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公开(公告)号：CN104520965A
公开(公告)日：2015-04-15
申请号：CN201380041332.8
申请日：2013-07-03
申请人： 株式会社日立高新技术
CPC分类号： H01J37/20 , H01J37/18 , H01J37/261 , H01J37/28 , H01J2237/16 , H01J2237/20 , H01J2237/2003 , H01J2237/20235 , H01J2237/20292 , H01J2237/2605 , H01J2237/2608
摘要： 现有的带电粒子束装置都是为了大气压下或与大气压大致相等的压力的气体氛围下的观察而专门制造的装置，而不存在使用通常的高真空型带电粒子显微镜能够简便地进行大气压下或与大气压大致相等的压力的气体氛围下的观察的装置。并且，在现有技术的方法中，没有控制隔膜与试样的距离的方法，存在隔膜破损的可能性高的问题。因此，本发明的特征在于具备：可拆卸的隔膜，其将放置了试样的空间隔离，以便保持放置了试样的空间的压力大于所述壳体内部的压力，并使一次带电粒子束透射或通过；接触防止部件，其防止试样与隔膜接触；以及调整机构，其可使接触防止部件的至少一部分在带电粒子光学镜筒的光轴方向上移动。
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公开(公告)号：CN104246965A
公开(公告)日：2014-12-24
申请号：CN201380020619.2
申请日：2013-04-11
申请人： 株式会社日立高新技术
CPC分类号： H01J37/261 , H01J37/09 , H01J37/10 , H01J37/147 , H01J37/16 , H01J37/18 , H01J37/28 , H01J2237/0245 , H01J2237/043 , H01J2237/063 , H01J2237/10 , H01J2237/162 , H01J2237/164 , H01J2237/2003 , H01J2237/2448 , H01J2237/2602 , H01J2237/2605
摘要： 带电粒子束装置(1)具备带电粒子光学镜筒(10)、搭载带电粒子光学镜筒(10)的支承壳体(20)、以及插入到支承壳体(20)的内部的内插壳体(30)，第一光圈构件(15)配设在物镜的磁场的中心附近，第二光圈构件(31)配设为从外侧封堵设置于内插壳体(30)的上表面的开口部。并且，利用检测器(16)检测在一次带电粒子束(12)向配置于第二光圈构件(31)的下表面侧的试料(60)照射时放出的二次带电粒子。
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公开(公告)号：CN102414777B
公开(公告)日：2014-12-03
申请号：CN201080017872.9
申请日：2010-02-17
申请人： 迈普尔平版印刷IP有限公司
IPC分类号： H01J37/16 , H01J37/18 , H01L21/677 , H01L21/00 , H01J37/317
CPC分类号： H01J37/16 , H01J37/18 , H01J2237/166 , H01L21/67161 , H01L21/6719
摘要： 本发明提供一种包含用于封闭一内部空间的多个壁板(510)的真空腔(400)，其中该壁板使用多个用于以预定配置对该壁板定位的连接部件(504、524、528)而可卸除地连接以形成腔室。该真空腔另外包含一或多个在该壁板的边缘处提供的密封部件(522)。该壁板经配置，使得因该内部空间形成真空而在该壁板的边缘处形成真空紧密密封。
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公开(公告)号：CN104094373A
公开(公告)日：2014-10-08
申请号：CN201380008021.1
申请日：2013-02-15
申请人： 株式会社日立高新技术
CPC分类号： H01J37/28 , H01J37/09 , H01J37/16 , H01J37/18 , H01J2237/0451 , H01J2237/06341 , H01J2237/10 , H01J2237/1405 , H01J2237/164 , H01J2237/2608 , H01J2237/2801
摘要： 本发明提供能简单地装拆隔膜(101)且能将试样(6)配置于真空下和高压下的带电粒子线装置(111)。该带电粒子线装置(111)具有：对带电粒子源(110)和电子光学系统(1、2、7)进行保持的镜筒(3)；与镜筒(3)连结的第一框体(4)；向第一框体(4)的内侧凹陷的第二框体(100)；将镜筒(3)内的空间和第一框体(4)内的空间隔离且供带电粒子线透过的第一隔膜(10)；将第二框体(100)的凹部(100a)内的空间和第二框体(100)的凹部(100a)外的空间隔离且供带电粒子线透过的第二隔膜(101)；与收纳带电粒子源(110)的第三框体(22)连结的管(23)，第一隔膜(10)安装于管(23)，管(23)和第三框体(22)能沿光轴(30)的方向相对于镜筒(3)装拆。由第一框体(4)和第二框体(100)包围的空间(105)被减压，对配置于凹部(100a)中的试样(6)照射带电粒子线。
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公开(公告)号：CN1945338B
公开(公告)日：2014-06-04
申请号：CN200610143158.X
申请日：2006-09-28
申请人： FEI公司
CPC分类号： H01J37/20 , H01J37/18 , H01J37/226 , H01J37/28 , H01J2237/20214
摘要： 一种组合工具，包括对围绕可旋转的基板定位的样品进行显微处理的多个工具。基板上的样品座在该工具的工作区域之间转动样品。可滑动真空密封保持样品室中的真空，对要求真空的工具来说。
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公开(公告)号：CN102934196A
公开(公告)日：2013-02-13
申请号：CN201180027607.3
申请日：2011-06-02
申请人： 艾克塞利斯科技公司
IPC分类号： H01J37/317 , H01J37/20 , H01J37/18 , H01J37/02
CPC分类号： H01J37/3171 , H01J37/18 , H01J37/20 , H01J2237/002 , H01J2237/166 , H01J2237/2001 , H01J2237/2005 , H01J2237/20278 , H01J2237/31701
摘要： 本发明公开了一种用于使离子注入环境中的旋转连接体升温的方法，该方法提供构造成绕着第一轴线旋转的扫描臂以及经由电动机连接到扫描臂以选择性地固定工件的末端执行器。末端执行器被构造成绕着第二轴线旋转，并具有与第二轴线和电动机相关联的轴承和密封件。电动机被启动，并且电动机的旋转由于末端执行器绕着第二轴线的旋转在预定时间之后或当电动机出现故障时反转。确定末端执行器绕着第二轴线的旋转是否可接受，并且当末端执行器的旋转是不可接受的时，扫描臂绕着第一轴线往复运动，其中末端执行器的惯性造成末端执行器绕着第二轴线旋转。
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公开(公告)号：CN102414777A
公开(公告)日：2012-04-11
申请号：CN201080017872.9
申请日：2010-02-17
申请人： 迈普尔平版印刷IP有限公司
IPC分类号： H01J37/16 , H01J37/18 , H01L21/677 , H01L21/00 , H01J37/317
CPC分类号： H01J37/16 , H01J37/18 , H01J2237/166 , H01L21/67161 , H01L21/6719
摘要： 本发明提供一种包含用于封闭一内部空间的多个壁板(510)的真空腔(400)，其中该壁板使用多个用于以预定配置对该壁板定位的连接部件(504、524、528)而可卸除地连接以形成腔室。该真空腔另外包含一或多个在该壁板的边缘处提供的密封部件(522)。该壁板经配置，使得因该内部空间形成真空而在该壁板的边缘处形成真空紧密密封。
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公开(公告)号：CN118622988A
公开(公告)日：2024-09-10
申请号：CN202310240153.2
申请日：2023-03-10
申请人： 中微半导体设备(上海)股份有限公司
摘要： 本发明提供一种密封结构及半导体处理装置。所述密封结构用于对半导体处理装置中反应腔室进行密封，包括：第一密封结构和第二密封结构，所述第一密封结构设置于所述第二密封结构的内侧；所述第一密封结构包括第一密封件，所述第一密封件采用全氟醚橡胶制成；所述第二密封结构包括第二密封件，所述第二密封件采用非全氟醚橡胶制成。本发明的目的在于提供一种稳定的真空密封结构，提高密封效果。
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公开(公告)号：CN118486574A
公开(公告)日：2024-08-13
申请号：CN202410167293.6
申请日：2024-02-06
申请人： 株式会社荏原制作所
摘要： 本发明提供一种抑制绝缘构造体中的放电的绝缘构造体、静电透镜以及带电粒子线装置，绝缘构造体在带电粒子线装置用的真空中使用，其具备阳极、与所述阳极相对的阴极以及配置于所述阳极与所述阴极之间的绝缘体，所述绝缘体具有：绝缘体平坦面；以及从所述绝缘体平坦面突出的绝缘体凸部，所述阴极具有：阴极平坦面；以及从所述阴极平坦面凹陷且与所述绝缘体凸部嵌合的阴极凹部，所述绝缘体平坦面与所述阴极平坦面不接触，所述绝缘体凸部的外表面与所述阴极凹部的内表面不接触。
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公开(公告)号：CN118361542A
公开(公告)日：2024-07-19
申请号：CN202410251342.4
申请日：2024-03-05
申请人： 东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司
摘要： 本发明属于电子束扫描设备在半导体的应用技术领域，尤其涉及一种电子束扫描设备及其密封阀门装置；密封阀门装置，应用于电子束扫描设备，密封阀门装置包括调节组件以及阀门组件，调节组件包括调节机构和推杆，推杆连接阀门组件；其中，阀门组件包括密封部、及沿推杆的轴向连接于密封部一侧的连通部，调节机构使得推杆至少能够沿轴向伸缩，以切换密封部或连通部的任一者连接电子束扫描设备的电子束传输通道，以密封或者开启电子束传输通道；确保在维护保养期间确保和真空腔室相关的元器件其性能的稳定，避免元件受损或者失效，延长设备使用寿命，且在重新投入使用后无需重新抽真空，减少操作时间，提高工作效率。
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