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公开(公告)号：CN100451737C
公开(公告)日：2009-01-14
申请号：CN200580017738.8
申请日：2005-04-25
申请人： 研究三角协会
摘要： 一种静电激励器，其具有包括第一电极(20)的基部(10)，并且具有柔性膜(50)，该柔性膜包括至少两个彼此相接触的不同材料的材料层。至少一个材料层包括与第一电极电隔离的第二电极(40)。该柔性膜包括：连接到基部的固定端部；和与固定端部相反的且与基部间隔开的自由端部，该自由端部构成为在静电力下相对于基部移动。在柔性膜中，第二电极至少具有由第三部分分隔开的第一和第二部分，并且第一和第二部分一起限定出设在固定端部附近的台阶。在第一部分、第二部分和所述台阶中，第一部分最靠近固定端部。在基部和柔性膜之间形成分级的缝隙，该分级的缝隙在对应于第一部分之处较窄。
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公开(公告)号：CN101026053A
公开(公告)日：2007-08-29
申请号：CN200610146735.0
申请日：2006-11-16
申请人： 三星电子株式会社
CPC分类号： H01H1/0036 , H01H2057/006 , H01P1/127
摘要： 提供一种向下类型微电子机械系统(MEMS)开关以及制造其的方法。向下类型MEMS开关包括：形成在基片中的第一和第二空腔；形成在第一和第二空腔的上部分的第一和第二激励器；形成在基片的上表面上并且不与第一和第二空腔重叠的第一和第二固定线；和与第一固定线和第二固定线相隔预定距离，但是当驱动第一激励器和第二激励器时能够接触第一固定线和第二固定线的接触垫。在制造RF信号线之后制造通过压电被向下激励的接触垫，从而该接触垫与RF信号线共享一层。
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公开(公告)号：CN1971300A
公开(公告)日：2007-05-30
申请号：CN200610163588.8
申请日：2006-10-20
申请人： 国际商业机器公司
发明人： 查尔斯·J·蒙特罗斯 , 王平川 , 罗伯特·D·爱德华兹 , 罗伯特·A·格罗夫斯 , 理查德·P·沃兰特 , 哈里克里亚·德利吉亚尼 , 托马斯·J·弗莱希曼
IPC分类号： G01R31/327 , H01H57/00
CPC分类号： H01H59/0009
摘要： 本发明提供多个用于在MEMS开关器件上进行可靠性和质量测试的测试结构。采用用于触点和间隙特性测量的测试结构，其使得迂回布局模拟上下致动电极的排。使用级联开关链测试以大样品尺寸监测工艺缺陷。使用环形振荡器测量开关速度和开关寿命。设置电阻器梯形测试结构以使得每个电阻器与要被测试的开关串联，和使得每个开关电阻器对电并联。利用与现有工艺的开关串联工作的MEMS开关而建立串联/并联测试结构。使用移位寄存器以监测MEMS开关的开放和闭合状态。使用移位寄存器测量吸合电压、脱离电压、漏电流和开关寿命。
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公开(公告)号：CN1295727C
公开(公告)日：2007-01-17
申请号：CN03805633.X
申请日：2003-03-10
申请人： 施耐德电器工业公司
IPC分类号： H01H57/00
CPC分类号： H01H57/00 , H01H9/563 , H01H51/2209
摘要： 本发明涉及一种电力开关装置，其中每个电极包括一个配备有至少一个可动触头(31a，31b)的可动桥接件(30)，可动触头(31a，31b)在断开和闭合位置之间与电极的至少一个固定触头(41a，41b)相互配合动作。开关装置包括至少一个作用在可动桥接件(30)上的双稳或音圈型接近型致动器(20)，以使可动桥接件(30)的可动触头(31a，31b)和固定触头(41a，41b)分开或合拢，并且每一电极包括一个压电型压力型致动器(42)，以便在不用机械复归装置的情况下，形成触头压力和使触头断开。
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公开(公告)号：CN1292447C
公开(公告)日：2006-12-27
申请号：CN02826914.4
申请日：2002-11-08
发明人： 肖恩·J·坎宁安 , 达纳·R·德吕斯 , 苏巴哈姆·塞特 , 斯韦特兰娜·塔蒂克-卢奇克
IPC分类号： H01H57/00
CPC分类号： B81B3/0024 , B81B3/0051 , B81B2201/014 , B81B2201/018 , B81B2203/0118 , B81B2203/04 , B81B2207/07 , B81C1/0015 , B81C2201/0107 , B81C2201/0108 , B81C2201/0109 , H01H1/04 , H01H1/504 , H01H59/0009 , H01H61/04 , H01H2001/0042 , H01H2001/0063 , H01H2001/0089 , H01H2059/0072 , H01H2061/006 , H01L23/3735 , H01L23/522 , H01L27/1203 , H01L2924/0002 , H01L2924/09701 , H02N1/006 , H02N10/00 , Y10T29/49222 , H01L2924/00
摘要： 提供一种悬挂在基板(102)上的活动的、三层微元件(108)，并且包括第一导电层(116)，将该第一导电层构图限定活动电极(114)。用间隙将基板(102)与第一金属层(116)分开。微元件(108)还包括在第一金属层(116)上形成并且一端相对于基板(102)固定的电介质层(112)。此外，微元件(102)包括在介质层(112)上形成的第二导电层(120)，并且构图限定与活动电极(114)电连接的电极互连(124)。
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公开(公告)号：CN1842886A
公开(公告)日：2006-10-04
申请号：CN200480024749.4
申请日：2004-08-27
申请人： 秦内蒂克有限公司
CPC分类号： H01H57/00 , H01G5/18 , H01G5/40 , H01H59/0009 , H01H2057/006
摘要： 一种微电子机械系统(MEMS)开关包括固定触点(24)和电枢(30)上的可动触点(35)。该开关具有与固定触点以及可动触点均相关用于提供静电开关操作的电极(22，34)，以及具有相关的电极(36，40)用于通过施加电压使电枢弯曲并提供初始压电开关操作以及后面的静电切换和夹紧的压电材料。电枢具有弯曲形状，当处于开关打开状态并且外加电压为零时，该电枢弯曲远离固定触点。这使得处于OFF状态时开关间隙较大，比如3pm，该间隙通过适于静电开关闭合的压电操作而减小。通过改变在电枢厚度上的应变提供一种弯曲状态，并且该弯曲状态在开关制造过程中产生。
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公开(公告)号：CN1790581A
公开(公告)日：2006-06-21
申请号：CN200410101947.8
申请日：2004-12-13
申请人： 台达电子工业股份有限公司
摘要： 一种微型切换器是由至少一基材、至少一固定部及至少一切换件所构成。基材具有至少一第一端子及至少一第一驱动单元，固定部高于基材，且固定部的一侧面与基材不平行。切换件是由至少一挠曲结构及至少一扭转结构所构成。挠曲结构具有至少一第二端子及至少一第二驱动单元，第二端子与第一端子相对应，第二驱动单元与第一驱动单元相对应。扭转结构一端接于前述侧面，另一端轴向接于挠曲结构，且扭转结构与挠曲结构不平行。
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公开(公告)号：CN1650383A
公开(公告)日：2005-08-03
申请号：CN02829517.X
申请日：2002-08-26
申请人： 国际商业机器公司
发明人： 克里斯托弗·V·扬斯 , 珍妮弗·L·伦德 , 凯瑟琳·L·萨恩格 , 理查德·P·沃兰特
CPC分类号： H01H59/0009 , H01H2057/006
摘要： 一种设置有可弯曲隔膜(60)的微机电(MEM)RF开关，该隔膜促动开关触点或柱塞(40)。隔膜结合有叉指型金属电极(70)，所述电极在被DC电场促动时于隔膜中引起应力梯度。该应力梯度引起隔膜(60)的可预测弯曲或位移，并用于机械地移位开关触点(30)。位于空腔(250)内的RF间隙区域(25)与叉指型金属电极(70)之间的间隙(71)完全分离。隔膜在两个相反的方向上被静电移位，从而帮助促动和释放开关。所述微机电开关包括：空腔(250)；与作为空腔的边界的第一表面整合的至少一个导电路径(20)；与作为空腔(250)的边界的第一表面平行的柔性隔膜(60)，柔性隔膜(60)具有多个促动电极(70)；以及在离开所述促动电极(70)的方向上附着到柔性隔膜(60)上的柱塞(40)，柱塞(40)具有与导电路径电接触的导电表面，打开和闭合该开关。
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公开(公告)号：CN1639818A
公开(公告)日：2005-07-13
申请号：CN03805633.X
申请日：2003-03-10
申请人： 施耐德电器工业公司
IPC分类号： H01H57/00
CPC分类号： H01H57/00 , H01H9/563 , H01H51/2209
摘要： 本发明涉及一种电力开关装置，其中每个电极包括一个配备有至少一个可动触头(31a，31b)的可动桥接件(30)，可动触头(31a，31b)在断开和闭合位置之间与电极的至少一个固定触头(41a，41b)相互配合动作。开关装置包括至少一个作用在可动桥接件(30)上的双稳或音圈型接近型致动器(20)，以使可动桥接件(30)的可动触头(31a，31b)和固定触头(41a，41b)分开或合拢，并且每一电极包括一个压电型压力型致动器(42)，以便在不用机械复归装置的情况下，形成触头压力和使触头断开。
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