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公开(公告)号：CN116745235A
公开(公告)日：2023-09-12
申请号：CN202180092015.3
申请日：2021-11-16
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: B81C1/00
Abstract: 本发明的致动器器件的制造方法依次包括：准备工序，准备致动器器件，该致动器器件具备：支承部、可动部、以可动部能够绕规定的轴线摆动的方式将可动部与支承部连结的连结部、以及以在可动部绕轴线摆动时应力作用的方式配置的金属构件；摆动工序，使可动部绕轴线摆动规定时间；取得工序，其取得与可动部绕轴线的振动的粘性阻力有关的参数；以及判定工序，在取得工序中取得的参数与对应于摆动工序的开始时间点的参数的基准值之间的差在粘性阻力减小的方向上为规定值以上的情况下，将致动器器件判定为合格，在差小于规定值的情况下，将致动器器件判定为不合格。
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公开(公告)号：CN116635325A
公开(公告)日：2023-08-22
申请号：CN202180086100.9
申请日：2021-09-15
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: B81C1/00
Abstract: 本发明提供一种反射镜器件的制造方法。该反射镜器件的制造方法是具备包括支撑部、可动部和连结部的结构体、以及设置于可动部上的反射镜层的反射镜器件的制造方法。反射镜器件的制造方法包括：第1形成工序，在晶圆(wafer)上形成各自对应于结构体的多个部分；第2形成工序，在多个部分的各个中的对应于可动部的部分上形成反射镜层；加热工序，在第1形成工序和第2形成工序之后，对多个部分的各个中的对应于可动部的部分进行加热；以及切断工序，在加热工序之后，以将多个部分彼此分离的方式切断晶圆。
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公开(公告)号：CN114455535A
公开(公告)日：2022-05-10
申请号：CN202210115827.1
申请日：2018-06-18
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 致动器装置具备：支撑部；可动部；第一连结部，其以可动部能够在第一轴线周围摇动的方式在第一轴线上将可动部连结于支撑部；以及第一配线，其被设置于第一连结部上。第一配线具有由维氏硬度为50HV以上的金属材料构成的第一主体部。第一主体部包括面对第一连结部的第一表面和第一表面以外的第二表面。第二表面在垂直于第一配线的延伸方向的截面上具有以朝向第一连结部侧凸出的方式弯曲的弯曲部分。
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公开(公告)号：CN110337604B
公开(公告)日：2022-05-03
申请号：CN201780087497.7
申请日：2017-12-20
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 本发明的目的在于提供一种能够精度良好地取得关于镜的摆角的信息的光模块、及具备这样的光模块的测距装置。本发明的光模块具备：支承部(2)；可动部(3、4)，其在支承部(2)上以可在轴线(X1、X2)周围摇动的方式被支承；镜(7)，其设置于可动部(3、4)；驱动用线圈(11、12)，其设置于可动部(3、4)；温度监测用元件(14)，其设置于支承部(2)；磁铁(30)，其产生作用于驱动用线圈(11、12)的磁场。支承部(2)与磁铁(30)热连接。
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公开(公告)号：CN114341701A
公开(公告)日：2022-04-12
申请号：CN202080061878.X
申请日：2020-09-02
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 本发明的光扫描系统具备：反射镜器件、磁铁、温度传感器、以及运算部。运算部基于第一目标摆动角及第一目标频率、第二目标摆动角及第二目标频率、使用温度、第一数据、第二数据、以及第三数据，来生成第一电流信号及第二电流信号，其中，第一数据用于修正相对于输入第一驱动用线圈及第二驱动用线圈中的各个的电流信号的频率的变化的反射镜的摆动角的变化，第二数据用于修正以第一轴为中心轴进行摆动的反射镜从Y轴的偏离及以第二轴为中心轴进行摆动的反射镜从X轴的偏离中的至少一方，第三数据用于修正相对于使用温度的变化的反射镜的摆动角的变化。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111433654B
公开(公告)日：2021-10-01
申请号：CN201880077473.8
申请日：2018-11-26
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 致动器装置包括支承部、第1可动部、第2可动部和第2连结部。第2可动部具有：位于第1轴线上的第1可动部的两侧且与一对第1连结部连接的一对第1连接部；和位于第2轴线上的第1可动部的两侧且与一对第2连结部连接的一对第2连接部。一对第2连接部的各个在从与第1轴线和第2轴线正交的方向观察时，包括具有比第2可动部中的一对第1连接部和一对第2连接部以外的部分宽的宽度的部分。在从与第1轴线和第2轴线正交的方向观察时的一对第2连接部各自的内边缘具有向第2轴方向凹陷的凹部，在从与第1轴线和第2轴线正交的方向观察时的一对第2连接部各自的外边缘具有向第2轴方向突出的凸部。
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公开(公告)号：CN113366369A
公开(公告)日：2021-09-07
申请号：CN202080011481.X
申请日：2020-01-22
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 本发明的光模块具备：镜单元，其具有可动镜部；磁铁部，其具有上表面、底面和侧面，并产生作用于所述可动镜部的磁场；和保持构件，其保持所述磁铁部，所述磁铁部具有包含力在第1方向上作用的第1磁铁、和力在第2方向上作用的第2磁铁的海尔贝克结构，所述保持构件对抗在所述第1方向上作用于所述第1磁铁的力、和在所述第2方向上作用于所述第2磁铁的力而一体地保持所述磁铁部，所述镜单元被所述保持构件支撑在所述上表面上，在所述上表面与所述镜单元之间，设置有用于缓和来自所述磁铁部的应力的缓和层。
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公开(公告)号：CN112930586A
公开(公告)日：2021-06-08
申请号：CN201980071653.X
申请日：2019-10-30
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: H01L21/3205
Abstract: 根据一个实施方式涉及的半导体基板的制造方法包括：第一工序，通过对基板的主面实施包括各向同性蚀刻的处理来形成具有底面和侧面的槽部，所述侧面上形成有波纹；第二工序，执行对槽部的侧面进行的亲水化处理及对槽部进行的脱气处理中的至少一者；第三工序，在槽部的底面存在的状态下，通过实施各向异性湿法蚀刻处理去除在槽部的侧面上形成的波纹，并使侧面平坦化。
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公开(公告)号：CN112567284A
公开(公告)日：2021-03-26
申请号：CN201980052975.X
申请日：2019-08-09
Applicant: 浜松光子学株式会社
Inventor： 铃木大几
Abstract: 本发明的致动器装置具备：支撑部；第一可动部；框状的第二可动部，其包围第一可动部；第一连结部，其以第一可动部能够绕第一轴线摆动的方式，将第一可动部和第二可动部互相连结；第二连结部，其通过使第二可动部摆动从而以第一可动部能够绕第一轴线摆动的方式，将第二可动部和支撑部互相连结；以及驱动部，其使驱动力作用于第二可动部。关于绕第一轴线的第一可动部和第二可动部的振动的两个固有角频率ω1、ω2满足以下的式(1)和式(2)中的一个，而不满足另一个，其中，ω1
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公开(公告)号：CN108474938B
公开(公告)日：2021-01-19
申请号：CN201680079450.1
申请日：2016-12-22
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 致动器装置(1)具备：支撑部(5)；可动部(6)；连结部(8)，以可动部(6)能够在第二轴线(X2)周围摇动的方式在第二轴线(X2)上将可动部(6)连结于支撑部(5)；第一配线(21)，被设置于连结部(8)上；第二配线(31)，被设置于支撑部(5)上；绝缘层(52)，具有使第一配线(21)以及第二配线(31)的一方的配线中位于支撑部(5)上的第一连接部分(25)中的支撑部(5)的相反侧的表面(25a)露出的第一开口(52a)并且覆盖第一连接部分(25)的角(25b)。构成第一配线(21)的第一金属材料其刚性高于构成第二配线(31)的第二金属材料。第一配线(21)以及第二配线(31)的另一方的配线在第一开口(52a)被连接于第一连接部分(25)的表面(25a)。
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