10T156/1944 , Y10T156/1961 , Y10T156/1967
Abstract: 提供一种叠层体的加工装置。该层叠体的加工装置包括:固定包括一对衬底的叠层体的固定机构;固定所述一对衬底中的一个的多个吸附器具;以及插在所述一对衬底的间隙的楔形器具,其中,所述多个吸附器具的每一个包括沿垂直方向及水平方向独立地移动的机构。
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