用于冷却树脂密封基板的方法和系统,用于传送该基板的系统和树脂密封系统

    公开(公告)号:CN102380937B

    公开(公告)日:2015-08-05

    申请号:CN201110248224.0

    申请日:2011-08-26

    Abstract: 本发明提供用于冷却树脂密封基板的方法和系统,用于传送该基板的系统和树脂密封系统,特别是,提供用于冷却树脂密封基板同时防止它的翘曲的系统。该系统包括:保持体40,用于保持树脂密封基板21A;吸引装置,其被设置在保持体中,用于吸引树脂密封基板21A;和冷却构件31,朝着冷却构件被设置的位置,吸引装置吸引树脂密封基板21A,冷却构件31具有与树脂密封基板21A紧密接触的接触表面。吸引装置包括:弹性支持体32,用于在树脂密封基板与接触表面之间形成封闭空间;通孔33a,其在上述封闭空间内的位置被设置在冷却构件31中,并且在冷却构件的厚度方向上穿透冷却构件31;和空气抽吸装置33c,用于通过通孔33a和空气抽吸通道33b从封闭空间抽吸空气。

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