公开(公告)号：CN100565211C

公开(公告)日：2009-12-02

申请号：CN200480038743.2

申请日：2004-12-24

申请人： 日立金属株式会社

发明人： 武枪德久 ,  池田由夫

IPC分类号： G01P15/12 ,  G01P15/18

CPC分类号： G01P15/18 ,  G01P15/123 ,  G01P2015/084 ,  G01P2015/0842

摘要： 提供一种半导体型三轴加速度传感器，其抗冲击性高，X轴、Y轴和Z轴压电电阻输出之间的差异小，尺寸小，灵敏度高，输出高。挠性臂由挠性加宽部分和挠性平行部分构成。挠性加宽部分具有最大应力部分。压电电阻排列在挠性臂的上表面上以使压电电阻的一端位于最大应力部分。Z轴压电电阻的位置靠近挠性臂的宽度中心线，而X轴和Y轴压电电阻远离宽度中心线。而且，Z轴压电电阻沿着挠性臂的长度方向从最大应力部分移动以减小X轴、Y轴和Z轴压电电阻之间的输出差。

公开(公告)号：CN100444422C

公开(公告)日：2008-12-17

申请号：CN200410078054.6

申请日：2004-09-20

申请人： 株式会社东芝

发明人： 松尾美惠

IPC分类号： H01L41/08 ,  H01L41/22 ,  H01L21/00 ,  B81B7/00

CPC分类号： B81C1/0023 ,  B81C1/00095 ,  G01L9/0019 ,  G01P15/0802 ,  G01P15/0922 ,  G01P15/18 ,  G01P2015/084 ,  H01L21/76898 ,  H01L37/02 ,  H01L41/1132 ,  H01L41/316 ,  H01L41/332 ,  H01L2224/16225 ,  H03H3/02 ,  H03H9/105 ,  H03H9/174

摘要： 一种电子元件，包括半导体衬底，具有第一表面和与第一表面相反的第二表面，腔，从半导体衬底的第一表面穿透到第二表面，以及机电组件，具有可动部分，在半导体衬底的第一表面上形成机电组件以便将可动部分设置在腔上。该电子元件还包括导电塞，从半导体衬底的第一表面穿透到第二表面，并电连接到机电组件。

公开(公告)号：CN101236214A

公开(公告)日：2008-08-06

申请号：CN200810004687.0

申请日：2008-01-22

申请人： 雅马哈株式会社 ,  国立大学法人东京工业大学

发明人： 服部敦夫 ,  中村健太郎

IPC分类号： G01P15/00 ,  G01P15/08 ,  G01L1/10

CPC分类号： G01C19/56 ,  G01P15/0802 ,  G01P15/0922 ,  G01P15/18 ,  G01P2015/084

摘要： 本发明公开了一种运动传感器、采用该运动传感器的加速计、采用该运动传感器的倾斜传感器、采用该运动传感器的压力传感器和采用该运动传感器的触觉控制器。该运动传感器可以包括但不限于基板、梁、重物、压电膜和第一电极。梁由基板支撑。梁是可弹性变形的。重物连接到梁。压电膜遵循梁至少一部分并且沿其延伸。压电膜可以包括但不限于有机压电膜。第一电极设置在压电膜上。

公开(公告)号：CN101057148A

公开(公告)日：2007-10-17

申请号：CN200580038065.4

申请日：2005-10-14

申请人： 日立金属株式会社

发明人： 坂口勇夫

IPC分类号： G01P15/12

CPC分类号： G01P1/023 ,  G01P15/123 ,  G01P15/18 ,  G01P2015/084

摘要： 本发明提供一种加速度传感器装置，包括：加速度传感器芯片，具有质量部分、支撑框架和顶面上具有压电电阻器的挠性臂；以及具有IC电路的上部调节板，其面积大于支撑框架并且粘接在支撑框架的顶面上，其中，加速度传感器芯片和上部调节板位于具有盖的保护壳内。调节板从支撑框架的外壁突出，利用该突出来隔开在保护壳内容纳芯片的空间，阻止调节板上方和下方的空气流通，从而在设置在挠性臂的顶面上的压电电阻器之间使由IC电路导致的温度上升保持均匀，从而减小偏移电压。

公开(公告)号：CN1926434A

公开(公告)日：2007-03-07

申请号：CN200580006749.6

申请日：2005-02-14

申请人： 松下电器产业株式会社

发明人： 寺田二郎 ,  中谷将也 ,  石田贵巳

IPC分类号： G01P15/10 ,  G01P15/18

CPC分类号： G01P15/09 ,  G01P15/097 ,  G01P15/18 ,  G01P2015/084

摘要： 本发明涉及振动型压电加速度传感器，其包括以下元件：成直线地对向配置于框架的一组振动膜；支承该振动膜的支承体；保持该支承体于直线方向自由滑动的保持部；以及与所述一组振动膜正交的另一组振动膜成直线地对向配置，并检测X、Y方向两轴的加速度，由此结构，由于通过保持部传送至支承体的加速度，振动膜发生伸缩且固有振动频率发生改变，从而可检测加速度并得到较高的共振频率的变化率，且可不受温度变化的影响而检测两轴加速度。

公开(公告)号：CN1905168A

公开(公告)日：2007-01-31

申请号：CN200610077373.4

申请日：2006-04-29

申请人： 冲电气工业株式会社

发明人： 猪野好彦

IPC分类号： H01L23/10 ,  H01L23/29 ,  H01L21/52 ,  C09J201/04 ,  C09J183/00 ,  C09K3/10

CPC分类号： G01P15/18 ,  G01P1/023 ,  G01P15/123 ,  G01P2015/084 ,  H01L2224/73265 ,  H01L2224/83191 ,  H01L2224/92247

摘要： 本发明的课题是提供当热传递到封装时也能够稳定地工作的半导体器件及其制造方法以及在其中所使用的粘接材料及其制造方法。半导体加速度传感器(1)在内部具有空腔(21c)，由用下部容器(21)和上部盖(25)构成的封装、半导体加速度传感器芯片(10)和添加了作为薄片状的金属片的粒子(31b)的硅酮树脂等的弹性率比较低的树脂(31a)构成，具备将半导体加速度传感器芯片(10)固定在空腔(21c)内部的粘接部(31)。

公开(公告)号：CN1905167A

公开(公告)日：2007-01-31

申请号：CN200610077372.X

申请日：2006-04-29

申请人： 冲电气工业株式会社

发明人： 武政宪吾

IPC分类号： H01L23/10 ,  H01L41/08 ,  H01L41/053 ,  G01P15/00 ,  G01P15/09

CPC分类号： G01P15/123 ,  G01P1/006 ,  G01P1/023 ,  G01P15/0802 ,  G01P15/18 ,  G01P2015/084 ,  H01L2224/49171 ,  H01L2224/73265

摘要： 本发明提供即使热或应力传导到封装、也能够进行稳定的工作的半导体器件。本发明的半导体加速度传感器器件(1)，具有：内部具有空腔(21c)、由下部容器(21)和上部盖(25)构成的封装，半导体加速度传感器芯片(10)，在上表面的芯片搭载区域(32a)上固定有半导体加速度传感器芯片(10)的衬垫(32)，以及粘接衬垫(32)的下表面的、芯片搭载区域(32a)下方以外的区域和空腔(21c)的底面(21a)的粘接部(33)。

公开(公告)号：CN1898571A

公开(公告)日：2007-01-17

申请号：CN200480038743.2

申请日：2004-12-24

申请人： 日立金属株式会社

发明人： 武枪德久 ,  池田由夫

IPC分类号： G01P15/12 ,  G01P15/18

CPC分类号： G01P15/18 ,  G01P15/123 ,  G01P2015/084 ,  G01P2015/0842

摘要： 提供一种半导体型三轴加速度传感器，其抗冲击性高，X轴、Y轴和Z轴压电电阻输出之间的差异小，尺寸小，灵敏度高，输出高。挠性臂由挠性加宽部分和挠性平行部分构成。挠性加宽部分具有最大应力部分。压电电阻排列在挠性臂的上表面上以使压电电阻的一端位于最大应力部分。Z轴压电电阻的位置靠近挠性臂的宽度中心线，而X轴和Y轴压电电阻远离宽度中心线。而且，Z轴压电电阻沿着挠性臂的长度方向从最大应力部分移动以减小X轴、Y轴和Z轴压电电阻之间的输出差。

公开(公告)号：CN1851474A

公开(公告)日：2006-10-25

申请号：CN200610004152.4

申请日：2006-02-20

申请人： 日立金属株式会社

发明人： 井上秀树 ,  鹈沼宗利 ,  阿部泰典 ,  斋藤正胜

IPC分类号： G01P15/00 ,  G11B19/04 ,  G11B21/12

CPC分类号： G01P3/22 ,  G01P15/0891 ,  G01P15/18 ,  G01P2015/084 ,  G11B19/04 ,  H04M2250/12

摘要： 本发明提供一种下落检测装置，可以检测伴随有旋转的下落。其根据加速度检测部输出的加速度信号的波形、或者角速度检测部输出的角速度信号来检测伴随有旋转的下落。此外，根据加速度检测部检测的加速度和角速度检测部检测的角速度算出保护对象机器的重心点加速度。由此，即使在保护对象机器旋转下落的情况下，也可以通过所检测的加速度或者角速度检测机器的下落。此外，通过运算不受旋转影响的重心点加速度，即使保护对象机器旋转也可以高精度地检测机器的下落。

公开(公告)号：CN1793936A

公开(公告)日：2006-06-28

申请号：CN200510107009.3

申请日：2005-09-30

申请人： 冲电气工业株式会社

发明人： 池上尚克

IPC分类号： G01P15/08 ,  G01P15/12 ,  G01P15/18 ,  H01L29/84

CPC分类号： B81B3/0051 ,  B81B7/0012 ,  B81B2201/0235 ,  G01P1/023 ,  G01P15/0802 ,  G01P15/123 ,  G01P15/18 ,  G01P2015/084 ,  G01P2015/0842

摘要： 本发明涉及一种用简单的制造方法提高耐冲击性的加速度传感器，该加速度传感器包括：挠性地支承锤固定部(13)的周边固定部(12)；固定在锤固定部(13)上的锤部(23)；为了与外壳底部(61)等传感器搭载部隔开规定间隔地配置该锤部(23)、而将周边固定部(12)固定在上述传感器搭载部上的台座部(21)；配置在与上述传感器搭载部对置的位置、用于限制锤部(23)位移的止动部(15)。在止动部(15)等上，利用分配器(dispenser)等，按一定量直接涂敷有固化性的弹性粘接剂(例如从液体固化为弹性体的硅类橡胶(50)等)。因此，施加在止动部(15)上的冲击力等通过弹性粘接剂吸收并抑制，加强了止动部(15)，提高了耐冲击性等的机械强度。