二氧化硅容器及其制造方法

    公开(公告)号:CN102301041A

    公开(公告)日:2011-12-28

    申请号:CN201080006326.5

    申请日:2010-10-19

    Abstract: 本发明是一种二氧化硅容器的制造方法,所述制造方法先制作Li、Na、K的合计浓度在50wt.ppm以下的基体形成用原料粉及含有Ca、Sr、Ba合计为50~2000wt.ppm的内层形成用粉,然后在模框内形成基体的暂时成形体,并在其内表面上形成内层的暂时成形体,而在以超过10vol.%的比率含有氢或氦或这些气体的混合气体的气体气氛中,通过放电加热熔融法来从基体和内层的暂时成形体的内侧进行加热,而将基体的暂时成形体的外周部分作成烧结体,并且将基体的暂时成形体的内周部分和内层的暂时成形体作成熔融玻璃体,由此来制造一种二氧化硅容器,所述二氧化硅容器具有:基体,其在外周部分含有气泡;及内层,其被形成在该基体的内表面上,并由透明二氧化硅玻璃所构成。由此,提供一种二氧化硅容器的制造方法及这样的二氧化硅容器,该二氧化硅容器的制造方法,能够以低成本来制造出具有高尺寸精确度及高耐热性的二氧化硅容器。

    二氧化硅容器及其制造方法

    公开(公告)号:CN102197002A

    公开(公告)日:2011-09-21

    申请号:CN201080003082.5

    申请日:2010-06-01

    CPC classification number: C03B19/09 C03B19/095 Y02P40/57

    Abstract: 本发明涉及一种二氧化硅容器的制造方法,用以制造具备二氧化硅基体而构成的二氧化硅容器,该二氧化硅基体具有旋转对称性。该制造方法包含:暂时成形的工序,其一边使具有减压用孔的碳制外模框旋转,一边导入基体用原料粉至外模框的内壁,将该基体用原料粉暂时成形为规定形状;及形成二氧化硅基体的工序,其一边从二氧化硅基体的暂时成形体的内周侧供给还原性气体,该还原性气体含有超过10体积%比率的H2气体,一边从二氧化硅基体的暂时成形体的外周侧来进行减压而脱气,并通过使用碳电极而实行的放电加热熔融法,从二氧化硅基体的暂时成形体的内侧进行加热来将二氧化硅基体的暂时成形体的外周部分作成烧结体,并将内侧部分作成熔融玻璃体。

    硅晶片热处理用石英玻璃夹具及其制造方法

    公开(公告)号:CN101199040B

    公开(公告)日:2010-05-19

    申请号:CN200680021691.7

    申请日:2006-06-01

    CPC classification number: H01L21/67303 H01L21/67306

    Abstract: 一种具有透明的切槽面的硅晶片热处理用石英玻璃夹具及其制造方法,该切槽面不会附着玻璃粉、金刚石刀等导致的过渡金属元素异物的颗粒,并且,即使在氟酸洗涤中尺寸变化也小,即使长时间使用也可高度维持清洁度,其中,上述颗粒是由以微小凹凸、微裂纹为基础的空隙的锐角凹凸的损坏引起的。硅晶圆热处理用石英玻璃夹具具备晶片载置用部件,该晶片载置用部件具有通过切削加工形成的切槽面,上述晶片载置用部件的切槽面整体为透明的,其表面粗糙度按中心线平均粗糙度(Ra)为0.03~0.3μm,按最大粗糙度(Rmax)为0.2~3.0μm,并且以5%的氟化氢水溶液处理24小时后,中心线平均粗糙度和最大粗糙度的变化率为50%以下;硅晶片热处理用石英玻璃夹具的制造方法是以粒度粗的金刚石刀对晶片载置用部件进行粗切削后,以比上述金刚石刀粒度细的金刚石刀进行再切削,接着对槽内部进行烧成。

    成型板、石英玻璃坩埚的制造装置以及石英玻璃坩埚的制造方法

    公开(公告)号:CN113493301B

    公开(公告)日:2024-07-30

    申请号:CN202110350161.3

    申请日:2021-03-31

    Inventor: 石原裕

    Abstract: 本发明提供一种成型板,其为了对应多种用户要求并且兼顾提高生产性和节约原料、以及削减废弃物,而能够灵活地变更模具内的原料粉成型体形状。该成型板在制造石英玻璃坩埚的装置中用于成型原料粉成型体,其中,所述制造石英玻璃坩埚的装置具备模具和原料粉供给单元,并将供给至所述模具的内侧的原料粉成型为坩埚形状的所述原料粉成型体,并进行熔融,所述成型板具备成型板主体、以及相对于该成型板主体可拆装的边缘板,所述边缘板在当所述成型板配置于所述模具的内侧时与所述原料粉成型体的上端部相对的位置上具有与所述原料粉成型体的上端部的表面的形状对应的形状。

    石英玻璃坩埚及其制造方法

    公开(公告)号:CN111936678B

    公开(公告)日:2023-03-31

    申请号:CN201980024394.5

    申请日:2019-02-19

    Inventor: 马场裕二

    Abstract: 本发明提供一种石英玻璃坩埚,其由底部、弯曲部及直体部构成,其中,所述石英玻璃坩埚具有由含有气泡的不透明石英玻璃构成的外层与由透明石英玻璃构成的内层,所述外层由相同种类的原料粉末、或两种以上不同种类的原料粉末制成,并具有两个以上以所述气泡的含有密度进行区分的部位,关于所述外层中相邻的两个部位的气泡含有密度,将所述气泡的含有密度大的部位a的气泡含有密度设为da(pcs/mm3)、将所述气泡的含有密度小的部位b的气泡含有密度设为db(pcs/mm3)时,所述相邻的两个部位中的气泡含有密度的差D=(da‑db)/db为10%以上。由此提供一种石英玻璃坩埚的外层中的各个部位可具备不同功能的石英玻璃坩埚。

    具有优异UV吸收的含钛石英玻璃及其生产方法

    公开(公告)号:CN113631522A

    公开(公告)日:2021-11-09

    申请号:CN202080025547.0

    申请日:2020-01-17

    Abstract: 提供一种具有优异UV吸收的含钛石英玻璃,其中所述石英玻璃吸收波长为250nm或更短的紫外线,防止臭氧产生相关的对人体所造成的不利影响,所述石英玻璃在近紫外光至可见光的范围内的透射率不会因在紫外线照射时显色而发生下降,抑制吸收积累或灯爆裂引起的变形积累,这是由所述石英玻璃在紫外线照射时在200‑300nm范围内发生的结构变化引起的,并且即使暴露于紫外线也不会发生预期波长范围内的透射率下降。具有优异UV吸收的所述含钛石英玻璃是无色的,其中钛的平均浓度为10‑500ppm,OH基团的浓度为10‑350ppm,Al、Li、Na、K、Ca、Mg、Fe、Ni、Cu、Cr、Mo和V各元素浓度为50ppb或更低(总计150ppb或更低),并且氯的浓度低于30ppm。

    成型板、石英玻璃坩埚的制造装置以及石英玻璃坩埚的制造方法

    公开(公告)号:CN113493301A

    公开(公告)日:2021-10-12

    申请号:CN202110350161.3

    申请日:2021-03-31

    Inventor: 石原裕

    Abstract: 本发明提供一种成型板,其为了对应多种用户要求并且兼顾提高生产性和节约原料、以及削减废弃物,而能够灵活地变更模具内的原料粉成型体形状。该成型板在制造石英玻璃坩埚的装置中用于成型原料粉成型体,其中,所述制造石英玻璃坩埚的装置具备模具和原料粉供给单元,并将供给至所述模具的内侧的原料粉成型为坩埚形状的所述原料粉成型体,并进行熔融,所述成型板具备成型板主体、以及相对于该成型板主体可拆装的边缘板,所述边缘板在当所述成型板配置于所述模具的内侧时与所述原料粉成型体的上端部相对的位置上具有与所述原料粉成型体的上端部的表面的形状对应的形状。

    石英玻璃纱及石英玻璃布
    80.
    发明授权

    公开(公告)号:CN111684117B

    公开(公告)日:2021-06-04

    申请号:CN201980011268.6

    申请日:2019-10-25

    Inventor: 铃木健太郎

    Abstract: 根据低介电常数及低损耗以外还加上特性阻抗的稳定化,提供信号传递速度稳定的石英玻璃纱及石英玻璃布。具有曲率半径5mm以下且弯折角120度以下的弯曲点的缠络的缠络密度为0.10个/cm以下的石英玻璃纱。上述石英玻璃纱的拉伸强度为2.0GPa以上,构成上述石英玻璃纱的石英玻璃丝的开始断裂强度为上述石英玻璃纱的拉伸强度的80.0%以上为佳。

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