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公开(公告)号：CN103298975B
公开(公告)日：2015-04-29
申请号：CN201180063714.1
申请日：2011-12-26
Applicant: 日本发条株式会社
Abstract: 本发明是作为电源供给线等而配设的导电构件(1)，其具备：至少一方由电阻比铝低的导电性材料构成的第一导电性材料(11)及第二导电性材料(12)；通过针对由第一导电性材料(11)及第二导电性材料(12)对接而成的对接部分，将含有金属的粉体与气体一并加速，以固相状态直接喷附并堆积在对接部分的表面上而形成的金属皮膜(13)。
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公开(公告)号：CN102884224B
公开(公告)日：2015-09-30
申请号：CN201180022731.0
申请日：2011-04-19
Applicant: 日本发条株式会社
IPC: C23C16/458 , H01L21/02 , H01L21/683 , H05B3/06
CPC classification number: H01L21/67103 , C23C16/4586 , H01L21/68792
Abstract: 本发明提供一种能够抑制从加热基板向轴侧的热传导的多级加热器及轴的制造方法。多级加热器具备：由铝或含有铝的合金构成的加热基板(2)；与加热基板的一面接合，并支承加热基板的轴(5)。轴(5)具有：由比加热基板的原料的热传导率低的金属构成的管(6)；将铝的粉状体或含有铝的合金的粉状体与气体一起加速，直接以固相状态向管喷涂并堆积，从而在管的与加热基板接合的一侧形成的接合层(7)。
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公开(公告)号：CN102859799A
公开(公告)日：2013-01-02
申请号：CN201180019966.4
申请日：2011-04-19
Applicant: 日本发条株式会社
Inventor： 茅本隆司
CPC classification number: C23C24/04 , C23C28/021 , C23C28/023 , C23C28/025 , H01R4/20 , H01R13/03 , H01R43/16 , H01R43/28
Abstract: 本发明提供一种能够与铝系金属连接且能够抑制导电率的降低的导电构件及其制造方法。导电构件具备：作为基材的电线连接部(101)及紧固部(102)，其由铝(Al)或含有铝的合金形成，且设置有与其他构件连接的连接面；连接层(103)，其通过使离子化倾向比基材小且电导率为基材以上的金属或合金的粉体与气体共同加速并保持固相状态地喷到连接面上并进行堆积，从而在基材上形成连接层(103)。
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公开(公告)号：CN1289258C
公开(公告)日：2006-12-13
申请号：CN03136775.5
申请日：2003-04-16
CPC classification number: B25B11/002 , Y10T279/23
Abstract: 本申请公开了一种ESC台结构，其中吸附电极被吸附在缓和层和覆盖层之间。缓和层与覆盖层具有在电介质板和吸附电极之间的热膨胀系数。本申请还公开了一种ESC台结构，其中吸附电极被吸附在缓和层与覆盖层之间，该缓和层与覆盖层具有与吸附电极内应力指向相反的内应力。本申请进一步公开了一种基底加工装置，用于在基底温度保持高于室温时在基底上执行加工，包括在加工期间用来吸附住基底的静电吸附台。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103298975A
公开(公告)日：2013-09-11
申请号：CN201180063714.1
申请日：2011-12-26
Applicant: 日本发条株式会社
Abstract: 本发明是作为电源供给线等而配设的导电构件(1)，其具备：至少一方由电阻比铝低的导电性材料构成的第一导电性材料(11)及第二导电性材料(12)；通过针对由第一导电性材料(11)及第二导电性材料(12)对接而成的对接部分，将含有金属的粉体与气体一并加速，以固相状态直接喷附并堆积在对接部分的表面上而形成的金属皮膜(13)。
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公开(公告)号：CN1472037A
公开(公告)日：2004-02-04
申请号：CN03136775.5
申请日：2003-04-16
IPC: B23Q3/15
CPC classification number: B25B11/002 , Y10T279/23
Abstract: 本申请公开了一种ESC台结构，其中吸附电极被吸附在缓和层和覆盖层之间。缓和层与覆盖层具有在电介质板和吸附电极之间的热膨胀系数。本申请还公开了一种ESC台结构，其中吸附电极被吸附在缓和层与覆盖层之间，该缓和层与覆盖层具有与吸附电极内应力指向相反的内应力。本申请进一步公开了一种基底加工装置，用于在基底温度保持高于室温时在基底上执行加工，包括在加工期间用来吸附住基底的静电吸附台。
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公开(公告)号：CN102884620B
公开(公告)日：2015-08-19
申请号：CN201180022449.2
申请日：2011-04-19
Applicant: 日本发条株式会社
IPC: H01L23/473 , C23C24/04 , F28D21/00
CPC classification number: C23C24/04 , F28D1/0478 , F28F1/04 , F28F7/02 , F28F21/08 , F28F2275/02 , H01L21/67109
Abstract: 本发明提供能够实现期望的热介质的流通且能够高效地传递该热介质的热量的温度调节装置等。温度调节装置具备：管件(20)，其通过对规定的热介质具有耐蚀性的金属或合金形成，成为供上述热介质流通的流路；板件(10)，其通过使铝(Al)或铝合金的粉体与气体一起加速并保持固相状态地喷向管件(20)而堆积形成，且埋设有管件(20)。
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公开(公告)号：CN102884620A
公开(公告)日：2013-01-16
申请号：CN201180022449.2
申请日：2011-04-19
Applicant: 日本发条株式会社
IPC: H01L23/473 , C23C24/04 , F28D21/00
CPC classification number: C23C24/04 , F28D1/0478 , F28F1/04 , F28F7/02 , F28F21/08 , F28F2275/02 , H01L21/67109
Abstract: 本发明提供能够实现期望的热介质的流通且能够高效地传递该热介质的热量的温度调节装置等。温度调节装置具备：管件(20)，其通过对规定的热介质具有耐蚀性的金属或合金形成，成为供上述热介质流通的流路；板件(10)，其通过使铝(Al)或铝合金的粉体与气体一起加速并保持固相状态地喷向管件(20)而堆积形成，且埋设有管件(20)。
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公开(公告)号：CN102884224A
公开(公告)日：2013-01-16
申请号：CN201180022731.0
申请日：2011-04-19
Applicant: 日本发条株式会社
IPC: C23C16/458 , H01L21/02 , H01L21/683 , H05B3/06
CPC classification number: H01L21/67103 , C23C16/4586 , H01L21/68792
Abstract: 本发明提供一种能够抑制从加热基板向轴侧的热传导的多级加热器及轴的制造方法。多级加热器具备：由铝或含有铝的合金构成的加热基板(2)；与加热基板的一面接合，并支承加热基板的轴(5)。轴(5)具有：由比加热基板的原料的热传导率低的金属构成的管(6)；将铝的粉状体或含有铝的合金的粉状体与气体一起加速，直接以固相状态向管喷涂并堆积，从而在管的与加热基板接合的一侧形成的接合层(7)。
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