微纳结构的测量以及加工方法

    公开(公告)号:CN111551112B

    公开(公告)日:2022-03-25

    申请号:CN202010410264.X

    申请日:2020-05-15

    申请人: 深圳大学

    IPC分类号: G01B11/00 B81C1/00

    摘要: 一种微纳结构的测量方法和加工方法,测量方法包括:获得微纳结构的实时显微图像,微纳结构包括至少一个微纳单元;识别并拟合显微图像而得到微纳单元的拟合图形;测量拟合图形以获取至少一个微纳单元的尺寸和位置信息。本发明提供的微纳结构的测量方法,通过获得微纳结构的实时显微图像,并通过识别和拟合得到与微纳单元的外形轮廓最为一致的拟合图形,测量拟合图形相当于测量对应的微纳单元,从而获得微纳单元精确的尺寸和位置信息,同时由于能够在加工的过程中执行测量方法,以便于对于微纳结构加工过程进行实时监测,有利于微纳结构的高精度加工。

    基于机器人的光刻装置和光刻方法

    公开(公告)号:CN113791528A

    公开(公告)日:2021-12-14

    申请号:CN202111230123.0

    申请日:2021-10-21

    IPC分类号: G03F9/00

    摘要: 一种基于机器人的光刻装置和光刻方法,该光刻装置包括机器人、光源和工作台,机器人具有至少两个方向的自由度,且机器人与工作台相对;光源和待曝光工件的其中一者设置于机器人,另一者设置于工作台;机器人用于根据待曝光工件的形状在至少一个方向上运动,以使光源对待曝光工件进行多个区域的曝光。在光刻时,机器人可以带动光源和待曝光工件中的一者相对另一者移动,以使得光源能对待曝光工件的不同区域分别进行曝光,使得具有复杂多变的结构和形状的待曝光工件也可以进行良好的曝光,能实时调整光源和待曝光工件的相对位置,对于复杂结构和外形的工件也能够满足光刻需求。

    新型的薄片队列微电极
    43.
    发明授权

    公开(公告)号:CN107081491B

    公开(公告)日:2020-06-02

    申请号:CN201710344079.3

    申请日:2017-05-16

    申请人: 深圳大学

    IPC分类号: B23H1/04

    摘要: 本发明揭示了一种新型的薄片队列微电极,包括电极本体和薄片电极;电极本体为条形;薄片电极设有多个,多个薄片电极成队列的固定连接电极本体的一侧边;薄片电极为条形薄片,其一端固定连接电极本体,相对的另一端为自由端;自由端的端面为加工端面;薄片电极中部设有贯穿薄片电极的随形孔。本发明新型的薄片队列微电极不但设有随形孔,可以将微细电火花加工的过程中产生的电蚀产物及时排出,进而有效的减小薄片队列微电极损耗的递减效应;而且还设有阻反应凹槽,可以减小新型的薄片队列微电极微细电火花加工结果的边缘锥度问题,提高加工微型腔有侧壁为直壁的情况下的加工精度。

    辅助穿脱裤装置
    44.
    发明公开

    公开(公告)号:CN110604448A

    公开(公告)日:2019-12-24

    申请号:CN201910898434.0

    申请日:2019-09-21

    发明人: 林颖 郭登极 吴荻

    IPC分类号: A47G25/90

    摘要: 本申请涉及一种辅助穿脱裤装置,包括底座、夹紧部、至少两个支撑柱以及固定部。所述底座内设有至少一个镂空区,以便于用户通过所述镂空区站立于地面。所述夹紧部包括底环、顶环、伸缩机构和夹紧电机,所述伸缩机构连接于所述底环和顶环之间,所述夹紧电机通过所述伸缩机构控制所述顶环和所述底环之间的相对距离。所述支撑柱分别固定于所述底座上,每个所述支撑柱均与所述夹紧部滑动连接,所述固定部用于固定所述夹紧部与所述支撑柱之间的相对位置。所述底座的上表面和/或所述镂空区内还设有第一按键,所述第一按键与所述夹紧电机电性连接,用户便于通过所述第一按键控制所述夹紧部夹紧或松开裤子。本申请辅助穿脱裤装置安全性高,且便于操作。

    薄片队列微电极微细电火花加工方法及装置

    公开(公告)号:CN107243679B

    公开(公告)日:2019-04-26

    申请号:CN201710345074.2

    申请日:2017-05-16

    申请人: 深圳大学

    IPC分类号: B23H1/00 B23H1/04

    摘要: 本发明揭示了一种薄片队列微电极微细电火花加工方法及装置,薄片队列微电极包括多个依次队列排列的薄片微电极,在集肤效应的影响下,薄片微电极的加工端面被损耗为外凸弧形;薄片队列微电极微细电火花加工方法包括:通过薄片队列微电极上的薄片微电极依次对工件上与薄片微电极一一相应的位置进行微细电火花加工,在加工面上形成拟合表面。其中薄片队列微电极微细电火花加工方法中充分利用在常规薄片微电极的加工端面的圆角损耗特点,用以有效消除三维微结构表面的台阶效应,从而提高加工后拟合面的精度。消除三维微结构的台阶效应和平面特征拟合表面的圆角放电痕。

    微细电解加工工具电极制备方法及装置

    公开(公告)号:CN106424984B

    公开(公告)日:2019-01-11

    申请号:CN201611072820.7

    申请日:2016-11-29

    申请人: 深圳大学

    IPC分类号: B23H1/04

    摘要: 本发明揭示了本发明提出了一种微细电解加工工具电极制备方法及装置,方法包括:将工具电极放入光敏树脂溶液中浸泡一定时间;将所述工具电极取出,并将所述工具电极表面上的光敏树脂液体薄层固化为绝缘膜;将所述工具电极的工作面一端部分浸入溶解溶液中,浸入的深度为h1,溶解所述工具电极上的绝缘膜;将所述工具电极接阳极,对所述工具电极的工作面进行熔蚀,熔蚀高度为h2,h2>h1。本发明的有益效果是:不但适合于简单形状的工具电极表面的绝缘膜的制备,也适合于复杂三维的工具电极表面的绝缘膜的制备。

    自润滑耐磨涂层及其制备方法
    47.
    发明公开

    公开(公告)号:CN107142476A

    公开(公告)日:2017-09-08

    申请号:CN201710386654.6

    申请日:2017-05-26

    申请人: 深圳大学

    摘要: 本发明揭示了一种自润滑耐磨涂层及其制备方法,该自润滑耐磨涂层由耐磨单元和自润滑单元两种不同的涂层单元组成;耐磨单元与自润滑单元在基材表面间隔设置,且相邻两种涂层单元之间相互耦合;当自润滑耐磨涂层受到外物磨擦时,耐磨单元抵御磨损效应,提高自润滑耐磨涂层的耐磨性,而自润滑单元能够产生自润滑效应,降低自润滑耐磨涂层的摩擦系数。本发明提出的自润滑耐磨涂层及其制备方法,其中的自润滑耐磨涂层的耐磨单元和自润滑单元间隔设置,通过调整自润滑单元的形态和分布可以控制润滑方向和优化涂层润滑性能,而且自润滑效果稳定,避免现有的高能束制备自润滑耐磨涂层时因出现冶金反应影响自润滑耐磨涂层润滑效果的情况。

    微细电解加工工具电极制备方法及装置

    公开(公告)号:CN106424984A

    公开(公告)日:2017-02-22

    申请号:CN201611072820.7

    申请日:2016-11-29

    申请人: 深圳大学

    IPC分类号: B23H1/04

    CPC分类号: B23H1/04

    摘要: 本发明揭示了本发明提出了一种微细电解加工工具电极制备方法及装置,方法包括:将工具电极放入光敏树脂溶液中浸泡一定时间;将所述工具电极取出,并将所述工具电极表面上的光敏树脂液体薄层固化为绝缘膜;将所述工具电极的工作面一端部分浸入溶解溶液中,浸入的深度为h1,溶解所述工具电极上的绝缘膜;将所述工具电极接阳极,对所述工具电极的工作面进行熔蚀,熔蚀高度为h2,h2>h1。本发明的有益效果是:不但适合于简单形状的工具电极表面的绝缘膜的制备,也适合于复杂三维的工具电极表面的绝缘膜的制备。

    电极制备方法、电极部件和特种加工平台

    公开(公告)号:CN106346093A

    公开(公告)日:2017-01-25

    申请号:CN201610979028.3

    申请日:2016-11-04

    申请人: 深圳大学

    IPC分类号: B23H1/04 B23H7/22

    CPC分类号: B23H1/04 B23H7/22

    摘要: 一种电极制备方法、电极部件和特种加工平台,其中,所述制备方法包括:将用于制备电极的基底固定在加工平台上;向基底的待成形区域提供原料气体;向基底的待成形区域照射聚焦离子束,以在待成形区域生长电极。相对于现有技术中磨、削等方式制备电极,一方面采用聚焦离子束的方式制备电极,能够提高电极精度,通常聚焦离子束的精度能够达到纳米级;另一方面,由于采用生长的方式制备电极,相对于磨削等摒弃多余原料的方式,能够更有效地利用原料,从而节省了电极制备成本。此外,采用生长式制备电极,可制备具有复杂形状的三维电极,进行较为复杂的三维加工。

    一种髋关节扭簧助力装置
    50.
    实用新型

    公开(公告)号:CN215021619U

    公开(公告)日:2021-12-07

    申请号:CN202023079282.9

    申请日:2020-12-17

    IPC分类号: A61H1/02 A61H3/00

    摘要: 本申请提供了一种髋关节扭簧助力装置,包括:腰部连杆,蓄力结构和腿部结构;蓄力结构包括主体、扭簧和转动轴;主体设有内凹的容纳腔,扭簧设置于容纳腔内;转动轴与主体贯穿连接;主体的背面与腰部连杆的端部固定连接;腿部结构的端部套设于转动轴外部并且与转动轴转动连接;腿部结构上还设有限位柱;扭簧的一端固定于主体内部,另一端钩挂于限位柱上;当助力装置进行蓄能时,腿部结构通过限位柱驱动扭簧,使扭簧蓄能;当助力装置释放蓄能时,扭簧释放蓄能,通过驱动限位柱带动腿部结构转动。本申请可以简化动力来源,利用行走过程中的机械能达到自身助行的目的。