电致发光元件中的荧光体膜形成用高强度溅射靶

    公开(公告)号:CN101171364A

    公开(公告)日:2008-04-30

    申请号:CN200680015567.X

    申请日:2006-05-01

    IPC分类号: C23C14/34 C09K11/08

    CPC分类号: C09K11/7728 C23C14/3414

    摘要: 本发明提供一种即使在大气中长时间放置,仍能够维持高强度的电致发光元件中的荧光体膜形成用溅射靶。其具有:Al:20~50质量%、Eu:1~10质量%、其余部分为Ba和不可避免杂质而成的组成,且具有固溶了Eu的Ba和Al的金属间化合物相构成的组织,所述固溶了Eu的Ba和Al的金属间化合物相是由BaAl4金属间化合物相与Ba7Al13金属间化合物相构成,且Eu分别固溶于所述BaAl4金属间化合物与Ba7Al13金属间化合物中的Ba的金属间化合物相。