微量气氛取样检测装置及微量气氛取样检测方法

    公开(公告)号:CN113624565A

    公开(公告)日:2021-11-09

    申请号:CN202110919009.2

    申请日:2021-08-11

    Abstract: 本发明涉及微量气氛取样检测装置及微量气氛取样检测方法,微量气氛取样检测装置,包括中空的检测腔体以及真空系统,检测腔体与真空系统连通,检测腔体内设置有测试装置、样品固定装置以及质谱仪,测试装置与样品固定装置对应设置,样品固定装置用于固定设置样品,测试装置能够破坏样品的气密封,质谱仪对样品逸出的气氛进行分析。通过将内部气氛取样和检测分析结构设置在同一个腔体中,相比现有技术不再需要设置具有空间死角的结构,避免了其对样品内部气氛扩散的不利影响,即使样品内的气氛气体很少,其也能够在检测腔体中充分扩散,使质谱仪能够获取并加以测试分析,本发明的微量气氛取样检测装置具有检测灵敏度高、分析检测限低的特点。

    微量气氛取样检测装置及微量气氛取样检测方法

    公开(公告)号:CN113624565B

    公开(公告)日:2024-05-28

    申请号:CN202110919009.2

    申请日:2021-08-11

    Abstract: 本发明涉及微量气氛取样检测装置及微量气氛取样检测方法,微量气氛取样检测装置,包括中空的检测腔体以及真空系统,检测腔体与真空系统连通,检测腔体内设置有测试装置、样品固定装置以及质谱仪,测试装置与样品固定装置对应设置,样品固定装置用于固定设置样品,测试装置能够破坏样品的气密封,质谱仪对样品逸出的气氛进行分析。通过将内部气氛取样和检测分析结构设置在同一个腔体中,相比现有技术不再需要设置具有空间死角的结构,避免了其对样品内部气氛扩散的不利影响,即使样品内的气氛气体很少,其也能够在检测腔体中充分扩散,使质谱仪能够获取并加以测试分析,本发明的微量气氛取样检测装置具有检测灵敏度高、分析检测限低的特点。

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