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公开(公告)号：CN102971801B
公开(公告)日：2016-06-01
申请号：CN201180021391.X
申请日：2011-04-26
Applicant: 原子能与替代能源委员会
CPC classification number: G21K1/02 , G21K1/025 , G21K1/06 , G21K2201/06 , G21K2201/062 , G21K2201/067
Abstract: 本发明涉及一种用于X射线束的准直设备、用于通过X射线束的散射来分析样品(105)的光学设备以及用于X射线束的准直仪。该准直设备包括意图在真空或受控气氛下的外壳(110)，该外壳(110)具有用于射束的入口(120)和出口(121)及由具有衍射周期性结构的材料制成的至少一个板(104)，所述板(104)具有两个主面(104a，104b)和在所述面之间的至少一个加宽的孔(104c)。
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公开(公告)号：CN102918603B
公开(公告)日：2015-12-09
申请号：CN201180026105.9
申请日：2011-05-20
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G21K1/06
CPC classification number: G21K1/06 , G21K2201/067 , H01J11/44 , H01J35/065
Abstract: 提供一种X射线波导，其呈现较小的传播损耗并具有使其相位受控的波导模式。该X射线波导包括：芯(404)，用于引导在使材料的折射率实部小于等于1的波长带中的X射线；以及包层(402,403)，用于将X射线约束在芯中，其中：X射线是通过在芯与包层之间的界面处的全反射而被约束在芯中的；在芯中周期性地布置具有不同折射率实部的多种材料(405,406)；以及X射线波导的波导模式使得在垂直于芯中的X射线的波引导方向的方向上X射线的电场强度分布或磁场强度分布的波腹或波节的数量与周期结构的周期数量相一致。
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公开(公告)号：CN102138185B
公开(公告)日：2015-09-09
申请号：CN200980126444.7
申请日：2009-07-01
Applicant: 皇家飞利浦电子股份有限公司
Inventor： C·梅茨马歇尔
IPC: G21K1/06
CPC classification number: G02B5/283 , B82Y10/00 , G21K1/062 , G21K2201/061 , G21K2201/067
Abstract: 本发明涉及改进的EUV反射元件，包括：a)第一层，基本上由高反射性材料制成,其中第一层基本上由选自以下组中的材料制成：钛、钒、铬、钇、锆、铌、锝、钌、铑、钯、银、钽、钨、铼、锇、铱、铂、金、铊、铅、类金刚石碳（DLC）或其混合物和/或合金；b)第二层，厚度≤5nm，基本上由耐溅射性≤10nm/108次射击的材料制成，其中第二层基本上由选自以下组中的材料制成，该组包括：高共价金属氧化物、氮氧化物、磷化物、硫化物或其混合物,或者基本上由选自以下组中的材料制成，所述组包括：钨、石墨、石墨烯、碳复合材料和/或碳纤维材料和/或其混合物,或者基本上由合金制成，其中所述合金的至少一种成分从以下组中选出，所述组包括钼、钨、钛和铼,并且由此第二层被设置在入射的和/或反射的EUV光的路径中。
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公开(公告)号：CN103876761A
公开(公告)日：2014-06-25
申请号：CN201410089754.9
申请日：2009-10-27
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: G06T7/0002 , A61B6/4291 , A61B6/484 , G01J9/02 , G01N23/04 , G01N23/20075 , G01N2223/401 , G21K1/06 , G21K2201/06 , G21K2201/067
Abstract: 公开了能够至少通过单个成像操作获取被检体的微分相位图像或相位图像的X射线成像装置和X射线成像方法。X射线成像装置包括相位光栅（130）、吸收光栅（150）、检测器（170）和算术单元（180）。算术单元（180）执行通过对于由检测器获取的波纹图案的强度分布的傅立叶变换来获取空间频率谱的傅立叶变换处理。算术单元还执行使与载波频率对应的谱与由傅立叶变换处理获取的空间频率谱分离并然后使用逆傅立叶变换来获取微分相位图像的相位恢复处理。
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公开(公告)号：CN102150218B
公开(公告)日：2014-04-16
申请号：CN200980135762.X
申请日：2009-08-19
Applicant: 旭硝子株式会社
IPC: G21K1/06 , C03C23/00 , G03F7/20 , H01L21/027
CPC classification number: B82Y40/00 , B82Y10/00 , C03C23/0025 , C03C2204/08 , G03F1/24 , G03F1/60 , G21K2201/067
Abstract: 本发明提供一种将EUVL用光学部件的具有凹陷缺陷点的光学面平滑化的方法。具体而言，本发明提供一种如下所述将EUVL用光学部件的光学面平滑化的方法，即，对含有TiO2且以SiO2为主成分的石英玻璃材料制的EUV光刻(EUVL)用光学部件的具有凹陷缺陷点的光学面，在水蒸气分压3.6mmHg以下的气氛中，以能量密度0.3～1.5J/cm2，照射以EUVL用光学部件的吸收系数为0.01μm-1以上的波长进行振荡的激光，从而将EUVL用光学部件的光学面平滑化。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102057332B
公开(公告)日：2014-04-09
申请号：CN200980121967.2
申请日：2009-05-20
Applicant: ASML荷兰有限公司
Inventor： R·施密特兹 , T·范埃姆派尔 , M·姆伊特詹斯 , 程伦 , F·詹森 , W·范海尔登 , R·沃思鲁伊斯 , P·斯加里曼 , A·莱克斯蒙德 , E·尼埃乌库普 , B·伯特斯 , M·莱蒙 , R·范德格拉夫 , M·德克鲁恩 , H·维尔苏伊斯
CPC classification number: G03F7/70891 , G02B7/008 , G03F7/70875 , G03F7/709 , G03F7/70983 , G21K2201/067
Abstract: 提供一种用于热调节光学元件的方法，所述方法包括：用辐射照射光学元件的步骤；不用辐射照射所述光学元件的步骤；在所述光学元件和保持在调节流体储存器内的调节流体之间实现热流动；和提供所述调节流体的流体流动，以提供热调节后的流体至所述储存器。所述流体在所述光学元件的照射期间的流量低于所述光学元件不被照射时所述流体的流量。
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公开(公告)号：CN103443863A
公开(公告)日：2013-12-11
申请号：CN201280015247.X
申请日：2012-03-21
Applicant: 卡尔蔡司SMT有限责任公司
IPC: G21K1/06
CPC classification number: G21K1/062 , B82Y10/00 , G02B5/0891 , G03F7/70075 , G03F7/70166 , G03F7/702 , G21K2201/067
Abstract: 一种EUV反射镜布置(100)，具有彼此并排布置并且共同形成所述反射镜布置的反射镜表面的多个反射镜元件(110、111、112)。每个反射镜元件具有基板(120)和多层布置(130)，所述多层布置被施加到所述基板上，并关于来自极紫外范围(EUV)的辐射具有反射效果，所述多层布置包括多个层对(135)，该层对具有由高折射率层材料和低折射率层材料组成的交替层。所述多层布置具有活性层(140)，该活性层布置在辐射进入表面和基板之间，并由压电活性层材料组成，可通过电场的作用来改变所述活性层的层厚度(z)；对于每个活性层，提供电极布置，用于产生作用于所述活性层的电场。
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公开(公告)号：CN103400627A
公开(公告)日：2013-11-20
申请号：CN201310386155.9
申请日：2009-10-20
Applicant: 应用材料公司
CPC classification number: G21K1/062 , B82Y10/00 , G21K2201/064 , G21K2201/065 , G21K2201/067
Abstract: 一种用于紫外线灯的反射器，该紫外线灯可在基材处理设备中使用。该反射器包含在该紫外线灯长度上延伸的纵向带。该纵向带具有一弯曲反射表面并且包含数个通孔以将冷却剂气体导向该紫外线灯。在此亦描述使用具有反射器的紫外线灯模块的腔室以及紫外线处理的方法。
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公开(公告)号：CN103052876A
公开(公告)日：2013-04-17
申请号：CN201180037916.9
申请日：2011-08-01
Applicant: 佳能株式会社
Inventor： 向出大平
CPC classification number: G01N23/20 , G01N23/04 , G01N23/083 , G21K1/06 , G21K2201/06 , G21K2201/067 , G21K2207/005
Abstract: 一种用于导出X射线吸收和相位信息的装置包括：用于在空间上分割X射线的分割元件；用于检测透过被检体的X射线的强度的检测器，X射线的强度根据X射线相位以及位置变化而改变；以及用于计算X射线透射率图像和作为相位信息的X射线微分相位衬度或相移衬度图像的计算单元。X射线通过具有不等的狭缝宽度的光栅而被分成具有不同宽度的两个或更多个X射线，并且，被发射到检测器单元上。而且，计算单元基于该两个或更多个X射线之间的在检测器单元中的X射线强度变化和X射线相位变化之间的相关关系方面的差异计算X射线吸收和相位信息。
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公开(公告)号：CN102971801A
公开(公告)日：2013-03-13
申请号：CN201180021391.X
申请日：2011-04-26
Applicant: 原子能与替代能源委员会
CPC classification number: G21K1/02 , G21K1/025 , G21K1/06 , G21K2201/06 , G21K2201/062 , G21K2201/067
Abstract: 本发明涉及一种用于X射线束的准直设备、用于通过X射线束的散射来分析样品(105)的光学设备以及用于X射线束的准直仪。该准直设备包括意图在真空或受控气氛下的外壳(110)，该外壳(110)具有用于射束的入口(120)和出口(121)及由具有衍射周期性结构的材料制成的至少一个板(104)，所述板(104)具有两个主面(104a，104b)和在所述面之间的至少一个加宽的孔(104c)。
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