公开(公告)号：CN101213076B

公开(公告)日：2011-08-24

申请号：CN200680024468.8

申请日：2006-05-31

Applicant: 德州仪器公司

Inventor： 达尔文·R·爱德华兹 ,  屈子正 ,  曾科军

IPC: B32B15/08 ,  B32B15/20 ,  H01L23/532

CPC classification number: H05K3/3436 ,  H01L21/4846 ,  H01L23/49816 ,  H01L23/49866 ,  H01L24/10 ,  H01L24/13 ,  H01L2224/13 ,  H01L2224/13099 ,  H01L2924/01006 ,  H01L2924/01013 ,  H01L2924/01029 ,  H01L2924/0103 ,  H01L2924/01033 ,  H01L2924/01047 ,  H01L2924/01049 ,  H01L2924/01078 ,  H01L2924/01079 ,  H01L2924/01082 ,  H01L2924/01087 ,  H01L2924/01322 ,  H01L2924/01327 ,  H01L2924/014 ,  H01L2924/09701 ,  H01L2924/14 ,  H01L2924/15311 ,  H01L2924/181 ,  H05K1/09 ,  H05K2201/0394 ,  H05K2201/09472 ,  H05K2203/1105 ,  Y02P70/613 ,  Y10T428/12715 ,  Y10T428/1291 ,  Y10T428/24917 ,  H01L2924/00

Abstract: 一种金属互连结构(100)包括接合衬垫(101)，所述接合衬垫具有铜，所述铜的至少70体积百分比由在晶粒主方向上扩展1μm以上的晶粒组成，且30或少于30体积百分比由在晶粒主结晶方向上扩展1μm以下的晶粒组成。锡合金主体(102)与所述接合衬垫接触。

公开(公告)号：CN101213076A

公开(公告)日：2008-07-02

申请号：CN200680024468.8

申请日：2006-05-31

Applicant: 德州仪器公司

Inventor： 达尔文·R·爱德华兹 ,  屈子正 ,  曾科军

IPC: B32B15/08 ,  B32B15/20 ,  H01L23/532

CPC classification number: H05K3/3436 ,  H01L21/4846 ,  H01L23/49816 ,  H01L23/49866 ,  H01L24/10 ,  H01L24/13 ,  H01L2224/13 ,  H01L2224/13099 ,  H01L2924/01006 ,  H01L2924/01013 ,  H01L2924/01029 ,  H01L2924/0103 ,  H01L2924/01033 ,  H01L2924/01047 ,  H01L2924/01049 ,  H01L2924/01078 ,  H01L2924/01079 ,  H01L2924/01082 ,  H01L2924/01087 ,  H01L2924/01322 ,  H01L2924/01327 ,  H01L2924/014 ,  H01L2924/09701 ,  H01L2924/14 ,  H01L2924/15311 ,  H01L2924/181 ,  H05K1/09 ,  H05K2201/0394 ,  H05K2201/09472 ,  H05K2203/1105 ,  Y02P70/613 ,  Y10T428/12715 ,  Y10T428/1291 ,  Y10T428/24917 ,  H01L2924/00

Abstract: 一种金属互连结构(100)包括接合衬垫(101)，所述接合衬垫具有铜，所述铜的至少70体积百分比由在晶粒主方向上扩展1μm以上的晶粒组成，且30或少于30体积百分比由在晶粒主结晶方向上扩展1μm以下的晶粒组成。锡合金主体(102)与所述接合衬垫接触。