公开(公告)号：CN101978241B

公开(公告)日：2013-05-29

申请号：CN200980109275.6

申请日：2009-03-19

申请人： 凸版印刷株式会社

发明人： 米仓勋 ,  波木井秀充

IPC分类号： G01B15/00 ,  G01N23/225 ,  H01J37/22 ,  H01L21/66

CPC分类号： G01B15/04 ,  G01B2210/56 ,  G01N23/00 ,  G06T7/0006 ,  G06T7/13 ,  G06T2207/10061 ,  G06T2207/10152 ,  G06T2207/30148 ,  G21K7/00 ,  H01J2237/221 ,  H01J2237/2611 ,  H01J2237/2809 ,  H01J2237/2817

摘要： 一种微细结构体检查方法，用于检查样品微细结构图案的侧壁角度，其特征在于，具有：在多个SEM条件下拍摄所述样品微细结构图案的SEM照片的工序；测定所述SEM照片中的所述样品微细结构图案的边缘部位的白色带宽度的工序；基于所述白色带宽度随着所述多个SEM条件间的变化产生的变化量，计算出所述样品微细结构图案的侧壁角度的工序。

公开(公告)号：CN102376516A

公开(公告)日：2012-03-14

申请号：CN201110222290.0

申请日：2011-08-04

申请人： FEI公司

发明人： G.C.范霍夫滕 ,  J.洛夫 ,  F.J.P.舒尔曼斯 ,  M.A.W.斯特克伦堡 ,  R.亨德森 ,  A.R.法鲁奇 ,  G.J.麦克穆兰 ,  R.A.D.图尔切塔 ,  N.C.古里尼

IPC分类号： H01J37/22 ,  H01J37/26 ,  H01L27/146

CPC分类号： H01J37/244 ,  H01J37/22 ,  H01J37/26 ,  H01J37/263 ,  H01J2237/2441 ,  H01J2237/24455 ,  H01J2237/2446 ,  H01J2237/2447 ,  H01J2237/24578 ,  H01J2237/26 ,  H01J2237/2802

摘要： 本发明涉及薄电子探测器中的反向散射降低。在直接电子探测器中，防止电子从传感器下面到探测器部中的反向散射。在某些实施例中，在传感器下面保持空空间。在其它实施例中，在传感器下面的结构包括：或者延伸到传感器或者从传感器延伸以捕获电子的几何形状，诸如多个高纵横比通道；或者用于偏转通过传感器的电子的斜向表面的结构。

公开(公告)号：CN102292790A

公开(公告)日：2011-12-21

申请号：CN201080005312.1

申请日：2010-01-19

申请人： 株式会社日立高新技术

发明人： 星野吉延 ,  川俣茂

IPC分类号： H01J37/22 ,  H01J37/244 ,  H01J37/28

CPC分类号： H01J37/26 ,  H01J37/244

摘要： 本发明的电子显微镜具有：具有反射电子检测元件(9)的反射电子检测器；具有偏置电极(11)和试样台(12)的低真空二次电子检测器；以及切换所述各检测器的检测信号的信号切换器(14)。在观察条件存储器(20)中针对所述各检测器存储有最佳的观察条件。CPU(19)根据所述各检测器的切换来调出存储在观察条件存储器(20)中的观察条件，并设定电子显微镜的状态以形成所调出的观察条件。图像处理装置(22)将对应于所述各检测器的切换而得到的多个检测信号分别转换为二维图像信号，并对各个二维图像信号的画质进行评价。在画质优先模式下，CPU(19)根据图像处理装置(22)的评价结果来切换到评价值高的检测器进行图像显示。由此，在具有多个检测器的电子显微镜中，能够提供容易选择检测器以及容易设定针对检测器的最佳的观察条件的电子显微镜。

公开(公告)号：CN102203591A

公开(公告)日：2011-09-28

申请号：CN200980142940.1

申请日：2009-10-27

申请人： 斯奈克玛

发明人： 威廉姆·别亚 ,  玛丽·库欧科 ,  玛丽-诺艾尔·黑纳德 ,  比阿特丽斯·佩尔蒂埃

IPC分类号： G01N23/22 ,  G01N33/20 ,  G06T7/00 ,  H01J37/22 ,  G01N23/225

CPC分类号： G06T7/0004 ,  G01N23/2251 ,  G06T2207/30136 ,  G06T2207/30164

摘要： 本发明涉及一种通过图像分析来计算和分析一合金的方法，包括以下步骤：a)制备合金的样本；b)通过放大地观察样本的至少一个区域而确定夹杂物检测阈值；c)基于在步骤b)中所限定阈值检测样本的夹杂物，并计算该夹杂物；d)获取在步骤c)中检测到的各夹杂物的图像，并确定各夹杂物的尺寸；e)通过对每个检测的夹杂物进行化学分析，确定每个所检测夹杂物的化学成分；和f)通过在步骤d)中获取的图像形成样本的地图，地图显示出夹杂物的空间分布，其中各检测到的夹杂物由图形元素表示，图形元素的尺寸与夹杂物的尺寸成比例，图形元素的颜色与夹杂物的化学成分相关联。

公开(公告)号：CN101080801B

公开(公告)日：2010-06-23

申请号：CN200680001306.2

申请日：2006-01-20

申请人： 株式会社岛津制作所

发明人： 今井大辅

IPC分类号： H01J37/04 ,  H01J37/20 ,  H01J37/22

CPC分类号： H01J37/28 ,  H01J37/222 ,  H01J37/265 ,  H01J37/3045 ,  H01J2237/2817

摘要： 本发明的目的在于提供一种扫描电子束照射装置，能够自动地校正扫描信号的视野偏移。本发明的扫描电子束照射装置(1)，具备：于二次元方向可移动的平台(3)、照射扫描电子束至试料的电子束源(2)、设置于试料的标记、检测出扫描电子束的照射位置而来的荷电粒子等的检测机构(4)、根据此检测机构而来的检测信号，形成扫描图像的图像形成机构(5)、检测出此图像形成机构所形成的扫描图像中的标记位置的位置偏移，并算出位置偏移校正系数，控制电子束源及平台的驱动的控制机构(7、8、9)。藉由采用具有多个电子束源的装置，可以校正电子束源间的相对的位置关系。

公开(公告)号：CN101133473A

公开(公告)日：2008-02-27

申请号：CN200680007110.4

申请日：2006-03-28

申请人： 株式会社岛津制作所

发明人： 今井大辅

IPC分类号： H01J37/22

CPC分类号： H01J37/22

摘要： 在将来自多个荷电粒子束源的荷电粒子束二维扫描于试料上，并形成扫描图像的扫描束装置中，具有：第1步骤(S3)，其针对借由各荷电粒子束所获得的各扫描图像的讯号强度，求出讯号强度分布；第2步骤(S4)，其以成为同一分布形状的方式使各讯号强度分布的分布形状一致；以及第3步骤，其求出使各讯号强度分布的分布形状为同一分布形状时的各扫描图像的讯号强度。注目在由试料的测试对象而获得的扫描图像的强度分布的分布形状，在来自各荷电粒子束源而获得的扫描图像中，使该强度分布的分布形状一致，因此无需使用基准强度，即可降低借由多个荷电粒子束源所取得的扫描图像的讯号强度的不均一。

公开(公告)号：CN1245606C

公开(公告)日：2006-03-15

申请号：CN03150837.5

申请日：2003-09-08

申请人： 上海市计量测试技术研究院

发明人： 盛克平 ,  丁听生 ,  张利明

IPC分类号： G01B21/02 ,  H01J37/26 ,  H01J37/22

摘要： 本发明涉及物质形态分析及计量测试技术领域，尤其是涉及一种具有溯源值、并带有不确定度评估的、根据有证标准物质校准电子显微镜测量物质长度的方法。它包括如下步骤：a.校准电子显微镜；b.用电子显微镜拍摄被测物质图像；c.测量被测物质图像；d.计算被测物质的长度值L。本发明实现了用电子显微镜测量物质长度、使用有证标准物质来校准与最终图像的放大倍率具有唯一关联的电子显微镜输出图像上的显微标尺对电子显微镜进行有溯源性校准、并使用校准过的电子显微镜来拍摄物质的图像、测量和计算被拍摄物质的长度并可给出物质长度的不确定度评估方法。该方法使得被测量物质的测量值具有溯源性和带有不确定度评估值，改变了目前电子显微镜的测量值没有溯源性和不确定度评估的状态。

公开(公告)号：CN114342036B

公开(公告)日：2024-08-23

申请号：CN201980100022.6

申请日：2019-09-20

申请人： 株式会社日立高新技术

发明人： 小林光俊 ,  宫本敦 ,  星野吉延

IPC分类号： H01J37/22

摘要： 在带电粒子显微镜装置中的视野调整方法中，设定试样的参照数据，针对参照数据设定多个关心区域，针对多个关心区域的各区域设定稀疏的采样坐标组，根据采样坐标组对试样照射带电粒子而得到对应的像素值组，根据像素值组生成与多个关心区域对应的多个重构图像，根据多个重构图像推定多个关心区域的对应关系，根据对应关系调整多个关心区域。在此，采样坐标组的设定根据参照数据来进行。

公开(公告)号：CN118401901A

公开(公告)日：2024-07-26

申请号：CN202280083272.5

申请日：2022-12-13

申请人： ASML荷兰有限公司

发明人： 付继有 ,  苏静 ,  林晨希 ,  梁蛟 ,  陈光青 ,  邹毅

IPC分类号： G03F7/20 ,  G03F9/00 ,  H01J37/22 ,  H01L21/66

摘要： 描述了一种与自适应权重图进行图像模板匹配的方法。图像模板设置有权重图，所述权重图基于在模板匹配期间基于所述图像模板在所述图像上的位置而被自适应地更新。描述一种在组合模板中模板匹配伪影或分组图案的方法，其中所述图案包括比所述图像模板加权得更少的不强调区域。描述一种基于合成图像产生图像模板的方法。所述合成图像可以基于过程和图像建模来产生。描述一种选择分组图案或伪影和产生组合模板的方法。描述一种每层图像模板匹配的方法。

公开(公告)号：CN118098913A

公开(公告)日：2024-05-28

申请号：CN202410490781.0

申请日：2024-04-23

申请人： 国仪量子技术(合肥)股份有限公司

发明人： 王丹仪 ,  吴泽锋 ,  唐骐杰 ,  曹峰 ,  张伟 ,  贺羽

IPC分类号： H01J37/22 ,  H01J37/28

摘要： 本发明公开了一种扫描电镜图像的补偿方法、装置及存储介质、扫描电镜，该方法包括：根据扫描电镜对目标样品的扫描情况，通过电子束闸对到达目标样品的电子束进行通断控制；利用探测器分别得到电子束断开时产生的第一电信号和电子束导通时产生的第二电信号；根据第一电信号和目标偏置值对与第一电信号相邻第二电信号进行补偿，并根据补偿后的第二电信号生成目标样品的扫描电镜图像。该方法通过获取电子束断开时探测器产生的第一电信号以及电子束闸导通时探测器产生的第二电信号，根据第一电信号和目标偏置值对与第一电信号相邻第二电信号进行补偿，解决扫描电镜在刚开始扫描作业时图像采集效果存在异常的问题。