公开(公告)号：CN107104073A

公开(公告)日：2017-08-29

申请号：CN201710071162.8

申请日：2013-02-04

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 林德太郎 ,  道木裕一 ,  前岛浩光

IPC: H01L21/687 ,  H01L21/67

Abstract: 本发明提供一种基板搬送装置，当搬送在周边部设置有切口的圆形的基板时，即使检测该基板周边部的位置的传感器部的数量少，也能高精度地将基板搬送至组件。本发明执行以下步骤：使保持有从第一组件接受到的基板的基板保持部相对上述传感器部分别位于预先设定的第一位置、第二位置，检测基板的周边部的各位置的第一和第二步骤；判别光源部的光照射区域位于基板的切口的异常状态的种类的第三步骤；和根据第三步骤的判别，基于在第一位置或第二位置检测出的周边部的各位置决定基板保持部相对第二组件的交接位置，或在第三位置重新检测基板周边部的各位置，基于该各位置决定交接位置。

公开(公告)号：CN104867856A

公开(公告)日：2015-08-26

申请号：CN201510246746.5

申请日：2011-08-19

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 林德太郎 ,  坂口公也

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/68 ,  H01L21/027

CPC classification number: H01L21/681 ,  H01L21/68 ,  H01L21/67703 ,  H01L21/0274 ,  H01L21/677

Abstract: 提供一种当将基板的周缘部存在缺口的基板用夹具保持并搬运时，能够高精度地检测基板位置的偏移量，能够容易地修正该偏移量，并且同时确认夹具的状态并进行修正的基板搬运装置。包括：基座；设置成从基座进退自如，保持基板的保持部；当保持部以保持有基板的状态后退时，在各个不同的位置检测保持部所保持的基板的周缘部的位置的4个以上的检测部；和基于检测部检测出的周缘部的位置的检测值，对检测部的任一个是否检测到基板的周缘部的设置有缺口的部分进行判定，在判定为一个检测部检测到设置有缺口的部分时，基于一个检测部以外的3个检测部的检测值，在搬运到下一个处理单元时对处理单元的基板的交接位置进行修正的控制部。

公开(公告)号：CN102738049B

公开(公告)日：2014-12-31

申请号：CN201210105298.3

申请日：2012-04-11

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 林德太郎

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/67 ,  G03F7/00

CPC classification number: H01L21/67259 ,  G03F7/162 ,  G03F7/3021 ,  H01L21/67742 ,  H01L21/67748 ,  H01L21/681

Abstract: 本发明提供能够对基板从基板输送装置的吸附机构所使用的衬垫偏移进行检测的基板输送方法。在该基板输送方法中，通过保持部接收多个载置部中的一个载置部的基板并对该基板进行保持，将保持于保持部的基板从一个载置部搬出，对保持于保持部的基板的相对于保持部的位置(第一位置)进行检测，将保持于保持部的基板输送至与其它的载置部面对的位置，在该位置，对保持于保持部的基板的相对于保持部的位置(第二位置)进行检测，基于第一位置和第二位置，计算出在输送前后产生的基板的相对于保持部的位置偏移量，判定所计算出的位置偏移量是否进入规定的范围。

公开(公告)号：CN101373728A

公开(公告)日：2009-02-25

申请号：CN200810128024.X

申请日：2008-07-09

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 道木裕一 ,  马原康尔 ,  林德太郎

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/68 ,  H01L21/66 ,  G01B7/00 ,  G01D5/241

CPC classification number: G03F7/7085 ,  G03F7/7075 ,  H01L21/67225 ,  H01L21/67748 ,  H01L21/68 ,  Y10T29/49771

Abstract: 本发明提供一种搬送臂的移动位置的调整方法和位置检测用夹具，使用能够搬入到薄型装置的位置检测用夹具，高精度地廉价地进行搬送臂的位置调整。使具有静电电容传感器(150)的位置检测用晶片(S)支撑在搬送臂上，利用该搬送臂搬送位置检测用晶片(S)，并载置到载置部(A)上。然后，利用位置检测用晶片(S)的静电电容传感器(150)，检测载置部(A)的中心孔的位置，检测出载置部(A)上的位置检测用晶片(S)的载置位置。然后，基于位置检测用晶片(S)的载置位置，调整晶片搬送时的搬送臂的移动位置。

公开(公告)号：CN115039199A

公开(公告)日：2022-09-09

申请号：CN202180010351.9

申请日：2021-01-21

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 林德太郎 ,  大塚庆崇 ,  沟本康隆 ,  池上和哉 ,  児玉宗久

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/304 ,  H01L21/68

Abstract: 接合装置将第一基板与第二基板进行接合来得到重合基板。所述第一基板包括基底基板和器件层，该器件层形成于所述基底基板的与所述第二基板相向的相向面。所述接合装置具有：第一保持部，其保持所述第一基板；第二保持部，其保持所述第二基板；移动部，其使所述第一保持部和所述第二保持部相对地移动；以及总厚度测定控制部，其控制用于测定所述重合基板的总厚度的厚度检测器，来在多个点处测定所述总厚度。

公开(公告)号：CN113764319A

公开(公告)日：2021-12-07

申请号：CN202110585650.7

申请日：2021-05-27

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 原田浩树 ,  辻桥辰彦 ,  林德太郎 ,  大塚豪 ,  川口裕治

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/68 ,  H01L21/67 ,  H01L21/02

Abstract: 本发明提供能够提高将基片载置在基片处理部内时的定心精度的基片处理装置和基片处理方法。本发明的一个方式的基片处理装置包括基片处理部、基片输送部、第1检测部、第2检测部和第3检测部。基片处理部用于保持基片并对基片进行处理。基片输送部具有转动轴，用于将基片送入基片处理部。第1检测部在沿着行进方向将基片送入基片处理部时，检测行进方向上的基片输送部相对于基片处理部的位置。第2检测部检测与行进方向垂直的方向上的基片输送部相对于基片处理部的位置。第3检测部检测基片输送部的转动轴相对于基片处理部的倾斜度。

公开(公告)号：CN105489537B

公开(公告)日：2018-04-27

申请号：CN201610034301.5

申请日：2012-03-01

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 道木裕一 ,  林德太郎 ,  饭田成昭 ,  榎木田卓

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/677 ,  H01L21/68 ,  H01L21/687

CPC classification number: H01L21/68 ,  H01L21/6715 ,  H01L21/67748 ,  H01L21/681 ,  H01L21/68707 ,  H01L22/10 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

Abstract: 本发明提供不使用调整夹具就能够进行搬送位置调整的基板搬送装置的位置调整方法。本发明提供基板搬送装置的位置调整方法，其包括：第一检测步骤，利用搬送基板的基板搬送部保持基板，检测基板的位置；将由基板搬送部保持的基板向保持并旋转基板的基板旋转部搬送的步骤；利用基板旋转部使由基板旋转部保持的基板仅仅旋转规定的角度的步骤；从基板搬送部接收被基板旋转部旋转的基板的步骤；第二检测步骤，检测基板搬送部接收的该基板的位置；基于在第一检测步骤求出的基板的位置和在第二检测步骤求出的基板的位置，掌握基板旋转部的旋转中心位置的步骤；和基于掌握的旋转中心位置，调整基板搬送部的位置的步骤。

公开(公告)号：CN102655103A

公开(公告)日：2012-09-05

申请号：CN201210052118.X

申请日：2012-03-01

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 道木裕一 ,  林德太郎 ,  饭田成昭 ,  榎木田卓

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/677 ,  H01L21/68 ,  G03F7/20

CPC classification number: H01L21/68 ,  H01L21/6715 ,  H01L21/67748 ,  H01L21/681 ,  H01L21/68707 ,  H01L22/10 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

Abstract: 本发明提供不使用调整夹具就能够进行搬送位置调整的基板搬送装置的位置调整方法。本发明提供基板搬送装置的位置调整方法，其包括：第一检测步骤，利用搬送基板的基板搬送部保持基板，检测基板的位置；将由基板搬送部保持的基板向保持并旋转基板的基板旋转部搬送的步骤；利用基板旋转部使由基板旋转部保持的基板仅仅旋转规定的角度的步骤；从基板搬送部接收被基板旋转部旋转的基板的步骤；第二检测步骤，检测基板搬送部接收的该基板的位置；基于在第一检测步骤求出的基板的位置和在第二检测步骤求出的基板的位置，掌握基板旋转部的旋转中心位置的步骤；和基于掌握的旋转中心位置，调整基板搬送部的位置的步骤。

公开(公告)号：CN115398599A

公开(公告)日：2022-11-25

申请号：CN202180028326.3

申请日：2021-03-16

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 山胁阳平 ,  中野征二 ,  林德太郎

IPC: H01L21/304 ,  H01L21/02

Abstract: 一种对第一基板与第二基板接合而成的重合基板进行处理的装置，具有：保持构件，其保持所述重合基板；去除构件，其通过插入到所述第一基板与所述第二基板之间，来至少将所述第一基板的周缘部从所述第二基板剥离；升降机构，其调节所述去除构件相对于保持构件的相对的高度位置；以及控制部，其控制所述升降机构的动作，其中，所述控制部控制所述升降机构的动作，以在所述重合基板的整周上调节针对所述去除构件的目标插入位置的、该去除构件的相对的高度位置。

公开(公告)号：CN104867856B

公开(公告)日：2017-11-24

申请号：CN201510246746.5

申请日：2011-08-19

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 林德太郎 ,  坂口公也

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/68 ,  H01L21/027

CPC classification number: H01L21/681 ,  H01L21/68

Abstract: 提供一种当将基板的周缘部存在缺口的基板用夹具保持并搬运时，能够高精度地检测基板位置的偏移量，能够容易地修正该偏移量，并且同时确认夹具的状态并进行修正的基板搬运装置。包括：基座；设置成从基座进退自如，保持基板的保持部；当保持部以保持有基板的状态后退时，在各个不同的位置检测保持部所保持的基板的周缘部的位置的4个以上的检测部；和基于检测部检测出的周缘部的位置的检测值，对检测部的任一个是否检测到基板的周缘部的设置有缺口的部分进行判定，在判定为一个检测部检测到设置有缺口的部分时，基于一个检测部以外的3个检测部的检测值，在搬运到下一个处理单元时对处理单元的基板的交接位置进行修正的控制部。