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公开(公告)号:CN105063565B
公开(公告)日:2017-08-25
申请号:CN201510546952.8
申请日:2015-08-31
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种P型红外透明导电氧化物薄膜的制备方法,它涉及红外透明导电氧化物薄膜的制备方法,尤其涉及一种P型红外透明导电氧化物薄膜的制备方法。本发明要解决现有的被动式红外探测系统中红外透明导电薄膜不能同时兼顾屏蔽干扰电磁波信号和保持中、远红外波段高透过性的问题。本发明按以下步骤进行:一、焊接;二、清洗;三、镀膜前准备工作;四、在氧气氛中溅射镀膜;五、关机。本发明解决了红外透明导电薄膜不能同时兼顾屏蔽干扰电磁波信号和保持中、远红外波段高透过性的问题。本发明适用于红外透明导电氧化物薄膜的制备领域。
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公开(公告)号:CN106784044A
公开(公告)日:2017-05-31
申请号:CN201611223173.5
申请日:2016-12-26
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H01L31/0224 , H01L31/09 , H01L31/18
CPC classification number: H01L31/0224 , H01L31/09 , H01L31/1804
Abstract: 一种三维结构金刚石紫外探测器及其制备方法,涉及金刚石探测科学与技术领域,尤其涉及一种三维结构金刚石紫外探测器及其制备方法。本发明为解决现有金刚石紫外探测器,采用平面电极结构,会有紫外穿透深度范围以内金刚石纵向电场太弱不足以将光生载流子导出的问题,而采用石墨柱电极结构,会有晶界阻碍载流子的输运问题。一种三维结构金刚石紫外探测器,包含光感区和电极结构,光感区为蛇形折叠形状金刚石,电极结构为两组相互交叉的叉指结构凹槽组成,每组叉指结构含有n个电极。一种三维结构金刚石紫外探测器的制备方法:基底的选择;预处理;制备刻蚀掩膜;制备三维电极结构;沉积金属薄膜和后处理。本发明应用于紫外探测领域。
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公开(公告)号:CN106744931A
公开(公告)日:2017-05-31
申请号:CN201611130191.9
申请日:2016-12-09
Applicant: 哈尔滨工业大学
CPC classification number: C01P2002/72 , C01P2002/82 , C01P2004/03 , C01P2004/61
Abstract: 一种等离子体刻蚀石墨制备金刚石颗粒的方法,本发明涉及金刚石微粉生长技术领域。本发明要解决现有制备人造金刚石成本较高、质量较低、不易分散、工艺不可控、衬底选择受限的问题。方法:一、石墨片的表面处理;二、利用等离子体刻蚀法在石墨上制备金刚石;三、分散金刚石颗粒,即完成等离子体刻蚀石墨制备金刚石颗粒的方法。本发明用于一种等离子体刻蚀石墨制备金刚石颗粒的方法。
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公开(公告)号:CN106363648A
公开(公告)日:2017-02-01
申请号:CN201610852618.X
申请日:2016-09-26
Applicant: 哈尔滨工业大学
CPC classification number: B25J15/0009 , B25J15/10 , B25J17/0266
Abstract: 一种平行滑动导杆式康复机械手测量机构,它涉及一种机械手测量机构。本发明解决了现有的机械手测量机构存在对手指的反作用力不能保证始终垂直于手指骨,会对手指关节产生牵拉作用,使创伤手指受到额外伤害的问题。第一伸缩模块的第一基座与支撑梁的滑臂连接,滑臂沿着支撑梁长度方向在接触基础上端面滑动,第一伸缩模块、第二伸缩模块、第三伸缩模块和第四伸缩模块依次转动连接,相邻两个伸缩模块之间设置有一个外骨骼关节单元,第二伸缩模块、第三伸缩模块和第四伸缩模块两两之间通过外骨骼关节单元两侧的挡板相连,同侧相邻两个挡板在指关节处采用大间隙的销轴连接,第四伸缩模块上固装有手指拨块。本发明用于康复机械手测量领域。
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公开(公告)号:CN106214425A
公开(公告)日:2016-12-14
申请号:CN201610860299.7
申请日:2016-09-28
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: A61H1/02
CPC classification number: A61H1/0288 , A61H2201/1207 , A61H2201/14 , A61H2201/1638 , A61H2201/165 , A61H2205/067
Abstract: 一种外骨骼式创伤手指康复机器人,它涉及手指康复机器人。本发明解决现有外骨骼式创伤手指康复机器人存在劳动强度大、康复时间长,无法对康复效果进行直接反馈。食指外骨骼的掌指关节单元通过螺钉固定在驱动模块前端的第一正齿轮上,中指外骨骼的掌指关节单元通过螺钉固定在驱动模块前端的第二正齿轮上,无名指外骨骼的掌指关节单元通过螺钉固定在驱动模块前端的第三正齿轮上,小指外骨骼的掌指关节单元通过螺钉固定在驱动模块前端的第四正齿轮上,三根钢丝分别从人工肌肉驱动模块的滑轮组引出,三根钢丝的引出端依次与远侧指间关节单元的第一滑轮、近侧指间关节单元的第二滑轮、掌指关节单元的第三滑轮相连接。本发明用于外骨骼式创伤手指康复。
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公开(公告)号:CN104988578A
公开(公告)日:2015-10-21
申请号:CN201510443127.5
申请日:2015-07-24
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种利用等离子体挡板优化单晶金刚石同质外延生长的方法,本发明涉及优化单晶金刚石同质外延生长的方法。本发明要解决现有MWCVD生长系统中等离子体密度对籽晶生长质量的影响,等离子体形态与籽晶接触方式导致侧向生长区域质量较低,以及等离子体中碳源沉积污染舱体等问题。方法:一、清洗;二、焊接;三、放置样品;四、放置等离子体挡板;五、生长前准备工作;六、金刚石生长,即完成利用等离子体挡板优化单晶金刚石同质外延生长的方法。本发明用于一种利用等离子体挡板优化单晶金刚石同质外延生长的方法。
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公开(公告)号:CN104972189A
公开(公告)日:2015-10-14
申请号:CN201510459097.7
申请日:2015-07-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
CPC classification number: B23K1/008 , B23K1/0008 , B23K1/206
Abstract: 一种同质外延生长单晶金刚石的籽晶衬底真空钎焊方法,本发明涉及同质外延生长单晶金刚石的籽晶衬底真空钎焊方法。本发明要解决现有的MWCVD生长系统中籽晶易被气流吹动偏离最佳位置,以及籽晶与金属钼衬底之间导热困难,传统焊接介质熔点过低、与金刚石相容性差或反应严重损伤籽晶,无法满足金刚石优质生长的问题。方法:一、清洗;二、选择焊接介质;三、放置样品;四、真空钎焊,即完成同质外延生长单晶金刚石的籽晶衬底真空钎焊方法。本发明用于一种同质外延生长单晶金刚石的籽晶衬底真空钎焊方法。
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公开(公告)号:CN104878447A
公开(公告)日:2015-09-02
申请号:CN201510304886.3
申请日:2015-06-04
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种同质外延生长单晶金刚石的籽晶衬底原位连接方法,本发明涉及同质外延生长单晶金刚石的籽晶衬底原位连接方法。本发明要解决现有的MWCVD生长系统中籽晶易被气流吹动偏离最佳位置,以及籽晶与金属钼衬底之间导热困难,使用真空钎焊造成籽晶表面质量下降且不易观察的问题。方法:一、清洗;二、选择金箔;三、放置样品;四、原位连接;五、金刚石生长,即完成同质外延生长单晶金刚石的籽晶衬底原位连接方法。本发明用于一种同质外延生长单晶金刚石的籽晶衬底原位连接方法。
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公开(公告)号:CN104775154A
公开(公告)日:2015-07-15
申请号:CN201510199722.9
申请日:2015-04-25
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种同质外延生长单晶金刚石时控制表面温度的方法,属于晶体生长技术领域。针对现有的MWCVD生长系统中籽晶表面温度难以有效调控的问题,本发明所述方法包括步骤如下:金刚石籽晶清洗→焊接→选择隔热丝→制作隔热丝→放置样品→生长前准备工作→金刚石生长。本发明通过制备隔热用隔热丝,确保了金刚石样品表面温度不会因为导热过快而过低,且根据不同工艺参数选择不同规格的隔热丝,实现金刚石样品表面温度可控,使金刚石在所需的温度等工艺参数下进行生长。由于隔热丝的特殊形态,保证了金刚石样片表面水平,与等离子体球均匀接触,保证了温度场及碳源密度的均匀性,使得生长效果更好。
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公开(公告)号:CN103311375A
公开(公告)日:2013-09-18
申请号:CN201310246864.7
申请日:2013-06-20
Applicant: 哈尔滨工业大学
CPC classification number: Y02P70/521
Abstract: 一种室温下制备晶态氧化铟透明导电薄膜的方法,它涉及制备晶态氧化铟透明导电薄膜的方法,本发明要解决采用现有方法制备具有晶态性质的氧化铟薄膜时,存在设备价格高和制备过程复杂不易控制的问题。本发明中一种室温下制备晶态氧化铟透明导电薄膜的方法按以下步骤进行:一、清洗基底材料,安装靶材,抽真空;二、反溅清洗基底材料;三、沉积氧化铟薄膜;四、加负偏压对已沉积氧化铟薄膜进行反溅轰击;五、重复步骤三和步骤四,直至此循环过程达到2次至8次;六、关闭所有电源,完成室温下晶态氧化铟透明导电薄膜的制备过程。本发明可应用于显示器和太阳能电池的电极。
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