公开(公告)号：CN113764319A

公开(公告)日：2021-12-07

申请号：CN202110585650.7

申请日：2021-05-27

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 原田浩树 ,  辻桥辰彦 ,  林德太郎 ,  大塚豪 ,  川口裕治

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/68 ,  H01L21/67 ,  H01L21/02

Abstract: 本发明提供能够提高将基片载置在基片处理部内时的定心精度的基片处理装置和基片处理方法。本发明的一个方式的基片处理装置包括基片处理部、基片输送部、第1检测部、第2检测部和第3检测部。基片处理部用于保持基片并对基片进行处理。基片输送部具有转动轴，用于将基片送入基片处理部。第1检测部在沿着行进方向将基片送入基片处理部时，检测行进方向上的基片输送部相对于基片处理部的位置。第2检测部检测与行进方向垂直的方向上的基片输送部相对于基片处理部的位置。第3检测部检测基片输送部的转动轴相对于基片处理部的倾斜度。

公开(公告)号：CN108511379A

公开(公告)日：2018-09-07

申请号：CN201810155440.2

申请日：2018-02-23

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 林德太郎 ,  原田浩树 ,  寺本聪宽 ,  时松徹 ,  安倍昌洋 ,  石丸和俊

IPC: H01L21/677

CPC classification number: H01L21/67706 ,  B65G43/08 ,  G03F7/162 ,  G03F7/70733 ,  H01L21/67051 ,  H01L21/67259 ,  H01L21/67742 ,  H01L21/681 ,  H01L21/68707 ,  H01L21/67703

Abstract: 本发明提供一种能够精度较高地向模块的预定的位置输送基板的基板输送装置、基板输送方法以及存储介质。构成一种装置，该装置具备：基板保持部(25)，其保持基板，为了从一个模块向另一个模块输送该基板而沿着横向移动自由；第1检测部(3)，其用于在基板保持部(25)从一个模块接收了基板之后对在向另一个模块输送之前该基板在该基板保持部(25)中的位置进行检测；第2检测部(55、56)，其用于检测以要位于为了向另一个模块交接基板而设定好的暂定位置的方式进行了移动的基板保持部(25)的实际位置与该暂定位置之间的错位；位置决定部(10)，其用于基于基板在基板保持部(25)中的位置和错位来决定用于向另一个模块交接基板的交接位置。

公开(公告)号：CN103177992B

公开(公告)日：2016-12-07

申请号：CN201210487648.7

申请日：2012-11-26

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 牧准之辅 ,  矢野光辉 ,  中野征二 ,  渡边刚史 ,  丰田康典 ,  榎木田卓 ,  饭田成昭 ,  原田浩树

IPC: H01L21/677

CPC classification number: G06F17/00 ,  B25J13/085 ,  H01L21/67288 ,  H01L21/68707

Abstract: 本发明提供一种搬送装置和搬送方法，在利用电机的旋转驱动力使装载有被搬送部件的被驱动单元移动从而搬送被搬送部件时，能够检测搬送时发生的异常。该搬送装置将被搬送部件装载于被驱动单元进行搬送，该搬送装置的特征在于，包括：驱动单元，利用电机的旋转驱动力使驱动侧传动轮旋转，从而使架设在该驱动侧传动轮的传动带移动，使连结于该传动带的被驱动单元在规定的方向上移动；和监视被驱动单元的搬送状态的搬送监视单元，搬送监视单元检测出使被驱动单元移动时所需的上述电机的转矩值，基于所检测的转矩值，计算出该转矩值的相对时间的转矩微分值，并利用所计算的转矩微分值检测搬送状态。通过具有上述特征的搬送装置能够完成上述课题。

公开(公告)号：CN103177992A

公开(公告)日：2013-06-26

申请号：CN201210487648.7

申请日：2012-11-26

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 牧准之辅 ,  矢野光辉 ,  中野征二 ,  渡边刚史 ,  丰田康典 ,  榎木田卓 ,  饭田成昭 ,  原田浩树

IPC: H01L21/677

CPC classification number: G06F17/00 ,  B25J13/085 ,  H01L21/67288 ,  H01L21/68707

Abstract: 本发明提供一种搬送装置和搬送方法，在利用电机的旋转驱动力使装载有被搬送部件的被驱动单元移动从而搬送被搬送部件时，能够检测搬送时发生的异常。该搬送装置将被搬送部件装载于被驱动单元进行搬送，该搬送装置的特征在于，包括：驱动单元，利用电机的旋转驱动力使驱动侧传动轮旋转，从而使架设在该驱动侧传动轮的传动带移动，使连结于该传动带的被驱动单元在规定的方向上移动；和监视被驱动单元的搬送状态的搬送监视单元，搬送监视单元检测出使被驱动单元移动时所需的上述电机的转矩值，基于所检测的转矩值，计算出该转矩值的相对时间的转矩微分值，并利用所计算的转矩微分值检测搬送状态。通过具有上述特征的搬送装置能够完成上述课题。

公开(公告)号：CN108511379B

公开(公告)日：2024-08-27

申请号：CN201810155440.2

申请日：2018-02-23

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 林德太郎 ,  原田浩树 ,  寺本聪宽 ,  时松徹 ,  安倍昌洋 ,  石丸和俊

IPC: H01L21/677

Abstract: 本发明提供一种能够精度较高地向模块的预定的位置输送基板的基板输送装置、基板输送方法以及存储介质。构成一种装置，该装置具备：基板保持部(25)，其保持基板，为了从一个模块向另一个模块输送该基板而沿着横向移动自由；第1检测部(3)，其用于在基板保持部(25)从一个模块接收了基板之后对在向另一个模块输送之前该基板在该基板保持部(25)中的位置进行检测；第2检测部(55、56)，其用于检测以要位于为了向另一个模块交接基板而设定好的暂定位置的方式进行了移动的基板保持部(25)的实际位置与该暂定位置之间的错位；位置决定部(10)，其用于基于基板在基板保持部(25)中的位置和错位来决定用于向另一个模块交接基板的交接位置。

公开(公告)号：CN207883669U

公开(公告)日：2018-09-18

申请号：CN201820264171.9

申请日：2018-02-23

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 林德太郎 ,  原田浩树 ,  寺本聪宽 ,  时松徹 ,  安倍昌洋 ,  石丸和俊

IPC: H01L21/677

Abstract: 本实用新型提供一种能够精度较高地向模块的预定的位置输送基板的基板输送装置。构成一种装置，该装置具备：基板保持部(25)，其保持基板，为了从一个模块向另一个模块输送该基板而沿着横向移动自由；第1检测部(3)，其用于在基板保持部(25)从一个模块接收了基板之后对在向另一个模块输送之前该基板在该基板保持部(25)中的位置进行检测；第2检测部(55、56)，其用于检测以要位于为了向另一个模块交接基板而设定好的暂定位置的方式进行了移动的基板保持部(25)的实际位置与该暂定位置之间的错位；位置决定部(10)，其用于基于基板在基板保持部(25)中的位置和错位来决定用于向另一个模块交接基板的交接位置。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利