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公开(公告)号：CN114555513A
公开(公告)日：2022-05-27
申请号：CN202080073178.2
申请日：2020-08-24
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 本发明的反射镜器件的制造方法，其中，反射镜器件具备：包含基底部和支撑在基底部的可动部的结构体、以及设置在可动部的反射镜层，本发明的反射镜器件的制造方法具备：准备具有支撑层和器件层的晶圆的第一工序；在第一工序之后，通过将支撑层和器件层中的各个的一部分通过蚀刻从晶圆去除，以可动部相对于基底部可动的方式在晶圆形成狭缝，并且将分别与结构体对应的多个部分形成在晶圆的第二工序；在第二工序之后，实施通过清洗液清洗晶圆的湿法清洗的第三工序；以及在第三工序之后，将多个部分中的各个从晶圆切出的第四工序，在第二工序中，通过蚀刻，在晶圆中的、狭缝以外的部分，形成贯通晶圆的流通孔。
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公开(公告)号：CN114502504A
公开(公告)日：2022-05-13
申请号：CN202080069426.6
申请日：2020-08-27
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 本发明的反射镜器件的制造方法具备：形成工序，通过晶圆的加工，形成基底部、可动部、及以所述可动部相对于所述基底部可摆动的方式将所述基底部和所述可动部相互连结的连结部，并且在所述可动部形成反射镜层，来形成结构体；以及收集工序，在所述形成工序之后，进行由收集构件的所述结构体的异物收集。本发明的反射镜单元的制造方法具备：密封工序，在所述收集工序之后，密封所述反射镜器件。
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公开(公告)号：CN114341702A
公开(公告)日：2022-04-12
申请号：CN202080061969.3
申请日：2020-09-02
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 本发明的光扫描系统的制造方法具备：组装各自具备反射镜器件和磁铁的多个装置结构的工序；针对多个装置结构中的各个，获取第一数据以及第二数据的工序，其中，第一数据用于修正相对于电流信号的频率的变化的反射镜的摆动角的变化，第二数据用于修正以第一轴为中心轴进行摆动的反射镜从Y轴的偏离及以第二轴为中心轴进行摆动的反射镜从X轴的偏离的至少一方；针对多个装置结构中的至少一个装置结构，获取用于修正相对于使用温度的变化的反射镜的摆动角的变化的第三数据的工序；以及将第一数据及第二数据在保持多个装置结构中的各个和第一数据及第二数据的对应关系的状态下保存于存储部，并且将第三数据保存于存储部的工序。
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公开(公告)号：CN113228240A
公开(公告)日：2021-08-06
申请号：CN201980071401.7
申请日：2019-10-30
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: H01L21/3205
Abstract: 本发明提供一种镶嵌配线构造，其具备：基底，其具有设置有槽部的主面；绝缘层，其具有：设置于槽部的内表面上的第一部分；和与第一部分一体地形成，并且设置于主面上的第二部分；金属层，其设置于绝缘层的第一部分上；配线部，其埋入于槽部内，并且与金属层接合；以及覆盖层，其以覆盖绝缘层的第二部分、金属层的端部、和配线部的方式设置。绝缘层中的第一部分与第二部分的边界部分的与基底为相反侧的表面，包含在从配线部的延伸方向观察的情况下，相对于与主面垂直的方向倾斜的倾斜面。金属层的端部进入到覆盖层与倾斜面之间，在端部，沿着覆盖层的第一表面与沿着倾斜面的第二表面成锐角。
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公开(公告)号：CN112074766A
公开(公告)日：2020-12-11
申请号：CN201980030165.4
申请日：2019-05-10
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 光学装置具备：支撑部；具有光学面的第一可动部；包围第一可动部的框状的第二可动部；互相连结第一可动部与第二可动部的第一连结部；互相连结第二可动部与支撑部的第二连结部；以及具有软化特性，当第一可动部在第一轴线周围摇动时应力进行作用的软化构件。软化构件在从垂直于光学面的方向观察的情况下，配置于第二可动部中在驱动元件与第一连结部之间延伸的部分，且未与外部电连接。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN119993837A
公开(公告)日：2025-05-13
申请号：CN202510267662.3
申请日：2019-10-30
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: H01L21/3205 , H01L23/535 , H01L21/74 , B81B3/00 , B81B7/00 , B81C1/00
Abstract: 根据一个实施方式涉及的半导体基板的制造方法包括：第一工序，通过对基板的主面实施包括各向同性蚀刻的处理来形成具有底面和侧面的槽部，所述侧面上形成有波纹；第二工序，执行对槽部的侧面进行的亲水化处理及对槽部进行的脱气处理中的至少一者；第三工序，在槽部的底面存在的状态下，通过实施各向异性湿法蚀刻处理去除在槽部的侧面上形成的波纹，并使侧面平坦化。
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公开(公告)号：CN118466007A
公开(公告)日：2024-08-09
申请号：CN202410169133.5
申请日：2024-02-06
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 镜装置具备：支承部；第一可动部，其具有包含第一表面及与第一表面相反侧的第二表面的主体部，在第一表面上形成有镜面，并且在第二表面上形成有梁部；第一扭力杆，其以第一可动部能够绕X轴摆动的方式将第一可动部与支承部连结。梁部具有从与第二表面垂直的方向观察时沿着主体部的外缘延伸的第一延伸部分。第一延伸部分具有从与第二表面垂直的方向观察时从主体部的外缘向外侧突出，并且沿着主体部的外缘延伸的突出部分。
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公开(公告)号：CN118011622A
公开(公告)日：2024-05-10
申请号：CN202410183289.9
申请日：2020-01-22
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 本发明的光模块具备：镜单元，其具有可动镜部；磁铁部，其具有上表面、底面和侧面，并产生作用于所述可动镜部的磁场；和保持构件，其保持所述磁铁部，所述磁铁部具有包含力在第1方向上作用的第1磁铁、和力在第2方向上作用的第2磁铁的海尔贝克结构，所述保持构件对抗在所述第1方向上作用于所述第1磁铁的力、和在所述第2方向上作用于所述第2磁铁的力而一体地保持所述磁铁部，所述镜单元被所述保持构件支撑在所述上表面上，在所述上表面与所述镜单元之间，设置有用于缓和来自所述磁铁部的应力的缓和层。
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公开(公告)号：CN114730073B
公开(公告)日：2024-05-07
申请号：CN202080080248.7
申请日：2020-09-16
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 反射镜组件包括光扫描器件和封装件。封装件具有：主体部，在主体部设置有在规定方向的一侧开口的光入射开口，主体部能够保持光扫描器件；突起，其以沿着光入射开口的边缘延伸的方式设置在主体部的顶面；和平板状的窗部件，其在突起的内侧配置在顶面上，且覆盖光入射开口。突起的一侧的端面位于比窗部件更靠一侧的位置。突起的厚度小于突起的从顶面起的高度。在从与规定方向垂直的任一方向看时，窗部件中被突起覆盖的部分的长度均大于窗部件中从突起露出的部分的长度。
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