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公开(公告)号：CN102037371B
公开(公告)日：2015-11-25
申请号：CN200980118535.6
申请日：2009-05-20
申请人： 光子动力学公司
IPC分类号： G01R31/308
CPC分类号： G01R31/308 , G09G3/006
摘要： 提供了前侧照射装置及方法，一般而言使得在单元组装步骤之前在阵列测试步骤中能够检测a-Si残留物的缺陷。在未暴露给光的情况下，a-Si具有高电阻率，使得在常规TFT阵列测试过程中难以检测。另一方面，当以光照射a-Si残留物时，其电阻率减小，这继而改变TFT阵列单元的电特性，这可利用电压成像光学系统(VIOS)进行检测。在一实施方案中，使得TFT阵列单元暴露在光脉冲的照射下，以在利用VIOS进行的测试期间，影响TFT面板的顶侧。在一实施方案中，前侧照射沿着与VIOS中用于电压成像之照射相同的路径行进。在另一实施方案中，用于前侧照射的(多个)光源位于紧靠VIOS的调制器附近的位置。
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公开(公告)号：CN103878485A
公开(公告)日：2014-06-25
申请号：CN201310594212.2
申请日：2007-05-14
IPC分类号： B23K26/351 , B23K26/046 , B23K26/06
CPC分类号： B23K26/046 , B23K26/048 , B23K26/0613 , B23K26/351 , G02F1/136259
摘要： 一种设备，包括：集成检查、材料去除和材料沉积功能。该设备沿着相同光轴执行检查、材料去除和材料沉积的操作。该设备部分地包括：一个照相机、一组透镜，以及一个或多个激光器。第一透镜用于经历检查时在目标基板上形成的结构上使照相机沿着光轴聚焦。如果确认为被检查结构为需要去除材料，则第一透镜还用于将激光束聚焦到该结构上以便去除其上出现的材料。如果确认被检查结构为需要材料沉积，则第二透镜用于将激光束聚焦到色带上以便从色带中形成的凹陷阱中将流变化合物转移到该结构。
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公开(公告)号：CN102203625B
公开(公告)日：2014-04-09
申请号：CN200980142437.6
申请日：2009-09-24
申请人： 光子动力学公司
IPC分类号： G01R31/308
CPC分类号： G09G3/006
摘要： 为了确定平板显示器的像素位置，向平板显示器的栅极线和数据线施加信号，而不激励像素。栅极线和数据线具有与板像素相同的周期或间距，但是因为栅极线和数据线具有比摄像机像素更窄的尺寸，所以它们提供更锐利更清楚的信号。栅极线和数据线的相交处提供了关于像素的位置的信息。像素位置随后用于产生动态像素图。增强的计算技术使用像素位置来确定成像传感器头的放大率以及板像素平面相对于所述成像传感器头的像素平面的旋转和偏移的程度。
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公开(公告)号：CN101821111B
公开(公告)日：2013-08-14
申请号：CN200880111559.4
申请日：2008-08-27
申请人： 光子动力学公司 , 由海军部长代表的美利坚合众国
CPC分类号： C23C14/28 , H05K3/046 , H05K3/225 , H05K2203/0528 , H05K2203/107
摘要： 激光印花转印被用于通过引导非常低能量的激光脉冲在靶衬底的后面照射覆盖该靶前表面的高粘性流变流体薄层的一个区域来产生薄膜特征。通过以该激光束为中心的光圈来成形和限定被照射的区域。该印花转印处理允许与激光辐射区域的形状和尺寸相同的均匀连续层从靶衬底释放并转印到接收衬底。释放层几乎不改变其最初尺寸和形状越过间隙被转印。所得到的转印到接收衬底上的图案在厚度和形态上高度均匀，具有清晰的边缘特征并且表现出高度附着性，与接收衬底的表面能、湿润或疏水性无关。
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公开(公告)号：CN102203625A
公开(公告)日：2011-09-28
申请号：CN200980142437.6
申请日：2009-09-24
申请人： 光子动力学公司
IPC分类号： G01R31/308
CPC分类号： G09G3/006
摘要： 为了确定平板显示器的像素位置，向平板显示器的栅极线和数据线施加信号，而不激励像素。栅极线和数据线具有与板像素相同的周期或间距，但是因为栅极线和数据线具有比摄像机像素更窄的尺寸，所以它们提供更锐利更清楚的信号。栅极线和数据线的相交处提供了关于像素的位置的信息。像素位置随后用于产生动态像素图。增强的计算技术使用像素位置来确定成像传感器头的放大率以及板像素平面相对于所述成像传感器头的像素平面的旋转和偏移的程度。
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公开(公告)号：CN100520379C
公开(公告)日：2009-07-29
申请号：CN200310103440.1
申请日：2003-11-03
申请人： 光子动力学公司
IPC分类号： G01N21/956 , G06T7/00
摘要： 本发明公开了一种并发低分辨率/高分辨率平行扫描系统和方法以作为对检查系统的扫描过程的改进，所述检查系统用于平的物体，如在平板显示器中使用的大平板，由此使低分辨率缺陷检测阶段有效地与其中缺陷被自动定义和解决的高分辨率缺陷复查和分类阶段重叠和并行。虽然本发明对于光学检查平物体表面的缺陷的更一般的问题来说是有效的解决方案，但是本发明对检测在为形成LCD平面板显示器的淀积有集成电路的大玻璃板上的图样缺陷特别有用。
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公开(公告)号：CN1938398A
公开(公告)日：2007-03-28
申请号：CN200580010165.6
申请日：2005-04-07
申请人： 光子动力学公司
发明人： 陈仙海
IPC分类号： C09K19/38 , G02F1/1347 , G02F1/03 , G01R31/00
CPC分类号： G02F1/1309 , G02F1/1334 , G02F2001/136254
摘要： 根据本发明的聚合物分散液晶(PDLC)包括：TL系列液晶材料，以及包含具有羟基的聚丙烯酸酯类树脂的聚合物基体。所述羟基使得可通过使用异氰酸酯来实现交联，从而改善机械性质和热阻。液晶与聚合物的典型重量比在约50/50到70/30范围内。所具有的PDLC材料使得用于驱动电压的灵敏度增强，以及透射－电压(T－V)曲线的斜率更大。在对薄膜晶体管(TFT)的测试中，所述PDLC材料可用于补偿增加的气隙以调节TFT衬底中的平整度变化，以及降低调制器和面板之间的静电力。根据本发明的PDLC材料的实施方案由于溶剂的蒸发形成了固体膜。根据本发明的溶剂型PDLC配方的实施方案的一致性使得可以利用多种不同的涂覆方法，例如旋转涂覆、刮胶板涂覆和狭缝模具式涂覆。
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公开(公告)号：CN1849406A
公开(公告)日：2006-10-18
申请号：CN200480025676.0
申请日：2004-10-12
申请人： 光子动力学公司
CPC分类号： C23C14/024 , G02F1/1334 , G02F1/133516 , G02F1/133553 , G02F2001/133521
摘要： 为了在真空环境下，在挥发性凝胶状层(例如，具有透明电极的光学玻璃基底上的聚合物分散液晶(PDLC))的表面上施加任意的覆层(例如铟锡氧化物(ITO))，首先将中间的吸收应力的聚合物材料覆盖在挥发性凝胶状层上以防止挥发物挥发和溢出，其后，在超高真空环境下使用例如被称为物理汽相淀积(PVD)或溅射的技术施加覆层。
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公开(公告)号：CN1745385A
公开(公告)日：2006-03-08
申请号：CN200480003416.3
申请日：2004-02-03
申请人： 光子动力学公司
发明人： 列扎·萨菲-罗德 , 亚历山大·茨尔纳托维奇 , 杰弗里·霍索恩 , 布兰科·布卡尔 , 雷·利伦特韦尔
IPC分类号： G06K9/00
CPC分类号： G06T7/0004 , G06T2207/30108 , H04N17/02 , H04N17/04
摘要： 一种用于光学地检测显示器的方法和装置为各个基色采用子像素精度以考虑到旋转角(520)。该方法包括：用R×S个传感器捕获图像、确定出映射到像素的传感器坐标集(540)、确定出显示器上的像素与R×S个传感器之间的多个失准角、确定出多个x缩放比、响应相应的多个失准角和相应的多个x和y缩放比来确定与R×S个传感器相关的多个加权因子、以及检测被缩放的图像以识别显示器上的像素的潜在缺陷(580)。
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公开(公告)号：CN1580875A
公开(公告)日：2005-02-16
申请号：CN200410030734.0
申请日：2004-03-31
申请人： 光子动力学公司
CPC分类号： G02F1/136259 , B65G49/061 , B65G49/063 , B65G2249/04 , G01N21/896 , G01N21/95 , G01N2021/8867 , G01N2021/9513 , H01L21/67721
摘要： 模块化的分轴台被用于检测和/或修复适用于LCD/TFT应用领域的大型扁平玻璃介质。将低精度的气动工作台部分可拆卸地安装到中心定位的、高精度的花岗岩检测/修复部分。由真空接触器把持的玻璃介质在气垫上从上连接板气动工作台传送到中心检测/修复部分。真空吸嘴一体形成在多孔介质衬垫上，用于在检测或修复过程中精确控制柔性介质在中心部分之上的高度。实施例包括在检测/修复过程中使介质静止不动或移动的结构。在流水线操作模式中，第一介质可在第二介质受到检测或修复的同时被装载/卸载。
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