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公开(公告)号:CN106687553A
公开(公告)日:2017-05-17
申请号:CN201580049063.9
申请日:2015-06-10
Applicant: 三星SDI株式会社
IPC: C09K3/14 , H01L21/304
CPC classification number: C09K3/14 , C09G1/02 , C09K3/1472 , H01L21/31058
Abstract: 本发明涉及用于抛光有机膜的用于有机膜的CMP浆料组合物以及使用其的有机膜抛光方法,所述CMP浆料组合物包含:极性溶剂和/或非极性溶剂;金属氧化物研磨剂;氧化剂;和杂环化合物,其中作为杂原子的杂环化合物包含氧(O)原子、硫(S)原子和氮(N)原子中的一种或两种并且具有50‑95原子%的碳含量。
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公开(公告)号:CN105143390A
公开(公告)日:2015-12-09
申请号:CN201480021926.7
申请日:2014-04-17
Applicant: 三星SDI株式会社
IPC: C09K3/14 , H01L21/304
CPC classification number: C09G1/02 , B24B1/00 , B24B37/044 , C09G1/00 , C09G1/04 , C09G1/06 , C09K3/1454 , C09K3/1463 , C09K3/1472 , C09K13/06 , H01L21/30625 , H01L21/31058 , H01L21/3212
Abstract: 本发明涉及一种用于研磨有机膜的有机膜CMP浆料组成物,其包含至少极性溶剂或非极性溶剂以及金属氧化物研磨剂,其中所述组成物为酸性,且所述有机膜具有约50原子%至95原子%的碳含量,且本发明涉及使用其的研磨方法。
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公开(公告)号:CN101286561A
公开(公告)日:2008-10-15
申请号:CN200710300121.8
申请日:2007-12-17
Applicant: 三星SDI株式会社
CPC classification number: H01M4/485 , C01G31/006 , C01G37/006 , C01G39/006 , C01G41/006 , C01G45/1228 , C01G49/009 , C01G51/50 , C01P2002/52 , C01P2002/54 , C01P2002/74 , C01P2006/40 , H01M4/505 , H01M4/525 , H01M4/5825 , H01M10/052
Abstract: 本发明提供了用于可充电锂电池的负极活性材料、其制造方法和包含该负极活性材料的可充电锂电池。负极活性材料包括由式Li1+xV1-x-yMyO2+z表示的化合物。在一个实施例中,该化合物具有范围从大约50nm至大约30μm的平均颗粒尺寸。在另一实施例中,当使用CuKα X射线进行测量时,负极活性材料的(003)面衍射强度与(104)面衍射强度之比的范围为从大约1∶0.01至大约1。根据另一实施例,在以0.5C进行五次充电/放电循环之后,负极活性材料的比表面积增加到小于在五次充电/放电循环之前的比表面积的大约20倍。该负极活性材料可以提高电池容量和循环寿命特性。
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公开(公告)号:CN107636110B
公开(公告)日:2020-08-11
申请号:CN201680027986.9
申请日:2016-05-09
Applicant: 三星SDI株式会社
IPC: C09K3/14 , H01L21/3105
Abstract: 本发明揭示用于研磨碳含量为约50原子%至约99原子%的有机膜的化学机械研磨(CMP)浆料组合物的用途及用于研磨有机膜的方法。CMP浆料组合物包含:极性溶剂及非极性溶剂中的至少一者;金属氧化物磨蚀剂;氧化剂;以及分子量为3500克/摩尔或小于3500克/摩尔的聚丙烯酸。CMP浆料组合物在研磨具有高碳含量、高膜密度以及高硬度的有机膜时提供优良效应,在研磨有机膜时具有比在研磨无机膜时更佳的研磨速率,在研磨有机膜之后在经研磨表面上提供良好平坦性,以及通过容易自研磨停止膜移除残余有机膜材料而使得研磨更均一。
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公开(公告)号:CN107636110A
公开(公告)日:2018-01-26
申请号:CN201680027986.9
申请日:2016-05-09
Applicant: 三星SDI株式会社
IPC: C09K3/14 , H01L21/3105
CPC classification number: C09K3/14 , H01L21/304
Abstract: 本发明揭示用于研磨碳含量为约50原子%至约99原子%的有机膜的CMP浆料组合物及使用其的研磨方法。CMP浆料组合物包含:极性溶剂及非极性溶剂中的至少一者;金属氧化物磨蚀剂;氧化剂;以及分子量为3500克/摩尔或小于3500克/摩尔的聚丙烯酸。CMP浆料组合物在研磨具有高碳含量、高膜密度以及高硬度的有机膜时提供优良效应,在研磨有机膜时具有比在研磨无机膜时更佳的研磨速率,在研磨有机膜之后在经研磨表面上提供良好平坦性,以及通过容易自研磨停止膜移除残余有机膜材料而使得研磨更均一。
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公开(公告)号:CN105143390B
公开(公告)日:2019-08-13
申请号:CN201480021926.7
申请日:2014-04-17
Applicant: 三星SDI株式会社
IPC: C09K3/14 , H01L21/304
CPC classification number: C09G1/02 , B24B1/00 , B24B37/044 , C09G1/00 , C09G1/04 , C09G1/06 , C09K3/1454 , C09K3/1463 , C09K3/1472 , C09K13/06 , H01L21/30625 , H01L21/31058 , H01L21/3212
Abstract: 本发明涉及一种用于研磨有机膜的有机膜CMP浆料组成物及使用其的研磨方法,该CMP浆料组成物包含至少极性溶剂或非极性溶剂以及金属氧化物研磨剂,其中所述组成物为酸性,且所述有机膜具有约50原子%至95原子%的碳含量。该CMP浆料组成物在研磨具有高碳含量、膜密度及硬度的有机膜后在研磨表面上展示极优良平坦化程度,且使残余在研磨停止膜上的有机膜的残余物(residue)易于移除,借此确保更均匀研磨。
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公开(公告)号:CN106687553B
公开(公告)日:2019-01-11
申请号:CN201580049063.9
申请日:2015-06-10
Applicant: 三星SDI株式会社
IPC: C09K3/14 , H01L21/304
Abstract: 本发明涉及用于抛光有机膜的用于有机膜的CMP浆料组合物以及使用其的有机膜抛光方法,所述CMP浆料组合物包含:极性溶剂和/或非极性溶剂;金属氧化物研磨剂;氧化剂;和杂环化合物,其中作为杂原子的杂环化合物包含氧(O)原子、硫(S)原子和氮(N)原子中的一种或两种并且具有50‑95原子%的碳含量。
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公开(公告)号:CN107109192A
公开(公告)日:2017-08-29
申请号:CN201580061512.1
申请日:2015-12-07
Applicant: 三星SDI株式会社
IPC: C09K3/14 , H01L21/306 , C23F3/04
CPC classification number: C09G1/02 , B24B37/044 , C09K3/1409 , C09K3/1436 , C09K3/1463 , C23F3/04 , H01L21/3212 , C09K3/1454 , H01L21/30625
Abstract: 本发明提供一种用于研磨铜的CMP浆料组合物。CMP浆料组合物包含:研磨粒子及去离子水,其中所述研磨粒子包含无机粒子及有机粒子,且无机粒子与有机粒子两者均具有正界达电位。
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