一种X射线发生器用金刚石薄膜复合靶及制作方法和应用

    公开(公告)号:CN117096002A

    公开(公告)日:2023-11-21

    申请号:CN202210523168.5

    申请日:2022-05-13

    摘要: 本发明涉及金刚石薄膜生长领域,尤其涉及一种X射线发生器用金刚石薄膜复合靶及制作方法和应用。该复合靶包括:窗口环、金刚石薄膜层和阳极层,阳极层通过磁控溅射的方法生长在窗口环的内孔的上方、且与窗口环上表面平齐,金刚石薄膜层通过微波等离子体化学气相沉积法生长在窗口环和阳极层的上表面。本发明通过优化磁控溅射镀膜工艺和微波等离子体化学气相沉积镀膜工艺,使透射式X射线管金刚石窗口、薄膜阳极、散热层三者之间原位生长在一起,具有良好的热力学接触性能,大幅提高微焦点X射线管连续使用时的可靠性,X射线发生器用金刚石薄膜复合靶可应用在透射式微焦点X射线管中。