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公开(公告)号：CN105503618A
公开(公告)日：2016-04-20
申请号：CN201510796381.3
申请日：2011-11-02
申请人： 宇部兴产株式会社
IPC分类号： C07C209/68 , C07C211/65 , C07D295/13 , C23C16/18
CPC分类号： H01L51/0083 , C07C211/65 , C07F3/02 , C07F3/06 , C07F5/003 , C07F13/005 , C07F15/025 , C07F15/045 , C07F15/065 , C23C16/18 , C23C16/403 , C23C16/407 , H01L51/0077 , H01L51/0084 , H01L51/0089 , H01L51/0092 , C07C209/68 , C07D295/13
摘要： 本发明公开了一种由通式(1)表示的(酰胺氨基烷烃)金属化合物和一种使用所述金属化合物制备含该金属的薄膜的方法。(所述式中，M代表金属原子；R1代表具有1-6个碳原子的直链、支链或环状的烷基；R2和R3可以彼此相同或不同，各自独立地代表具有1-3个碳原子的直链或支链的烷基，或R2和R3可以与它们连接的氮原子一起形成一个经取代的或未经取代的5元或6元环。Z代表具有1-10个碳原子的直链或支链的亚烷基(但是，可选地，其一部分可形成环)。配位体的数目由n表示，n为1-3中的一个整数，并且等于金属M的化合价数。但是，排除M为Li(锂)、Be(铍)、Ge(锗)或Nd(钕)的情况，M为Mg(镁)且R1为甲基的情况，M为Zn(锌)且R1为甲基的情况，M为Bi(铋)且R1为叔丁基的情况。此外，当n为2或更大时，两个或多个配位体可以彼此相同或不同。)
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公开(公告)号：CN107109642A
公开(公告)日：2017-08-29
申请号：CN201580058152.X
申请日：2015-11-04
申请人： 宇部兴产株式会社
IPC分类号： C23C16/36 , C23C16/42 , C23C16/448 , H01L21/318
CPC分类号： C23C8/30 , C23C16/36 , C23C16/45553
摘要： 本发明提供能够在低温下成膜金属碳氮化膜或半金属碳氮化膜的方法和装置。将含有通式(1)所表示的胍化合物的氮源和金属源或半金属源供给至成膜对象物上，成膜金属碳氮化膜或半金属碳氮化膜。(式中，多个R可以相同或不同，分别表示氢原子、碳原子数1～5的直链状、支链状或环状的烷基、或碳原子数1～9的三烷基甲硅烷基。其中，多个R可以相互键合形成环)
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公开(公告)号：CN107075675A
公开(公告)日：2017-08-18
申请号：CN201680003675.9
申请日：2016-01-04
申请人： 宇部兴产株式会社
IPC分类号： C23C16/36 , C23C16/42 , H01L21/318 , C07F7/10
CPC分类号： C23C16/36 , C07F7/10 , C23C16/42 , C23C16/45525
摘要： 本发明提供能够在低温下制造金属碳氮化膜或半金属碳氮化膜的方法。本发明的方法中，使用N‑三烷基甲硅烷基‑1,2,3‑三唑化合物和由通式(1)表示的1,2,4‑三唑化合物中的至少一者作为氮源，进行金属碳氮化膜或半金属碳氮化膜的成膜。(式中，R可以相同或不同，表示氢原子、碳原子数为1～5的直链状、支链状或环状的烷基、或者碳原子数为1～5的三烷基甲硅烷基。需要说明的是，2个以上的R可以相互键合形成环。)
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公开(公告)号：CN103408598A
公开(公告)日：2013-11-27
申请号：CN201310302821.6
申请日：2007-07-26
申请人： 宇部兴产株式会社
CPC分类号： C07C49/92 , C07C45/77 , C07F15/0046 , C23C16/18
摘要： 本发明的通式(1-1)(式中，X表示通式(1-2)表示的基团(式中，Ra和Rb表示碳原子数为1～5的直链或支链状烷基。)，Y表示通式(1-2)表示的基团或碳原子数为1～8的直链或支链状烷基，Z表示氢原子或碳原子数为1～4的烷基。L表示具有至少2个双键的不饱和烃化合物)所表示的有机钌络合物、双(乙酰丙酮根)(1，5-己二烯)合钌以及双(乙酰丙酮根)(1，3-戊二烯)合钌具有低熔点，对水分、空气和热的稳定性优异，且适用于CVD法成膜。
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公开(公告)号：CN101516818A
公开(公告)日：2009-08-26
申请号：CN200780035318.1
申请日：2007-07-26
申请人： 宇部兴产株式会社
CPC分类号： C07C49/92 , C07C45/77 , C07F15/0046 , C23C16/18
摘要： 本发明的通式(1－1)(式中，X表示通式(1－2)表示的基团(式中，Ra和Rb表示碳原子数为1～5的直链或支链状烷基)。Y表示通式(1－2)表示的基团或碳原子数为1～8的直链或支链状烷基，Z表示氢原子或碳原子数为1～4的烷基。L表示具有至少2个双键的不饱和烃化合物)所表示的有机钌络合物、双(乙酰丙酮根)(1，5－己二烯)合钌以及双(乙酰丙酮根)(1，3－戊二烯)合钌具有低熔点，对水分、空气和热的稳定性优异，且适用于CVD法成膜。
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公开(公告)号：CN105732401A
公开(公告)日：2016-07-06
申请号：CN201610085616.2
申请日：2011-11-02
申请人： 宇部兴产株式会社
IPC分类号： C07C211/65 , C07D295/13 , C07F15/06 , C23C16/18
CPC分类号： H01L51/0083 , C07C211/65 , C07F3/02 , C07F3/06 , C07F5/003 , C07F13/005 , C07F15/025 , C07F15/045 , C07F15/065 , C23C16/18 , C23C16/403 , C23C16/407 , H01L51/0077 , H01L51/0084 , H01L51/0089 , H01L51/0092 , C07D295/13
摘要： 本发明公开了一种由通式(1)表示的(酰胺氨基烷烃)金属化合物和一种使用所述金属化合物制备含该金属的薄膜的方法。(所述式中，M代表金属原子；R1代表具有1?6个碳原子的直链、支链或环状的烷基；R2和R3可以彼此相同或不同，各自独立地代表具有1?3个碳原子的直链或支链的烷基，或R2和R3可以与它们连接的氮原子一起形成一个经取代的或未经取代的5元或6元环。Z代表具有1?10个碳原子的直链或支链的亚烷基(但是，可选地，其一部分可形成环)。配位体的数目由n表示，n为1?3中的一个整数，并且等于金属M的化合价数。但是，排除M为Li(锂)、Be(铍)、Ge(锗)或Nd(钕)的情况，M为Mg(镁)且R1为甲基的情况，M为Zn(锌)且R1为甲基的情况，M为Bi(铋)且R1为叔丁基的情况。此外，当n为2或更大时，两个或多个配位体可以彼此相同或不同。)
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公开(公告)号：CN103313993A
公开(公告)日：2013-09-18
申请号：CN201180063769.2
申请日：2011-11-02
申请人： 宇部兴产株式会社
IPC分类号： C07F3/02 , C07F1/02 , C07F1/04 , C07F3/06 , C07F5/00 , C07F13/00 , C07F15/02 , C07F15/04 , C07F15/06 , C23C16/18 , C23C16/40
CPC分类号： H01L51/0083 , C07C211/65 , C07F3/02 , C07F3/06 , C07F5/003 , C07F13/005 , C07F15/025 , C07F15/045 , C07F15/065 , C23C16/18 , C23C16/403 , C23C16/407 , H01L51/0077 , H01L51/0084 , H01L51/0089 , H01L51/0092
摘要： 本发明公开了一种由通式（1）表示的(酰胺氨基烷烃)金属化合物和一种使用所述金属化合物制备含该金属的薄膜的方法。（所述式中，M代表金属原子；R1代表具有1-6个碳原子的直链、支链或环状的烷基；R2和R3可以彼此相同或不同，各自独立地代表具有1-3个碳原子的直链或支链的烷基，或R2和R3可以与它们连接的氮原子一起形成一个经取代的或未经取代的5元或6元环。Z代表具有1-10个碳原子的直链或支链的亚烷基（但是，可选地，其一部分可形成环）。配位体的数目由n表示，n为1-3中的一个整数，并且等于金属M的化合价数。但是，排除M为Li（锂）、Be（铍）、Ge（锗）或Nd（钕）的情况，M为Mg（镁）且R1为甲基的情况，M为Zn（锌）且R1为甲基的情况，M为Bi（铋）且R1为叔丁基的情况。此外，当n为2或更大时，两个或多个配位体可以彼此相同或不同）。
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公开(公告)号：CN101516818B
公开(公告)日：2013-08-14
申请号：CN200780035318.1
申请日：2007-07-26
申请人： 宇部兴产株式会社
CPC分类号： C07C49/92 , C07C45/77 , C07F15/0046 , C23C16/18
摘要： 本发明的通式(1-1)(式中，X表示通式(1-2)表示的基团(式中，Ra和Rb表示碳原子数为1～5的直链或支链状烷基。)，Y表示通式(1-2)表示的基团或碳原子数为1～8的直链或支链状烷基，Z表示氢原子或碳原子数为1～4的烷基。L表示具有至少2个双键的不饱和烃化合物)所表示的有机钌络合物、双(乙酰丙酮根)(1，5-己二烯)合钌以及双(乙酰丙酮根)(1，3-戊二烯)合钌具有低熔点，对水分、空气和热的稳定性优异，且适用于CVD法成膜。
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