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公开(公告)号：CN101868692B
公开(公告)日：2013-01-02
申请号：CN200880116117.9
申请日：2008-10-02
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G01C19/5719
CPC classification number: G01C19/574 , F16F1/025 , G01C19/5747 , G01P3/44
Abstract: 本发明涉及一种偏航率传感器，具有衬底和多个可运动的部分结构，所述可运动的部分结构设置在所述衬底的表面上方，其中，所述可运动的部分结构与一个共同的、尤其是中央弹簧元件耦合，设有用于激励所述可运动的部分结构在与所述衬底的表面平行的平面中作耦合的振动的器件，所述可运动的部分结构具有科氏元件，设有用于验证所述科氏元件的由科氏力引起的偏移的器件，设有用于检测绕第一轴的偏航率的第一科氏元件，设有用于检测绕第二轴的偏航率的第二科氏元件，所述第二轴与所述第一轴垂直地定向。
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公开(公告)号：CN102073022A
公开(公告)日：2011-05-25
申请号：CN201010541690.3
申请日：2010-11-08
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
CPC classification number: G01R33/0286
Abstract: 本发明涉及一种磁强计，它包括基底(1)、设置在基底(1)上的点支承(2)、在点支承(2)上可倾斜地支承的振动结构(3)和用于确定振动结构(3)相对于基底(1)的倾斜的检测器(5)。在此该振动结构(3)具有以至少一圈围绕振动结构(3)的支承点(P)导引的电导线(4)。本发明还涉及一种用于通过这种磁强计测量磁通密度的方法。
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公开(公告)号：CN101855515A
公开(公告)日：2010-10-06
申请号：CN200780101448.0
申请日：2007-11-08
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
CPC classification number: G01C19/5712
Abstract: 本发明涉及一种转速传感器，包括：一个衬底(10)，一个支承件(20)，一个借助弹簧(30)可旋转运动地悬置在该支承件(20)上的、用于执行平面驱动振荡运动的振荡结构(40)，用于产生所述振荡结构(40)的所述平面驱动振荡运动的驱动装置。本发明的核心在于：该转速传感器具有用于检测在第一旋转轴上的旋转的第一分析处理装置及用于检测在第二旋转轴上的旋转的第二分析处理装置。
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公开(公告)号：CN102192734B
公开(公告)日：2016-06-15
申请号：CN201110054573.9
申请日：2011-03-08
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G01C19/5621
CPC classification number: G01C19/5621
Abstract: 本发明涉及转速传感器装置（10），它具有音叉状构造的振动装置（12），后者基本上平行于相互布设的可以振动的臂（16，18），具有与臂（16，18）的各个端部（24）连接的柔性基本部分（26），该基本部分可以使臂（16，18）沿着其平行布置的轴线（30，32）相反移动，还有平行或者反向平行于可以振动的臂（16，18）的指示臂（38），用于指示出相反的移动，其端部（42）同样也与基本部分（26）连接。规定使转速传感器装置（10）具有至少一个另外的指示臂（40），这臂反向平行于这指示臂（38）。本发明还涉及一种用于得到转速的方法。
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公开(公告)号：CN103370189B
公开(公告)日：2016-04-27
申请号：CN201280008220.8
申请日：2012-01-31
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Inventor： A·弗兰克
IPC: B31B1/00
Abstract: 在用于将纸板的扁平下料毛坯（46）成形为容器（48）的装置中，该装置包括一个成形模具（50）和一个在主成形方向（z）上可运动到成形模具（50）中的冲模（10），该冲模用于通过成形模具（50）对扁平下料毛坯整形，在冲模（10）上铰接至少两个围绕各一个横向于主成形方向（z）的摆动轴线（s）可摆动的侧壁（18），由此一个通过侧壁（18）的自由端棱（19）限界的基面是可调节的。为了执行摆动运动，所述侧壁（18）借助以拉力预紧的弹簧元件（22，24）力锁合地滑动地贴靠在楔形元件（28）上所述楔形元件能够在主成形方向（z）上移动。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102095894B
公开(公告)日：2015-05-06
申请号：CN201010559016.8
申请日：2010-11-22
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G01P21/00
CPC classification number: G01P15/125 , G01P15/18 , G01P21/00 , G01P2015/082
Abstract: 本发明提出用于校准加速度传感器的方法和加速度传感器，该加速度传感器具有衬底和振动质量，其中，该加速度传感器在第一侧面上具有固定在衬底上的第一和另外的第一电极，在第一和另外的第一电极之间设有振动质量的反电极，其中，该加速度传感器在第二侧面上具有另外的第二电极并且在与第二侧面相对置的第四侧面具有另外的第四电极，其中，在第一步骤中将基本上相同的第一激励电压施加到第一和另外的第一电极上以激励出振动质量沿着第一方向的第一偏移，其中，在第二步骤中通过将第一补偿电压施加到另外的第二和另外的第四电极上来补偿该第一偏移。
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公开(公告)号：CN102812375A
公开(公告)日：2012-12-05
申请号：CN201180014988.1
申请日：2011-02-07
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G01R33/028
CPC classification number: G01R33/0286 , Y10T29/49002
Abstract: 本发明公开了一种微机电系统（MEMS）。所述MEMS包括：基底；从基底向上延伸的第一枢轴；第一杆件臂，其随着第一纵向轴线在基底之上延伸，且可枢转地安装到第一枢轴以绕第一枢转轴线枢转；第一电容器层，其在第一杆件臂的第一电容器部分之下的位置形成在基底上；第二电容器层，其在第一杆件臂的第二电容器部分之下的位置形成在基底上，其中第一枢轴在沿着第一纵向轴线的第一电容器部分和第二电容器部分之间的位置支撑着第一杆件臂；以及第一导体部件，其延伸经过第一纵向轴线，且与第一枢转轴线分隔开。
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公开(公告)号：CN102530837A
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN201110461879.6
申请日：2011-11-23
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: B81C1/00
CPC classification number: B81C1/00777
Abstract: 本发明涉及一种用于制造微机械组件的方法。所述方法包括：提供一衬底(100)，所述衬底具有设置在所述衬底(100)上的层状布置，所述层状布置包括绝缘材料(110)、导电层区段(120)和与所述导电层区段(120)连接的保护层结构(130)，所述保护层结构包围所述绝缘材料(110)的一个区段。所述方法还包括实施用于去除所述绝缘材料(110)的一部分的各向同性蚀刻工艺，其中，所述导电层区段(120)和所述保护层结构(130)防止去除所述绝缘材料(110)的被包围的区段，其中，构造一结构元件(181，183)，所述结构元件包括所述导电层部分(120)、所述保护层结构(130)和所述绝缘材料(110)的被包围的区段。
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公开(公告)号：CN102362152A
公开(公告)日：2012-02-22
申请号：CN201080013712.7
申请日：2010-01-28
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
CPC classification number: G01C19/5755
Abstract: 本发明涉及一种用于共振地驱动微机械系统的装置，包括：至少一个被弹簧振动式支承的感振质量；至少一个用于驱动所述感振质量振动的驱动装置；和至少一个与所述感振质量运动耦合的元件。该装置还包括至少一个用于检测随所述感振质量的振动变化的、在运动耦合的元件与检测元件之间的关系参数的检测元件，其中，所述检测元件被设置用于在达到所述关系参数的一预给定的值时引起振动驱动装置的中断。
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公开(公告)号：CN102164847A
公开(公告)日：2011-08-24
申请号：CN200980137768.0
申请日：2009-09-15
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
CPC classification number: B81C1/00238 , B81B2207/012 , B81C2203/0118 , B81C2203/019 , B81C2203/038 , H01L24/94 , H01L2224/81801 , H01L2924/00013 , H01L2924/01005 , H01L2924/01006 , H01L2924/01013 , H01L2924/01024 , H01L2924/01029 , H01L2924/01032 , H01L2924/01033 , H01L2924/01049 , H01L2924/01058 , H01L2924/01079 , H01L2924/01082 , H01L2924/01322 , H01L2924/01327 , H01L2924/14 , H01L2924/1433 , H01L2924/1461 , H01L2224/13099 , H01L2224/13599 , H01L2224/05599 , H01L2224/05099 , H01L2224/29099 , H01L2224/29599 , H01L2924/00
Abstract: 一种用于在第一晶片（1）和第二晶片（4）之间建立间隔的、导电的并且优选气密的连接的接触装置（3a，3b），其中接触装置（3a，3b）包括电连接接触部（30）、在连接接触部（30）上的钝化层（31）和设置在钝化层（31）上的介电间隔层（32），并且其中接触装置（3a，3b）至少设置在晶片（1，4）之一上。该接触装置的特征在于，接触装置（3a，3b）包括以能够形成金属-金属化合物的第一材料（33，36）来至少部分地填充的沟槽（34），其中所述沟槽（34）是从间隔层（32）穿过钝化层（31）直到连接接触部（30）的连续的沟槽，并且第一材料（33，36）在沟槽（34）中从连接接触部（30）设置直到沟槽的上边缘。
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