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公开(公告)号：CN110574290B
公开(公告)日：2021-01-15
申请号：CN201880025872.X
申请日：2018-02-20
Applicant: 日本碍子株式会社
Abstract: 本发明提供一种弹性波元件，是将压电性材料基板与支撑基板借助接合层而接合的弹性波元件，其结构能够进一步改善弹性波的传播损失及频率的温度特性。弹性波元件具备：压电性材料基板2A、压电性材料基板2A上的电极4、支撑基板3、以及将压电性材料基板2A与支撑基板3接合的接合层1A。接合层1A包含水晶。
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公开(公告)号：CN111033764A
公开(公告)日：2020-04-17
申请号：CN201780093879.0
申请日：2017-08-24
Applicant: 日本碍子株式会社
Abstract: 本发明在包含选自氮化镓、氮化铝、氮化铟或它们的混晶中的13族元素氮化物结晶且具有上表面及底面的13族元素氮化物结晶层的基础上，提供一种能够降低位错密度、从整体上减少特性偏差的微结构。其特征在于，在利用阴极发光观察13族元素氮化物结晶层13的上表面13a时，具有线状的高亮度发光部5和与高亮度发光部5相邻的低亮度发光区域6。上表面13a的X射线摇摆曲线的(0002)晶面反射的半值宽度为3000秒以下20秒以上。
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公开(公告)号：CN110574290A
公开(公告)日：2019-12-13
申请号：CN201880025872.X
申请日：2018-02-20
Applicant: 日本碍子株式会社
Abstract: 本发明提供一种弹性波元件，是将压电性材料基板与支撑基板借助接合层而接合的弹性波元件，其结构能够进一步改善弹性波的传播损失及频率的温度特性。弹性波元件具备：压电性材料基板2A、压电性材料基板2A上的电极4、支撑基板3、以及将压电性材料基板2A与支撑基板3接合的接合层1A。接合层1A包含水晶。
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公开(公告)号：CN108781064B
公开(公告)日：2019-10-11
申请号：CN201780017368.0
申请日：2017-02-22
Applicant: 日本碍子株式会社
IPC: H03H3/08 , H01L41/313 , H01L41/337 , H01L41/39 , H03H9/25
Abstract: 在压电性材料基板1上形成接合层3，接合层3包含选自由氮化硅、氮化铝、氧化铝、五氧化钽、莫来石、五氧化铌和氧化钛构成的组中的一种以上的材质。通过对接合层的表面4和支撑基板的表面照射中性束A，将接合层的表面和支撑基板的表面活化。将接合层的表面5与支撑基板的表面直接键合。
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公开(公告)号：CN108138361A
公开(公告)日：2018-06-08
申请号：CN201680052907.X
申请日：2016-09-30
Applicant: 日本碍子株式会社
IPC: C30B29/38 , C30B19/12 , H01L21/20 , H01L21/208
Abstract: 作为本发明的一个实施方式的基底基板(14)在蓝宝石基板(15)上具备第13族氮化物的晶种层(16)。在晶种层(16)的主面以条纹状重复出现凸部(16a)和凹部(16b)，凸部(16a)的阶差(ha)为0.3～40μm，凸部(16a)的宽度(wa)为5～100μm，凹部(16b)的厚度(tb)为2μm以上，凹部(16b)的宽度(wb)为50～500μm。
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公开(公告)号：CN105900298A
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201580003751.1
申请日：2015-01-07
Applicant: 日本碍子株式会社
CPC classification number: H01S5/141 , G02B6/1228 , G02B6/124 , G02B2006/12097 , H01S5/028 , H01S5/0287 , H01S5/0612 , H01S5/0654 , H01S5/1014 , H01S5/146 , H01S2301/163 , H01S2301/185
Abstract: 半导体激光器光源2包括使半导体激光振荡的活性层5。光栅元件包括：脊型光波导18，其具有射入半导体激光的入射面11a和射出所需波长的出射光的出射面11b，布拉格光栅12，其由形成在脊型光波导18内的凹凸构成，以及出射侧传播部20，其设置在布拉格光栅12和出射面11b之间。在布拉格光栅的反射波长域进行激光振荡。布拉格光栅12处的光波导的宽度Wm和出射面处的光波导的宽度Wout不同。
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公开(公告)号：CN105830237A
公开(公告)日：2016-08-03
申请号：CN201480069022.1
申请日：2014-12-08
Applicant: 日本碍子株式会社
Abstract: 本发明提供一种发光元件用复合基板，所述发光元件用复合基板适于以低成本制造大面积的发光元件。该发光元件用复合基板包含：由取向多晶氧化铝烧结体构成的基板和形成在基板上的发光功能层，上述发光功能层具有二层以上在大致法线方向具有单晶结构的、由多个半导体单晶粒子构成的层。
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公开(公告)号：CN102098019B
公开(公告)日：2015-06-17
申请号：CN201010171023.0
申请日：2010-04-28
Applicant: 日本碍子株式会社
IPC: H03H9/00
CPC classification number: H01L41/29 , H01L41/313 , H03H3/08 , H03H9/02574 , Y10T428/2804 , Y10T428/2848 , Y10T428/31515 , Y10T428/31518 , Y10T428/31616 , Y10T428/31786
Abstract: 本发明涉及一种复合基板及金属图形的形成方法。其中，该复合基板是一种通过有机粘合层粘合了压电基板和支撑基板的复合基板，利用剥离加工，能够高精度地形成所需的金属图形。复合基板(10)，是通过有机粘合层(13)粘合了能够透射用于光刻蚀的光线的压电基板(11)、和支撑该压电基板(11)的支撑基板(12)的复合基板。该复合基板(10)中，支撑基板(12)和有机粘合层(13)的至少一方能够吸收用于光刻蚀的光线。
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公开(公告)号：CN103237931A
公开(公告)日：2013-08-07
申请号：CN201280003037.9
申请日：2012-08-09
Applicant: 日本碍子株式会社
IPC: C30B29/38 , C30B19/02 , H01L21/208 , H01L33/32
CPC classification number: H01L33/32 , C30B19/02 , C30B29/38 , C30B29/403 , H01L21/0237 , H01L21/0242 , H01L21/02458 , H01L21/0254 , H01L21/02576 , H01L21/02625 , H01L33/007
Abstract: 在晶种基板（11）上，通过助熔剂法由含有助熔剂及13族元素的熔液，于含氮氛围下育成13族元素氮化物（3）。13族元素氮化物膜（3）含有夹杂物分布层（3a）和夹杂物缺乏层（3b），所述夹杂物分布层（3a）被设置于自晶种基板（11）侧的界面起50μm以下的区域，且分布有源自熔液的构成成分的夹杂物，所述夹杂物缺乏层（3b）被设置于该夹杂物分布层（3a）上。
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